Features of the cellular microstructures formation in iron-garnet films using focused ion beam etching

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

The results of cellular microstructures formation in dielectric iron-garnet films are presented. We used local surface modification (etching) by focused ion beam lithography. It is shown that using a scanning electron microscope along with an ion column is effective to compensate for the surface charge while etching in iron garnets. This method does not require an additional sputtering of conductive layer onto the garnet film. The etching depth must be more than half of the initial film thickness for implementation of a monodomain state inside the cells, At the same time, the size of the initial domain structure in the film must be taken into account when choosing the lateral cell sizes.

About the authors

A. A. Fedorova

Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics RAS; Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University)

Email: danilova.aa@phystech.edu
Mokhovaya Str., 11, build. 7, Moscow, 125009 Russian Federation; Institutskiy per., 9, Dolgoprudny, Moscow Region, 141701 Russian Federation

A. P. Orlov

Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics RAS

Mokhovaya Str., 11, build. 7, Moscow, 125009 Russian Federation

S. A. Nikitov

Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics RAS; Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University)

Mokhovaya Str., 11, build. 7, Moscow, 125009 Russian Federation; Institutskiy per., 9, Dolgoprudny, Moscow Region, 141701 Russian Federation

M. V. Logunov

Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics RAS; Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University); National Research University Higher School of Economics

Mokhovaya Str., 11, build. 7, Moscow, 125009 Russian Federation; Institutskiy per., 9, Dolgoprudny, Moscow Region, 141701 Russian Federation; Pokrovsky Bulvar, 11, Moscow, 109028 Russian Federation

References

  1. Flebus B., Grundler D., Rana B., et al. // J. Phys.: Cond. Matt. 2024. V. 36. № 36. P. 363501.
  2. Petti D., Tacchi S., Albisetti E. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2022. V. 55. № 29. P. 293003.
  3. Kharratian S., Urey H., Onbaşlı M.C. // Adv. Opt. Mater. 2020. V. 8. № 1. P. 1901381.
  4. Logunov M.V., Safonov S.S., Fedorov A.S., et al. // Phys. Rev. Appl. 2021. V. 15. № 6. P. 064024.
  5. Aoshima K., Funabashi N., Higashida R. et al. // Opt. Express. 2023. V. 31. № 13. P. 21330.
  6. Blank T.G.H., Mashkovich E.A., Grishunin K.A. et al. // Phys. Rev. B. 2023. V. 108. № 9. P. 094439.
  7. Ignatyeva D.O., Karki D., Voronov A.A. et al // Nature Commun. 2020. V. 11. № 1. P. 5487.
  8. Kim S.K., Beach G.S.D., Lee K.-J. et al. // Nature Materials. 2022. V. 21. № 1. P. 24.
  9. Kharratian S., Urey H., Onbaşlı M.C. // Sci. Rep. 2019. V. 9. № 1. P. 644.
  10. Higashida R., Kawana M., Aoshima K., Funabashi N. // Proc. Optica Imaging Congr. 3D Image Acquisition and Display. Boston, 2023. N.Y.: Optica Publ. Group, 2023. P. JTu4A.47.
  11. Лузанов В.А., Балашов В.В., Лопухин К.В. // РЭ. 2022. Т. 67. № 6. С. 612.
  12. Schlitz R., Helm T., Lammel M. et al. // Appl. Phys. Lett. 2019. V. 114. № 25. P. 252401.
  13. Yao N. Focused Ion Beam Systems: Basics and Applications. Cambridge: Univ. Press, 2007
  14. Vernon-Parry K.D. // III–Vs Rev. 2000. V. 13. № 4. P. 40.
  15. Фролов А.В., Синченко А.А., Орлов А.П. et al. // Нелинейный мир. 2017. Т. 15. № 2. С. 39.
  16. Latyshev Y., Smolovich A., Orlov A. et al.// Nanosci. Nanoeng. 2015. V. 3. № 2. P. 13.
  17. Мамонов Е.А., Новиков В.Б., Майдыковский А.И. et al. // ЖЭТФ. 2023. Т. 163. № 1. С. 41.
  18. Vansteenkiste A., Leliaert J., Dvornik M. и др. // AIP Advances. 2014. V. 4. № 10. P. 107133.
  19. Leliaert J., Dvornik M., Mulkers J. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2018. V. 51. № 12. P. 123002.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2025 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».