Получение сегнетоэлектрических пленок оксида гафния методом магнетронного распыления

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Методом магнетронного распыления получены пленки оксида гафния, содержащие нецентросимметричную орторомбическую фазу, способную к спонтанной поляризации. Показано, что наличие бомбардировки отрицательными ионами кислорода способствует формированию орторомбической фазы.

Об авторах

В. А. Лузанов

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: valery@luzanov.ru
Россия, пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190

Список литературы

  1. Schenk T., Pešić1 M., Slesazeck S. et.al. // Reports on Progress in Physics. 2020. V. 83. № 8. P. 086501.
  2. Kim Min-Kyu, Kim Ik-Jyae, Lee Jang-Sik // Sci. Adv. 2021. V. 7. № 3. P. 1.
  3. Mikolajick T., Schroeder U., Slesazeck S. // IEEE Trans. 2020. V. ED-67. № 4. P. 1434.
  4. Park J. Y., Yang K., Lee D. H. et al. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. № 24. P. 240904.
  5. Mikolajick T., Slesazeck S., Park M. H., Schroeder U. // MRS Bull. 2018. V. 43. № 5. P. 340.
  6. Перевалов Т. В., Гриценко В. А., Гутаковский А. К., Просвирин И. П. // Письма в ЖЭТФ. 2019. Т. 109. № 2. С. 112.
  7. Горшков Д.В., Закиров, Е.Р., Сидоров Г.Ю. и др. // Изв. вузов. Физика. 2023. Т. 66. № 6. С. 111.
  8. Соколов А.А., Овчинников А.А., Лысенков К.М. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. № 7. С. 131.
  9. Лузанов В.А. Магнетронное распылительное устройство. Патент РФ на изобретение № 2761900. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели». № 35 от 13.12. 2021.
  10. Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).