An error self-compensation mechanism for deposition of optical coatings with broadband optical monitoring

A. V. Tikhonravov; I. V. Kochikov; M. K. Trubetskov; S. A. Sharapova; V. G. Zhupanov; A. G. Yagola

doi:10.3103/S0027134917030134

An error self-compensation mechanism for deposition of optical coatings with broadband optical monitoring

Авторлар: Tikhonravov A.V.¹, Kochikov I.V.¹, Trubetskov M.K.², Sharapova S.A.¹, Zhupanov V.G.³, Yagola A.G.⁴
Мекемелер:
1. Research Computer Center
2. Max Planck Institute of Quantum Optics
3. Lutch Scientific Research Institution
4. Department of Physics
Шығарылым: Том 72, № 3 (2017)
Беттер: 274-278
Бөлім: Optics and Spectroscopy. Laser Physics
URL: https://journal-vniispk.ru/0027-1349/article/view/164768
DOI: https://doi.org/10.3103/S0027134917030134
ID: 164768

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

An error self-compensation mechanism is investigated for use during the deposition of optical coatings with broadband optical monitoring. The correlation of thickness errors caused by monitoring procedure is mathematically described. It is shown that this correlation of errors may result in the effect of selfcompensation of errors.