A New Method for Determining the Size of a Synchrotron Radiation Beam in the Focus of a Compound Refractive Lens

M. S. Folomeshkin; Фоломешкин М. С.; V. G. Kohn; Кон В. Г.; A. Yu. Seregin; Серегин А. Ю.; Yu. A. Volkovsky; Волковский Ю. А.; P. A. Prosekov; Просеков П. А.; V. A. Yunkin; Юнкин В. А.; D. A. Zverev; Зверев Д. А.; A. A. Barannikov; Баранников А. А.; A. A. Snigirev; Снигирёв А. А.; Yu. V. Pisarevsky; Писаревский Ю. В.; A. E. Blagov; Благов А. Е.; M. V. Kovalchuk; Ковальчук М. В.

doi:10.31857/S0023476123010071

Новый метод определения размера пучка синхротронного излучения в фокусе составной преломляющей линзы

Авторы: Фоломешкин М.С.¹^,2, Кон В.Г.¹^,2, Серегин А.Ю.¹^,2, Волковский Ю.А.¹^,2, Просеков П.А.¹^,2, Юнкин В.А.³, Зверев Д.А.⁴, Баранников А.А.⁴, Снигирёв А.А.⁴, Писаревский Ю.В.¹^,2, Благов А.Е.¹^,2, Ковальчук М.В.¹^,2^,5
Учреждения:
1. Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
2. Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН
3. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
4. Балтийский федеральный университет им. И. Канта
5. Санкт-Петербургский государственный университет
Выпуск: Том 68, № 1 (2023)
Страницы: 5-10
Раздел: ДИФРАКЦИЯ И РАССЕЯНИЕ ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ
URL: https://journal-vniispk.ru/0023-4761/article/view/137350
DOI: https://doi.org/10.31857/S0023476123010071
EDN: https://elibrary.ru/DNXSQI
ID: 137350

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Предложен новый метод экспериментального определения размера пучка синхротронного излучения в фокусе планарных составных преломляющих линз. Метод состоит в измерении угловой расходимости излучения после фокуса с помощью брэгговской дифракции в совершенном кристалле при его вращении. Данный метод определяет размер пучка, зависящий только от фокусирующих свойств используемых линз, в отличие от других используемых в настоящее время методов. Экспериментально продемонстрирована эффективность предлагаемого подхода на примере нанофокусирующих планарных линз из кремния.

Ключевые слова

SYNCHROTRON RADIATION BEAM, REFRACTIVE LENSES

Список литературы

Snigirev A., Kohn V., Snigireva I., Lengeler B. // Nature. 1996. V. 384. P. 49. https://doi.org/10.1038/384049a0
Yunkin V., Grigoriev M.V., Kuznetsov S. et al. // Proc. SPIE. 2004. V. 5539. P. 226. https://doi.org/10.1117/12.563253
Snigirev A., Snigireva I., Grigoriev M. et al. // J. Phys.: Conf. Ser. 2009. V. 186. P. 012072. https://doi.org/10.1088/1742-6596/186/1/012072
Snigirev A., Snigireva I., Kohn V. et al. // Phys. Rev. Lett. 2009. V. 103. P. 064801. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.103.064801
Snigirev A., Snigireva I., Lyubomirskiy M. et al. // Opt. Express. 2014. V. 22. P. 25842. https://doi.org/10.1117/12.2061616
Nazmov V., Reznikova E., Snigirev A. et al. // Microsyst. Technol. 2005. V. 11. P. 292. https://doi.org/10.1007/s00542-004-0435-y
Snigireva I., Polikarpov M., Snigirev A. // Synchrotron Radiat. News. 2022. V. 34. № 6. P. 12. https://doi.org/10.1080/08940886.2021.2022387
Bjorling A., Kalbfleisch S., Kahnt M. et al. // Opt. Express. 2020. V. 28. № 4/17. P. 5069. https://doi.org/10.1364/OE.386068
Schroer C.G., Kuhlmann M., Hunger U.T. et al. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. № 9. P. 1485. https://doi.org/10.1063/1.1556960
Sorokovikov M., Zverev D., Yunkin V. et al. // Proc. SPIE. 2021. V. 11837. https://doi.org/10.1117/12.2594815
Кон В.Г. // Письма в ЖЭТФ. 2002. Т. 76. № 10. С. 701.
Кон В.Г. // ЖЭТФ. 2003. Т. 124. № 1. С. 234.
Кон В.Г. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исследования. 2009. № 5. С. 32.
Kohn V.G. // J. Synchrotron Radiat. 2018. V. 25. P. 1634. https://doi.org/10.1107/S1600577518012675
Kohn V.G., Folomeshkin M.S. // J. Synchrotron Radiat. 2021. V. 28. P. 419. https://doi.org/10.1107/S1600577520016495
Кон В.Г. // Кристаллография. 2006. Т. 51. № 6. С. 1001.
Authier A. Dynamical Theory of X-ray Diffraction. Oxford University Press, 2001. 661 p.
Kohn V.G., Folomeshkin M.S. // Nanobiotechnol. Rep. 2022. V. 17. № 1. P. 126. https://doi.org/10.1134/S2635167622010086
Kohn V.G. // J. Synchrotron Radiat. 2022. V. 29. P. 615. https://doi.org/10.1107/S1600577522001345
Кон В.Г., Просеков П.А. Серегин А.Ю. и др. // Кристаллография. 2019. Т. 64. № 1. С. 29. https://doi.org/10.1134/S0023476119010144
Press W., Teukolsky S., Vatterling W. et al. Numerical Recipes, The Art of Scientific Computing. Cambridge: Cambridge University Press, 2007. 1256 p.
Snigirev A., Snigireva I., Grigoriev M. et al. // Proc. SPIE. 2007. V. 6705. P. 39. https://doi.org/10.1117/12.733609
Koн B.Г. // http://kohnvict.ucoz.ru/jsp/1-crlpar.htm