РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИАГНОСТИКА МНОГОСЛОЙНЫХ ЗЕРКАЛ Тi/Ni С РАЗЛИЧНОЙ КОНФИГУРАЦИЕЙ БУФЕРНОЙ Si-ВСТАВКИ МЕТОДАМИ РЕНТГЕНОВСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ И СТОЯЧИХ РЕНТГЕНОВСКИХ ВОЛН

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Представлены результаты исследования многослойных зеркал — периодических структур Ti/Ni с различной конфигурацией буферной Si-вставки, перспективных структур для разработки зеркальной оптики для синхротронного излучения. Методами рентгеновской рефлектометрии и стоячих рентгеновских волн исследовались образцы со структурой периода Ti/Ni, Ti/Si/Ni, Ti/Ni/Si и Ti/Si/Ni/Si. Определено, что система Ti/Ni характеризуется наибольшими величинами переходных слоев на границах раздела Ti и Ni. Добавление прослоек Si между слоями Ti и Ni приводит к уменьшению толщин переходных слоев, а добавление Si только внутри периода или только между периодами приводит к асимметрии профилей распределения электронной плотности и профилей распределения элементов по глубине структур. Показано, что оптимальной для использования в качестве зеркал с точки зрения интенсивности рентгеновской рефлектометрии является структура с буферной Si-вставкой как между слоями внутри периода, так и между периодами слоев (Ti/Si/Ni/Si).

Об авторах

А. Ю Серёгин

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

Ю. А Волковский

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Email: irlandez08@yandex.ru
Москва, Россия

П. А Просеков

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

Я. Д Кардеев

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

В. Н Полковников

Институт физики микроструктур РАН

Нижний Новгород, Россия

Р. М Смертин

Институт физики микроструктур РАН

Нижний Новгород, Россия

Ю. В Писаревский

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

А. Е Благов

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

Список литературы

  1. Schanzer C., Schneider M., Böni P. // J. Phys. Conf. Ser. 2016. V. 746. P. 012024. https://doi.org/10.1088/1742-6596/746/1/012024
  2. Senthil Kumar M., Böni P., Horisberger M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2004. V. 529. № 1–3. P. 90. https://doi.org/10.1016/j.nima.2004.04.184
  3. Ay M., Schanzer C., Wolff M., Stahn J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2006. V. 562. № 1. P. 389. https://doi.org/10.1016/j.nima.2006.02.188
  4. Smertin R., Antyushin E., Malyshev I. et al. // J. Appl. Cryst. 2024. V. 57. № 5. P. 1477. https://doi.org/10.1107/S1600576724007702
  5. Ковальчук М.В., Благов А.Е., Нарайкин О.С. и др. // Кристаллография. 2022. Т. 67. № 5. С. 726. https://doi.org/10.31857/S0023476122050071
  6. Гавриш Ю.Н., Филатов О.Г., Зуев Ю.В. и др. // Письма в журнал Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2024. Т. 21. № 3 (254). С. 257.
  7. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/tsentr-kollektivnogo-polzovaniya-sibirskiy-koltsevoy-istochnik-fotonov-tskp-skif-/
  8. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/mezhdunarodnyy-tsentr-neytronnykh-issledovaniy-na-baze-vysokopotochnogo-issledovatelskogo-reaktora-p/
  9. Fewster P.F. // Rep. Prog. Phys. 1996. V. 59. P. 1339. https://doi.org/10.1088/0034-4885/59/11/001
  10. Благов А.Е., Галиев Г.Б., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 2017. Т. 62. № 3. С. 355. https://doi.org/10.7868/S002347611703002X
  11. Волковский Ю.А., Серегин А.Ю., Фоломешкин М.С. и др. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 9. С. 40. https://doi.org/10.31857/S102809602109020X
  12. Zheludeva S.I., Kovalchuk M.V., Novikova N.N. et al. // J. Phys. D. 1993. V. 26. P. A206. https://doi.org/10.1088/0022-3727/26/4A/043
  13. Серегин А.Ю., Дьякова Ю.А., Якунин С.Н. и др. // Кристаллография. 2013. Т. 58. № 6. С. 937. https://doi.org/10.7868/s0023476113060210
  14. Фоломешкин М.С., Благов А.Е., Бойкова А.С. и др. // Кристаллография. 2023. Т. 68. № 1. С. 86. https://doi.org/10.31857/S0023476123010083
  15. Ковальчук М.В., Кон В.Г. // Успехи физ. наук. 1986. Т. 149. Вып. 1. С. 69. https://doi.org/10.3367/UFNr.0149.198605c.0069
  16. Zheludeva S.I., Lagomarsino S., Novikova N.N. et al. // Thin Solid Films. 1991. V. 193. P. 395. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(05)80049-5
  17. Бушуев В.А., Рощупкина О.Д. // Изв. РАН. Сер. физ. 2007. Т. 71. № 1. С. 64.
  18. Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. V. 95. № 2. P. 359. https://doi.org/10.1103/PhysRev.95.359
  19. Кон В.Г., Просеков П.А., Серегин А.Ю. и др. // Кристаллография. 2019. Т. 64. № 1. С. 29. https://doi.org/10.1134/S0023476119010144

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».