Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research

Cover Page

Cite item

Full Text

Abstract

State of the art in the development and application of gas cluster ion sources is considered. The mechanisms of neutral cluster formation, the techniques applied to study their flows and regularities of ionization and the principles of mass separation of ion beams are discussed. Design features of some cluster ion beam sources intended for various applied and academic studies are considered. Use of such sources for controlled modification of surface topography, ultra-shallow ion implantation, development of analytical techniques, and stimulation of surface chemical reactions is analyzed.

About the authors

Aleksei Evgen'evich Ieshkin

Lomonosov Moscow State University, Faculty of Physics

Email: ieshkin@physics.msu.ru
ORCID iD: 0000-0002-7051-9890
Scopus Author ID: 55505061600
ResearcherId: J-8089-2012
Candidate of physico-mathematical sciences

Aleksandr Borisovich Tolstoguzov

Ryazan State Radio Engineering University; Department of Physics and Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory and Center for Ion Beam Application, School of Physics and Technology, Wuhan University; Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fisica da Faculdade de Ciencias e Tecnologia (FCT), Universidade Nova de Lisboa

Email: a.tolstoguzov@fct.unl.pt

Nikolai Gennad'evich Korobeishchikov

Novosibirsk State University

Email: korobei@nsu.ru
ORCID iD: 0000-0003-1047-4894
Scopus Author ID: 6603260292
Candidate of physico-mathematical sciences

V. O. Pelenovich

Department of Physics and Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory and Center for Ion Beam Application, School of Physics and Technology, Wuhan University

