Система циркуляции газа для формирования газоструйной мишени в вакуумной камере лазерно-плазменного источника

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Описаны конструкция и принцип работы системы циркуляции газа, используемого в качестве мишени для газоструйного лазерно-плазменного источника. Необходимость подобной системы обусловлена стремлением уменьшить потребление газа при сохранении производительности источника излучения. Циркуляционная система позволяет использовать один и тот же объем газа в качестве мишени многократно. В статье приведена конструкция системы, также даны результаты пробной эксплуатации и оценки герметичности сконструированной системы и времени работы на одной заправке газа.

Об авторах

В. Е. Гусева

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

А. Н. Нечай

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

А. А. Перекалов

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур Российской академии наук

Автор, ответственный за переписку.
Email: valeriegus@ipmras.ru
Россия, 607680, Нижний Новгород, ул. Академическая, 7

Список литературы

  1. Gullikson E.M., Underwood J.H., Batson P.C., Nikitin V. // J. X-ray Sci. Technol.1992. V. 3. № 4. P. 283. https://doi.org/10.3233/XST-1992-3402
  2. Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Клюенков Е.Б., Салащенко Н.Н., Чехонадских Д.П., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2003. Т. 2. С. 43.
  3. Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Lopatin A.Ya. et al. // AIP Advances. 2018. V. 8. № 10. P. 105003. https://doi.org/10.1063/1.5048288
  4. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я. и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. Т. 1. С. 5.
  5. Абраменко Д.Б., Анциферов П.С., Астахов Д.И. // УФН. 2019. Т. 189.С. 323. https://ufn.ru / ru / articles/2019/3/k/
  6. Guseva V.E., Nechay A.N., Perekalov A.A., Salashchenko N.N., Chkhalo N.I. // Appl. Phys. B. 2023. V. 129. P. 155. https://doi.org/10.1007/s00340-023-08095-8
  7. Kalmykov S.G., Butorin P.S., Sasin M.E. // J. Appl. Phys. 2019. V. 126. P. 103301. https://doi.org/10.1063/1.5115785
  8. Kubiak G.D., Bernardez II L.J., Krenz K.D. // Proc. SPIE. 1998. V. 3331. P. 81. https://doi.org/10.1117/12.309560
  9. Butorin P.S., Zadiranov Y.M., Zuev S.Y., Kalmykov S.G., Polkovnikov V.N., Sasin M.E., Chkhalo N.I. // Tech. Phys. 2018. V. 63. P. 1507. https://doi.org/10.1134/S1063784218100080
  10. Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Adv. 2013. V. 3. P. 082130. http://dx.doi.org/10.1063/1.4820354
  11. Bajt S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. P. 557. https://doi.org/10.1116/1.582224
  12. Svechnikov M.V., Chkhalo N.I., Gusev S.A. et al. // Opt. Express. 2018. V. 26. P. 33718. https://doi.org/10.1364/OE.26.033718
  13. Болдарев А.С., Гасилов В.А., Левашов В.Е., Медников К.Н., Пирожков А.С., Пирожкова М.С., Рагозин Е.Н. // КЭ. 2004. T. 34. № 7. С. 679.
  14. Kranzusch S., Mann K. // Opt. Commun. 2001. V. 200. P. 223. https://doi.org/10.1016/s0030-4018(01)01639-x
  15. Holburg J., Müller M., Mann K., Wieneke S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2019. V. 37. P. 031303. https://doi.org/10.1116/1.5089201
  16. Капралов В.Г., Корде Р., Левашов В.Е., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н. // КЭ. 2002. Т. 32. № 2. С. 149.
  17. Shields H., Fornaca S.W., Petach M.B., Michaelia, M., McGregor R.D., Moyer R.H., Pierre R.J.S. // Proc. SPIE. 2002. V. 4688. https://doi.org/10.1117/12.472266
  18. Гусева В.Е., Корепанов М.А., Королева М.Р., Нечай А.Н., Перекалов А.А., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // ПТЭ. 2023. № 4. С. 145.
  19. Нечай А.Н., Перекалов А.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н. // ЖТФ. 2019. Т. 89. № 11. С. 1656. https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48324.131-19

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».