МЕТОД ИНТЕГРАЛЬНЫХ СООТНОШЕНИЙ ДЛЯ ОЦЕНКИ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ СВЧ-РЕЗОНАТОРА ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ДЕЛЬТА-СЛОЯ В АЛМАЗЕ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Рассмотрена возможность сочетания мод ТМ и ТЕ в СВЧ-плазменном резонаторе для выращивания алмаза с легированным δ-слоем p-типа (бор) и минимальной толщины методом CVD. Модель, основанная на методе интегральных соотношений, позволяет оценить параметры возникающего плазменного шара, а также положение подложки, несущей на себе ростовую поверхность алмаза, относительно плазменного шара, и зависимость этого положения от давления газа — в частности, предпочтительность режима низкого давления (не учитываемого в прикладных плазменных пакетах) для лучшего прилипания плазменного шара к подложке.

Об авторах

Н. И Алексеев

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ; Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: NIAlekseyev@yandex.ru
Санкт-Петербург, Россия; Санкт-Петербург, Россия

А. П Бройко

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ

Email: NIAlekseyev@yandex.ru
Санкт-Петербург, Россия

И. В Орешко

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ; Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН

Email: NIAlekseyev@yandex.ru
Санкт-Петербург, Россия; Санкт-Петербург, Россия

Список литературы

  1. Shikata S. //Diamond & Related Materials. 2016. Т. 65. С. 168.
  2. Koizumi S. et al. (ed.). Power electronics device applications of diamond semiconductors. Woodhead publishing, 2018. 468 p.
  3. Алексеев Н. И., Лучинин В. В. Электроника алмаза. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ “ЛЭТИ”, 2019. 144 с.
  4. Хмельницкий Р. А., Талипов Н. Х., Чучева Г. В. Синтетический алмаз для электроники и оптики. М.: ИКАР, 2017. 228 с.
  5. Kabir M., Sikder U., Fallon J. // J. Neural Eng. 2019. V. 16. No. 6. P. 066002. doi.org/10.1088/1741-2552/ab2e79
  6. Лучинин В., Колядин А., Ягудаев Ю., Ильин С. // Электроника. Наука|технология|бизнес. 2023. № 4. С. 00225. doi: 10.22184/1992-4178.2023.225.4.70.89.
  7. Aleksov A., Vescan A., Kohn E. // Diamond & Related Materials. 1999. Т. 8. № 2—5. С. 941.
  8. Гуляев Ю. В., Чучева Г. В., Афанасьев М. С. и др. // Радиотехника и электроника. 2014. Т. 59. № 3. С. 304.
  9. Lobaev M. A., Gorbachev A. M., Vikharev A. L. et al. // EPJ Web of Conferences. — EDP Sciences. 2017. Т. 149. С. 02014.
  10. Moran D. A.J., Fox O. J.L., McLelland H., et al. // IEEE Electron Device Letters. 2011. V. 32. № 5. P. 599.
  11. Pietzka C., Scharpf J., Fikry M. et al. // J. Appl. Phys. 2013. V. 114. P. 114503.
  12. Vikharev A. L., Gorbachev A. M., Lobaev M. A. et al. // Phys. Status Solidi RRL. 2016. Vol. 10. No. 4. P. 324. doi: 10.1002/pssr.201510453
  13. Горбачев А. М., Лобаев М. А., Радищев Д. Б., и др. // Изв. вузов. Радиофизика. 2020. Т. LXIII. № 7. C. 589.
  14. Vikharev A. L., Lobaev M. A., Gorbachev A. M., et al. // Materials Today Communications. DOI: https://doi.org/10.1016/j.mtcomm.2019.100816.
  15. Lobaev M. A., Radishev D. B., S. A. Bogdanov, et al. // Phys. Status Solidi (RRL).2020. V.14. P. 2000347. doi: 10.1002/pssr.202000347
  16. Alekseyev N. I., Grigoriev A. D., Ivanov A. S., Oreshko I. V. // J. of Advanced Materials and Technologies. 2022. V. 7. No. 1. Р. 36. doi: 10.17277/issn.2782-2192
  17. Reiser Y. P. Fizika gazovogo razryada = Physics of Gas Discharge. 2nd ed. M.: Nauka, 1992. 536 p. (In Russ.)
  18. Baksht F.G, Dyuzhev G.A, Martsinovsky A.M, et al. (eds.) Termoemissionnye preobrazovateli i nizkotemperaturnaya plazma. Thermoelectric converters and low-temperature plasma. M.: Nauka, 1973. 480 p. (In Russ.)
  19. Алексеев Н. И., Бройко А. П., Орешко И. В. // Журн. физ. химии.2025. В печати.
  20. Гуревич А. Г. Физика твердого тела: учеб. Пособие для студентов физ. специальностей ун-тов и техн. ун-тов. Нев. Диалект, 2004. 318 с.
  21. Биберман Л. М., Boробьев В. С., Якубов И. Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука, 1982. С. 92.
  22. Lombardi G., Hassouni K., Stancu G-D et al. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. No. 5. P. 053303. doi: 10.1063/1.2034646
  23. Silva F., Hassouni K., Bonnin X and Gicquel A. // J. of physics: condensed matter. 2009. V. 21. No. 36. P. 364202. doi: 10.1088/0953-8984/21/36/364202
  24. Hassouni K., Silva F. and Gicquel A. //J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. Vol. 43 P. 153001 (45 p). Topical Review. http://iopscience.iop.org/0022-3727/43/15/153001)
  25. Савинов В. П. Физика высокочастотного емкостного разряда. М.: Физматлит. 2013. 308 с.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).