Vladimir Savel'evich Chernysh

Lomonosov Moscow State University, Faculty of Physics

Email: chernysh@phys.msu.ru
Doctor of physico-mathematical sciences, Professor

References

  1. Brown I. G. (Ed.), The Physics and Technology of Ion Sources, John Wiley and Sons, New York, 1989
  2. Дудников В. Г., УФН, 189 (2019), 1315
  3. Мажаров П. А., Дудников В. Г., Толстогузов А. Б., УФН, 190 (2020), 1293
  4. Kantrowitz A., Grey J., Rev. Sci. Instrum., 22 (1951), 328
  5. Kistiakowsky G. B., Slichter W. P., Rev. Sci. Instrum., 22 (1951), 333
  6. Henkes W., Z. Naturforsch. A, 16 (1961), 842
  7. Bentley P. G., Nature, 190 (1961), 432
  8. Hagena O.-F., Henkes W., Z. Naturforsch. A, 20 (1965), 1344
  9. Becker E. W. et al., Development and construction of an injector using hydrogen cluster ions for nuclear fusion devices, Status Report as of December 1973, Gesellschaft für Kernforschung M.B.H., Karlsruhe, 1974, Kernforschungszentrum Karlsruhe KFK 2016
  10. Henkes W. P. R., Klingelhöfer R., J. Phys. Colloques, 50 (1989), C2–159
  11. Henkes P. R. W., Rev. Sci. Instrum., 61 (1990), 360
  12. Yamada I., AIP Conf. Proc., 1321 (2011), 1
  13. Anderson J. B., Fenn J. B., Phys. Fluids, 8 (1965), 780
  14. Елецкий А. В., Смирнов Б. М., УФН, 159 (1989), 45
  15. Макаров Г. Н., УФН, 176 (2006), 121
  16. Карпенко А. Ю., Батурин В. А., Журн. нано- електрон. физ., 4:3 (2012), 03015
  17. Смирнов Б. М., УФН, 173 (2003), 609
  18. Андреев А. А. и др., Нанотехнологии, 1:1 (2009), 23
  19. Авдуевский В. С. и др., Газодинамика сверхзвуковых неизобарических струй, Машиностроение, М., 1989
  20. Pauly H., Atom, Molecule, and Cluster Beams, v. 2, Springer, Berlin, 2000
  21. Campargue R. (Ed.), Atomic and Molecular Beams: the State of the Art 2000, Springer, Berlin, 2001
  22. Scoles G. (Ed.), Atomic and Molecular Beam Methods, v. 1, Oxford Univ. Press, New York, 1988
  23. Scoles G. (Ed.), Atomic and Molecular Beam Methods, v. 2, Oxford Univ. Press, New York, 1992
  24. Александров М. Л., Куснер Ю. С., Газодинамические, молекулярные, ионные и кластированные пучки, Наука, Л., 1989
  25. Hagena O. F., Obert W., J. Chem. Phys., 56 (1972), 1793
  26. Lu H. et al., J. Chem. Phys., 132 (2010), 124303
  27. Chen G. et al., J. Appl. Phys., 108 (2010), 064329
  28. Korobeishchikov N. G. et al., Vacuum, 119 (2015), 256
  29. Дулов В. Г., Лукьянов Г. А., Газодинамика процессов истечения, Наука, Новосибирск, 1984
  30. Ashkenas H., Sherman F. S., Rarefied Gas Dynamics. Proc. of the Fourth Intern. Symp., (Toronto, 1964), v. 2, Ed. J. H. de Leeuw, Academic Press, New York, 1965, 84
  31. Crist S., Sherman P. M., Glass D. R., AIAA J., 4 (1966), 68
  32. Beijerinck H. C. W. et al., Chem. Phys., 96 (1985), 153
  33. van Eck H. J. N., J. Appl. Phys., 105 (2009), 063307
  34. Зарвин А. Е., Шарафутдинов Р. Г., Прикладная механика и техническая физика, 1979, № 6, 107
  35. Campargue R., J. Phys. Chem., 88 (1984), 4466
  36. Weaver B. D., Frankl D. R., Rev. Sci. Instrum., 58 (1987), 2115
  37. Lewis C. H., Carlson D. J., AIAA J., 2 (1964), 776
  38. Hagena O. F., Rev. Sci. Instrum., 63 (1992), 2374
  39. Even U., Adv. Chem., 2014 (2014), 636042
  40. Станкус Н. В., Чекмарев С. Ф., ЖТФ, 54 (1984), 1576
  41. Коробейщиков Н. Г., Зарвин А. Е., Мадирбаев В. Ж., ЖТФ, 74:8 (2004), 21
  42. Димов Г. И., ПТЭ, 1968, № 5, 168
  43. Christen W., Rademann K., Even U., J. Chem. Phys., 125 (2006), 174307
  44. Irimia D. et al., Rev. Sci. Instrum., 80 (2009), 113303
  45. Popok V. N. et al., Rev. Sci. Instrum., 73 (2002), 4283
  46. Andreev A. A. et al., Vacuum, 91 (2013), 47
  47. Zeng X. M. et al., Chinese Phys. C, 41 (2017), 087003
  48. Иешкин А. Е., Ермаков Ю. А., Черныш В. С., Письма в ЖТФ, 41:22 (2015), 8
  49. Bier K., Schmidt B., Z. Angew. Phys., 13 (1961), 496
  50. Зарвин А. Е. и др., Письма в ЖТФ, 41:22 (2015), 74
  51. Ieshkin A. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 795 (2015), 395
  52. Ieshkin A. E. et al., J. Vis., 22 (2019), 741
  53. Кисляков Н. И., Ребров А. К., Шарафутдинов Р. Г., Прикладная механика и техническая физика, 1975, № 2, 42
  54. Зарвин А. Е., Яскин А. С., Каляда В. В., Прикладная механика и техническая физика, 2018, № 1, 99
  55. Wegner K. et al., J. Phys. D, 39 (2006), R439
  56. Hagena O. F., Phys. Fluids, 17 (1974), 894
  57. Hagena O. F., Surf. Sci., 106 (1981), 101
  58. Hagena O. F., Z. Phys. D, 4 (1987), 291
  59. Korobeishchikov N. G., Roenko M. A., Tarantsev G. I., J. Clust. Sci., 28 (2017), 2529
  60. Smith R. A., Ditmire T., Tisch J. W. G., Rev. Sci. Instrum., 69 (1998), 3798
  61. Sharma P. K., Knuth E. L., Young W. S., J. Chem. Phys., 64 (1976), 4345
  62. Buck U., Krohne R., J. Chem. Phys., 105 (1996), 5408
  63. Karnbach R. et al., Rev. Sci. Instrum., 64 (1993), 2838
  64. Korobeishchikov N. G. et al., Plasma Chem. Plasma Process., 25 (2005), 319
  65. Zarvin A. E. et al., Eur. Phys. J. D, 49 (2008), 101
  66. Winkler M., Harnes J., Bуrve K. J., J. Phys. Chem. A, 115 (2011), 13259
