Двухэтапная фотоэлектронная литография для работы с хрупкими наноструктурами

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Представлено дополнение к электронному литографу на основе оптического микроскопа для быстрого паттернирования крупномасштабных элементов методом контактной масочной фото­литографии в ультрафиолетовом излучении на электронном резисте. Прибор ускоряет создание контактных площадок к твердотельным микро- и наноструктурам и уменьшает риск потери образца при работе с хрупкими структурами.

作者简介

S. Martanov

P. N. Lebedev Physical Institute of the Russian Academy of Sciences

Email: alexkun@lebedev.ru
Russia, 119991, Moscow, Leninsky Prospect, 53

E. Tarkaeva

P. N. Lebedev Physical Institute of the Russian Academy of Sciences

Email: alexkun@lebedev.ru
Russia, 119991, Moscow, Leninsky Prospect, 53

V. Ievleva

P. N. Lebedev Physical Institute of the Russian Academy of Sciences; National Research University Higher School of Economics

Email: alexkun@lebedev.ru
Russia, 119991, Moscow, Leninsky Prospect, 53; Russia, 101000, Moscow, Myasnitskaya St., 20

A. Kuntsevich

P. N. Lebedev Physical Institute of the Russian Academy of Sciences

编辑信件的主要联系方式.
Email: alexkun@lebedev.ru
Russia, 119991, Moscow, Leninsky Prospect, 53

参考

  1. Carbaugh D.J., Pandya S.G., Wright J.T., Kaya S., Rahman F. // Nanotechnology. 2017. V. 28. P. 455301. https://doi.org/10.1088/1361-6528/aa8bd5
  2. Love J.C., Wolfe D.B., Jacobs H.O., Whitesides G.M. // Langmuir. 2001. V. 17. P. 6005. http://dx.doi.org/10.1021/la010655t
  3. Zheng L., Birr T., Zywiet U., Reinhardt C., Roth B. // Light: Advanced Manufacturing. 2023. V. 4. P. 33. http://dx.doi.org/10.37188/lam.2023.033
  4. Galiullin A.A., Pugachev M.V., Duleba A.I., Kuntsevich A.Yu. // Micromachines. 2024. V. 15. P. 39. https://doi.org/10.3390/mi15010039
  5. Rhee H.-G. Direct Laser Lithography and Its Applications // Lithography / Ed. by M.Wang. 2010. http://doi.org/10.5772/8167
  6. Pugachev M.V., Duleba A.I., Galiullin A.A., Kuntsevich A.Y. // Micromachines. 2021. V. 12. P. 850. https://doi.org/10.3390/mi12080850

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».