Growth of Aluminum Molybdenum Oxide Films by Atomic Layer Deposition with Using Trimethylaluminum, Molybdenum Oxytetrachloride, and Water - PDF (俄语)
版权所有 © А.М. Максумова, И.С. Бодалёв, С.И. Сулейманов, Н.М.-Р. Алиханов, И.М. Абдулагатов, М.Х. Рабаданов, А.И. Абдулагатов, 2023
