СТРУКТУРНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАНИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ NiO ПОСЛЕ ОТЖИГА

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Проведен анализ результатов структурных исследований методами рентгеновской и электронно-микроскопической диагностики пленок NiO, полученных при магнетронном напылении. Показано различие структуры и состава пленок разной толщины до и после термообработки. Обсуждаются причины этих различий, а также причины формирования слоя на границе раздела, важного для получения стабильных наноразмерных пленок NiO на подложках сапфира.

Об авторах

Э. М Пашаев

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

А. П Носов

Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН

Екатеринбург, Россия

И. А Субботин

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

А. О Беляева

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

О. А Кондратьев

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

С. Г Николаева

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

И. Н Трунькин

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Москва, Россия

А. Л Васильев

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Email: a.vasiliev56@gmail.com
Москва, Россия; Долгопрудный, Россия

Список литературы

  1. Baltz V., Manchon A., Tsoi M. et al. // Rev. Mod. Phys. 2018. V. 90. № 1. P. 015005. https://doi.org/10.1103/RevModPhys.90.015005
  2. Jungwirth T., Marti X., Wadley P. et al. // Nat. Nanotechnol. 2016. V. 11. № 3. P. 231. https://doi.org/10.1038/nnano.2016.18
  3. Jungfleisch M.B., Zhang W., Hoffmann A. // Phys. Lett. A. 2018. V. 382. № 13. P. 865. https://doi.org/10.1016/j.physleta.2018.01.008
  4. Wang J., Cai J., Lin Y.H. et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. № 20. P. 1. https://doi.org/10.1063/1.2130532
  5. Mallick P., Rath C., Biswal R. et al. // Indian J. Phys. 2009. V. 83. № 4. P. 517. https://doi.org/10.1007/s12648-009-0012-4
  6. Mallick P.C., Mishra N. // Am. J. Mater. Sci. 2012. V. 2. № 3. P. 66. https://doi.org/10.5923/j.materials.20120203.06
  7. Головко Ю.И., Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. и др. // ФТТ. 2008. Т. 50. Вып. 3. С. 467.
  8. Li H., Roytburd A.L., Alpay S.P. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 78. № 16. P. 2354. https://doi.org/10.1063/1.1359141
  9. Chen H.-L., Lu Y.-M., Hwang W.-S. // Mater. Trans. 2005. V. 46. № 4. P. 872. https://doi.org/10.2320/matertrans.46.872
  10. Девятериков Д.И., Проглядо В.В., Жакетов В.Д. и др. // Физика металлов и металловедение. 2021. Т. 122. № 5. С. 499.
  11. Antropov N.O., Kravtsov E.A., Makarova M. V. et al. // Phys. Rev. B. 2021. V. 104. № 5. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.104.054414
  12. Walls B., Mazilkin A.A., Mukhamedov B.O. et al. // Sci. Rep. 2021. V. 11. № 1. P. 1. https://doi.org/10.1038/s41598-021-82070-1
  13. Wang Y., Ghanbaja J., Boulet P. et al. // Acta Mater. 2019. V. 164. P. 648. https://doi.org/10.1016/j.actamat.2018.11.018
  14. Park S., Ahn H.S., Lee C.K. et al. // Phys. Rev. B. 2008. V. 77. № 13. P. 134103. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.77.134103
  15. Zhao Y., Xing W., Xu X. et al. // Phys. Status Solidi. B. 2021. V. 258. № 2. P. 2000377. https://doi.org/10.1002/pssb.202000377
  16. Ikenoue T., Inoue J., Miyake M. et al. // J. Cryst. Growth. 2019. V. 507. P. 379. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2018.11.032
  17. Lee J.H., Kwon Y.H., Kong B.H. et al. // Cryst. Growth Des. 2012. V. 12. № 5. P. 2495. https://doi.org/10.1021/cg3001174
  18. Hotovy I., Liday J., Sitter H. et al. // J. Electr. Eng. Bratislava. 2002. V. 53. № 12. P. 339.
  19. Lahiji F.A.F., Paul B., le Febvrier A. et al. // Thin Solid Films. 2024. V. 808. P. 140566. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140566
  20. Kate R.S., Bulakhe S.C., Deokate R.J. // J. Electron. Mater. 2019. V. 48. № 5. P. 3220. https://doi.org/10.1007/s11664-019-07074-0
  21. Boukhachem A., Boughalmi R., Karyaoui M. et al. // Mater. Sci. Eng. B. 2014. V. 188. P. 72. https://doi.org/10.1016/j.mseb.2014.06.001
  22. Sun H., Chen S.C., Peng W.C. et al. // Coatings. 2018. V. 8. № 5. P. 168. https://doi.org/10.3390/coatings8050168
  23. Ashok Kumar Reddy Y., Sivasankar Reddy A., Sreedhara Reddy P. // J. Alloys Compd. 2014. V. 583. P. 396. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2013.08.180
  24. Zhong Q., Ohuchi F.S. // J. Vac. Sci. Tech. A. 1990. V. 8. № 3. P. 2107. https://doi.org/10.1116/1.577011
  25. Sygellou L., Zafeiratos S., Tsud N. et al. // Surf. Interface Anal. 2002. V. 34. № 1. P. 545. https://doi.org/10.1002/sia.1357
  26. Subbotin I.A., Pashaev E.M., Dubinin S.S. et al. // Acta Cryst. B. 2024. V. 80. P. 340. https://doi.org/10.1107/S2052520624005675
  27. Васильев А.Л., Субботин И.А., Беляева А.О. и др. // Физика металлов и металловедение. 2024. Т. 125. № 1. С. 70.
  28. Hill R.J. // Am. Mineral. 1984. V. 69. P. 937.
  29. Pettit F.S., Randklev E.H., Felten E.J. // J. Am. Ceram. Soc. 1966. V. 49. № 4. P. 199. https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1966.tb13233.x
  30. Bolt P.H., Ten Grotenhuis E., Geus J.W. et al. // Surf. Sci. 1995. V. 329. P. 227. https://doi.org/10.1016/0039-6028(95)00063-1
  31. Kotula P.G., Carter C.B. // J. Am. Ceram. Soc. 1998. V. 81. № 11. P. 2869. https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1998.tb02709.x
  32. Jiao Y., Zhang S., Tan Y. // Entropy. 2022. V. 24. № 2. P. 245. https://doi.org/10.3390/e24020245
  33. Wyckoff R.W.G. // Crystal Structures. New York: Interscience Publishers, 1963. V. 1. P. 239.
  34. Lahiji F.A.F., Bairagi S., Magnusson R. et al. // J. Vac. Sci. Tech. 2023. V. 41. № 6. P. 063402. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140566
  35. Yadav S.K., Dhar S. // Semicond. Sci. Technol. 2021. V. 36. № 5. P. 055005. https://doi.org/10.1088/1361-6641/abed8e
  36. Roelofsen J.N., Peterson R.C., Raudsepp Mati // Am. Mineral. 1992. V. 77. P. 522.
  37. Harrison R.J., Redfern S.A.T., O’Neill H.St.C. // Am. Mineral. 1998. V. 83. P. 1092.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).