Измерение температуры по сдвигу полос интерференции в микроинтерферометре Фабри–Перo на основе кремниевой пластины

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

Описан волоконно-оптический датчик температуры с чувствительным элементом на основе кремниевого микроинтерферометра Фабри–Перо, температура которого измеряется по сдвигу интерференционных полос вследствие зависимости коэффициента преломления кремния от температуры. Интерферометр Фабри–Перо представляет собой кремниевую пластину размерами 500×500 мкм2 толщиной 20 мкм, расположенную на торце одномодового волокна. Коэффициент преобразования такого интерферометра равняется примерно 1 нВт / °С при чувствительности порядка 5 · 10–3 °С.

About the authors

V. T. Potapov

Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov

Email: v_potapov38@mail.ru
Russia, 141190, Fryazino, Moscow Region, Vvedensky Square, 1

N. M. Zhamaletdinov

Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov

Email: v_potapov38@mail.ru
Russia, 141190, Fryazino, Moscow Region, Vvedensky Square, 1

V. V. Moiseev

Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov

Author for correspondence.
Email: mvv_8824@live.ru
Russia, 141190, Fryazino, Moscow Region, Vvedensky Square, 1

References

  1. Егоров Ф.А., Неугодников А.П., Потапов В.Т., Поспелов И.И. // Датчики и системы. 2006. № 6. С. 20.
  2. Kyuma K., Tai Sh., Sawada T., Nunoshita M. // IEEE J. Quantum Electronics. 1982. V. 18. P. 676.
  3. Fukano H., Ooshima K. // Jpn. J. Appl. Phys. 2024. V. 63. P. 1. https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3d68
  4. Jiahua Yang, Biao Yin, Xiaopeng Dong, Weixiong Huang, Yi Zou // J. Light. Technol. 2022. V. 40. № 16. P. 5729. https://doi.org/10.1109/JLT.2022.3181626
  5. Потапов В.Т., Жамалетдинов Н.М. // ПТЭ. 2022. № 3. С. 77.
  6. Schultheis L., Amstutz H., Kaufmann M. // Opt. Lett. 1988. V. 13. № 9. P. 782. https://doi.org/10.1364/OL.13.000782
  7. Berthold J.W., Reed S.E., Sarkis R.G. // Opt. Eng. 1991. V. 30. № 5. P. 524. https://doi.org/10.1117/12.55838
  8. https://kingfisher.com.au/ media/2314/7600-rs232-brochure.pdf
  9. https://nolatech.ru / files / datasheets / ru / DFB-1550-14BF.pdf
  10. http://en.kyphotonics.com / prod_view.aspx?TypeId= 142&Id= 183&FId=t3:142:3

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2025 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».