Precision Position Sensor for Operational Control of Laser Synthesis of Microstructures on Three-Dimensional Surfaces of Optical Materials

M. A. Zavyalova; Завьялова М. А.; A. V. Soldatenko; Солдатенко А. В.; S. A. Kokarev; Кокарев С. А.

doi:10.31857/S003281622302012X

ПРЕЦИЗИОННЫЙ ДАТЧИК ПОЛОЖЕНИЯ ДЛЯ ОПЕРАТИВНОГО КОНТРОЛЯ ЛАЗЕРНОГО СИНТЕЗА МИКРОСТРУКТУР НА ТРЕХМЕРНЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Авторы: Завьялова М.А.¹, Солдатенко А.В.¹, Кокарев С.А.¹
Учреждения:
1. Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН
Выпуск: № 3 (2023)
Страницы: 80-90
Раздел: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
URL: https://journal-vniispk.ru/0032-8162/article/view/138376
DOI: https://doi.org/10.31857/S003281622302012X
EDN: https://elibrary.ru/UXQXIW
ID: 138376

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Представлены результаты компьютерного моделирования прецизионного датчика положения на основе ножа Фуко для автоматической фокусировки излучения в ходе высокоскоростных лазерных технологических процессов, приведены результаты его внедрения и испытания на промышленных предприятиях в составе круговых лазерных записывающих систем. Данный датчик встраивается в лазерные комплексы для микроструктурирования поверхности оптических материалов и позволяет определять их положение с высоким разрешением (погрешность не превышает 0.1 мкм).

Список литературы

Skidanov R.V., Ganchevskaya S.V., Vasil’ev V.S., Blank V.A. // J. Opt. Technol. 2022. № 89. P. 132–136. https://doi.org/10.1364/JOT.89.000132
Gerhard C. Optics Manufacturing: Components and Systems. CRC Press. 2017. P. 325. ISBN: 9781351228367. https://doi.org/10.1201/9781351228367
Полещук А.Г., Корольков В.П., Вейко В.П., Заколдаев Р.А., Сергеев М.М. // Автометрия. 2018. № 2. С. 3. https://doi.org/10.15372/AUT20180201
Завьялова М.А. Дис. … канд. техн. наук, Новосибирск: Новосиб. гос. техн. ун-т, 2021.
Radtke D., Zeitner Uwe D. // Optics Express. 2007. V. 15. № 3. P. 1167. https://doi.org/10.1364/OE.15.001167
Taisheng Wang, Weixing Yu, Dengying Zhang, Chunrong Li, Hongxin Zhang, Wenbin Xu, Zhijun Xu, Hua Liu, Qiang Sun, Zhenwu Lu // Optics Express. 2010. V. 18. № 24. P. 25102. https://doi.org/10.1364/OE.18.025102
Luo J., Liang Y., Yang G. // Optical Engineering. 2011. V. 50 (7). P. 073601. https://doi.org/10.1117/1.3597327
Верхогляд А.Г., Завьялова М.А., Качкин А.Е., Кокарев С.А., Корольков В.П. // Датчики и системы. 2015. № 9–10. С. 45.
Handbook of Optics. MacGraw-Hill Companies. Inc. 1995. V. I. P. 31.14.
Chugui Yu.V., Verkhoglyad A.G., Zavyalov P.S., Sysoev E., Kulikov R.V., Vykhristyuk I.A., Zavyalova M.A., Poleshchuk A.G., Korolkov V.P. // Int. J. of Automation Technology. 2015. V. 9. № 5. P. 515.