Особенности формирования ячеистых микроструктур в пленках ферритов-гранатов методом ионно-лучевого травления

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Представлены результаты формирования ячеистых микроструктур в диэлектрических пленках ферритов-гранатов с использованием локальной модификации поверхности (травления) пленок с помощью сфокусированного ионного пучка. Показано, что для компенсации возникающего в процессе травления поверхностного заряда в ферритах-гранатах эффективно использование сканирующего электронного микроскопа одновременно при работе с ионной колонной, причем без предварительного напыления на пленку дополнительного проводящего слоя. Для реализации внутри ячеек монодоменного состояния глубина травления должна составлять более половины исходной толщины пленки, а при выборе латеральных размеров ячеек необходимо учитывать размеры исходной доменной структуры в пленке.

Об авторах

А. А. Федорова

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Email: danilova.aa@phystech.edu
ул. Моховая, 11, стр. 7, Москва, 125009 Российская Федерация; Институтский пер., 9, Долгопрудный, Московская область, 141700 Российская Федерация

А. П. Орлов

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

ул. Моховая, 11, стр. 7, Москва, 125009 Российская Федерация

С. А. Никитов

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

ул. Моховая, 11, стр. 7, Москва, 125009 Российская Федерация; Институтский пер., 9, Долгопрудный, Московская область, 141700 Российская Федерация

М. В. Логунов

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет); Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»

ул. Моховая, 11, стр. 7, Москва, 125009 Российская Федерация; Институтский пер., 9, Долгопрудный, Московская область, 141700 Российская Федерация; Покровский бульвар, 11, Москва, 109028 Российская Федерация

Список литературы

  1. Flebus B., Grundler D., Rana B., et al. // J. Phys.: Cond. Matt. 2024. V. 36. № 36. P. 363501.
  2. Petti D., Tacchi S., Albisetti E. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2022. V. 55. № 29. P. 293003.
  3. Kharratian S., Urey H., Onbaşlı M.C. // Adv. Opt. Mater. 2020. V. 8. № 1. P. 1901381.
  4. Logunov M.V., Safonov S.S., Fedorov A.S., et al. // Phys. Rev. Appl. 2021. V. 15. № 6. P. 064024.
  5. Aoshima K., Funabashi N., Higashida R. et al. // Opt. Express. 2023. V. 31. № 13. P. 21330.
  6. Blank T.G.H., Mashkovich E.A., Grishunin K.A. et al. // Phys. Rev. B. 2023. V. 108. № 9. P. 094439.
  7. Ignatyeva D.O., Karki D., Voronov A.A. et al // Nature Commun. 2020. V. 11. № 1. P. 5487.
  8. Kim S.K., Beach G.S.D., Lee K.-J. et al. // Nature Materials. 2022. V. 21. № 1. P. 24.
  9. Kharratian S., Urey H., Onbaşlı M.C. // Sci. Rep. 2019. V. 9. № 1. P. 644.
  10. Higashida R., Kawana M., Aoshima K., Funabashi N. // Proc. Optica Imaging Congr. 3D Image Acquisition and Display. Boston, 2023. N.Y.: Optica Publ. Group, 2023. P. JTu4A.47.
  11. Лузанов В.А., Балашов В.В., Лопухин К.В. // РЭ. 2022. Т. 67. № 6. С. 612.
  12. Schlitz R., Helm T., Lammel M. et al. // Appl. Phys. Lett. 2019. V. 114. № 25. P. 252401.
  13. Yao N. Focused Ion Beam Systems: Basics and Applications. Cambridge: Univ. Press, 2007
  14. Vernon-Parry K.D. // III–Vs Rev. 2000. V. 13. № 4. P. 40.
  15. Фролов А.В., Синченко А.А., Орлов А.П. et al. // Нелинейный мир. 2017. Т. 15. № 2. С. 39.
  16. Latyshev Y., Smolovich A., Orlov A. et al.// Nanosci. Nanoeng. 2015. V. 3. № 2. P. 13.
  17. Мамонов Е.А., Новиков В.Б., Майдыковский А.И. et al. // ЖЭТФ. 2023. Т. 163. № 1. С. 41.
  18. Vansteenkiste A., Leliaert J., Dvornik M. и др. // AIP Advances. 2014. V. 4. № 10. P. 107133.
  19. Leliaert J., Dvornik M., Mulkers J. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2018. V. 51. № 12. P. 123002.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».