Magnetron deposition of barium hexaferrite films from a target of stoichiometric composition

V. A. Luzanov; Лузанов В. А.

doi:10.31857/S0033849423090176

Магнетронное осаждение пленок гексаферрита бария из мишени стехиометрического состава

Авторы: Лузанов В.А.¹
Учреждения:
1. Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Выпуск: Том 68, № 9 (2023)
Страницы: 921-923
Раздел: К 70-ЛЕТИЮ ИРЭ ИМ. В.А. КОТЕЛЬНИКОВА РАН
URL: https://journal-vniispk.ru/0033-8494/article/view/138433
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423090176
EDN: https://elibrary.ru/RGKOWT
ID: 138433

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Предложена методика получения пленок гексаферрита бария на сапфире с ориентацией (0001) методом высокочастотного магнетронного распыления стехиометрической мишени BaFe₁₂O₁₉ с последующим отжигом. Проведенные рентгеноструктурный анализ и рамановская спектрометрия показали возможность кристаллизации ориентированных пленок без использования коррекции состава мишени.

Ключевые слова

X-ray diffraction analysis, Raman spectrometry, barium hexaferrite

Об авторах

В. А. Лузанов

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: valery@luzanov.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино, пл. Введенского, 1

Список литературы

Guillissen J., Van Rysselberghe, Pierre J. // J. Electrochem. Soc. 1931. V. 59. № 1. P. 95.
Cai Z., Chen Z., Goodrich T.L. et al. // J. Cryst. Growth. 2007. V. 307. P. 321.
Kostishin V.G., Mironovich A.Yu., Shakirzyanov R.I. et al. // J. Magn. Magn. Mat. 2021. V. 527. P. 167786.
Ohodnicki P.R., Goh K.Y., McHenry M.E. et al. // J. Appl. Phys. 2008. V. 103. № 7. P. 07E514.
Yoon S.D., Vittoria C. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. P. 2131.
Xiaozhi Zh., Zhenxing Y., Siqin M., Lixin Y. // J. Appl. Phys. 2014. V. 116. P. 243909.
Abuzir A.R., Salman S.A. // Results Phys. 2018. V. 8. P. 587.
Kreisel J., Pignard S., Vincent H., Sénateur J.P. // J. Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. № 9. P. 1194.