  67. Lundwall M. et al., J. Chem. Phys., 126 (2007), 214706
  68. Nagasaka M. et al., J. Chem. Phys., 137 (2012), 214305
  69. Pysanenko A. et al., Int. J. Mass Spectrom., 461 (2021), 116514
  70. Shyrokorad D., Kornich G., Buga S., Mater. Today Commun., 23 (2020), 101107
  71. Yamada I. et al., Mater. Sci. Eng. A, 253 (1998), 249
  72. Bell A. J. et al., J. Phys. D, 26 (1993), 994
  73. Bush A. M. et al., J. Phys. Chem. A, 102 (1998), 6457
  74. Ditmire T. et al., Phys. Rev. A, 53 (1996), 3379
  75. Ramos A. et al., Phys. Rev. A, 72 (2005), 053204
  76. Kim K. Y., Kumarappan V., Milchberg H. M., Appl. Phys. Lett., 83 (2003), 3210
  77. Gupta K. C. et al., J. Appl. Phys., 118 (2015), 114308
  78. Dorchies F. et al., Phys. Rev. A, 68 (2003), 023201
  79. Wörmer J., Joppien M., Möller T., Chem. Phys. Lett., 182 (1991), 632
  80. Tchaplyguine M. et al., J. Chem. Phys., 120 (2004), 345
  81. Amar F. G., Smaby J., Preston T. J., J. Chem. Phys., 122 (2005), 244717
  82. Harnes J. et al., J. Phys. Chem. A, 115 (2011), 10408
  83. Bonnamy A. et al., J. Chem. Phys., 118 (2003), 3612
  84. Bonnamy A. et al., Phys. Chem. Chem. Phys., 7 (2005), 963
  85. Farges J. et al., J. Chem. Phys., 84 (1986), 3491
  86. Данильченко А. Г., Коваленко С. И., Самоваров В. Н., ФНТ, 35 (2009), 1240
  87. De Martino A. et al., Z. Phys. D, 27 (1993), 185
  88. Fedor J. et al., J. Chem. Phys., 135 (2011), 104305
  89. Korobeishchikov N. G., Penkov O. I., Vacuum, 125 (2016), 205
  90. Soler J. M., Phys. Rev. Lett., 49 (1982), 1857
  91. Schütte S., Buck U., Int. J. Mass Spectrom., 220 (2002), 183
  92. Song J. H. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 179 (2001), 568
  93. Ryuto H. et al., Vacuum, 84 (2009), 505
  94. Echt O. et al., Z. Phys. B Cond. Matter, 53 (1983), 71
  95. Söderlund J. et al., Phys. Rev. Lett., 80 (1998), 2386
  96. Rupp D. et al., J. Chem. Phys., 141 (2014), 044306
  97. Bobbert C. et al., Eur. Phys. J. D, 19 (2002), 183
  98. Korobeishchikov N. G., Nikolaev I. V., Roenko M. A., J. Phys. Conf. Ser., 1115 (2018), 032016
  99. Gao X. et al., J. Appl. Phys., 114 (2013), 034903
  100. Jang D. G. et al., Appl. Phys. Lett., 105 (2014), 021906
  101. Востриков А. А., Дубов Д. Ю., ЖЭТФ, 125 (2004), 222
  102. Анисимов М. П., Усп. химии, 72 (2003), 664
  103. Boldarev A. S. et al., Rev. Sci. Instrum., 77 (2006), 083112
  104. Korobeishchikov N. G. et al., AIP Conf. Proc., 1628 (2014), 885
  105. Tao Y. et al., J. Appl. Phys., 119 (2016), 164901
  106. Nazarov V. S. et al., J. Phys. Conf. Ser., 1250 (2019), 012026
  107. Even U., EPJ Techn. Instrum., 2 (2015), 17
  108. Mack M. E., Ionizer and method for gas-cluster ion-beam formation, Patent US 7,173,252 B2, 2007
  109. Lee S. J. et al., Bull. Korean Chem. Soc., 40 (2019), 877
  110. Seki T. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 206 (2003), 902
  111. Swenson D. R., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 222 (2004), 61
  112. Toyoda N., Yamada I., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 307 (2013), 269
  113. Scheier P., Märk T. D., J. Chem. Phys., 86 (1987), 3056
  114. Scheier P., Märk T. D., Chem. Phys. Lett., 136 (1987), 423
  115. Пеленович В. О. и др., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2019, № 4, 84
  116. SIMION®
  117. Ono L. K., Study of secondary ion emission from Si target bombarded by large cluster ions, M.D. Thesis, Kyoto Univ., Kyoto, 2004
  118. Бакун А. Д. и др., Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2019, Труды XXIV Международной конф. (19 - 23 августа 2019 г., Москва, Россия), т. 1, Ред. Е. Ю. Зыкова и др., НИЯУ МИФИ, М., 2019, 84
  119. Fujii M. et al., Rapid Commun. Mass Spectrom., 28 (2014), 917
  120. Mohammadi A. S. et al., Anal. Bioanal. Chem., 408 (2016), 6857
  121. MacCrimmon R. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 242 (2006), 427
  122. Toyoda N., Isogai H., Yamada I., AIP Conf. Proc., 1066 (2008), 431
  123. Paruch R. J., Postawa Z., Garrison B. J., J. Vac. Sci. Technol. B, 34 (2016), 03H105
  124. Toyoda N., Houzumi S., Yamada I., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 242 (2006), 466
  125. Seliger R. L., J. Appl. Phys., 43 (1972), 2352
  126. Соловьев А. В., Толстогузов А. Б., ЖТФ, 57 (1987), 953
  127. Moritani K. et al., Appl. Surf. Sci., 255 (2008), 948
  128. Ohwaki K. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 241 (2005), 614
  129. Moritani K. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 432 (2018), 1
  130. Anai Y. et al., E-J. Surf. Sci. Nanotechnol., 14 (2016), 161
  131. Niehuis E. et al., Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS V, Springer Series in Chemical Physics, 44, A. Benninghoven et al., Springer-Verlag, Berlin, 1986, 188
  132. Kayser S. et al., Surf. Interface Anal., 45 (2013), 131
  133. Yang L., Seah M. P., Gilmore I. S., J. Phys. Chem. C, 116 (2012), 23735
  134. Pelenovich V. et al., Vacuum, 172 (2020), 109096
  135. Kirkpatrick A. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 307 (2013), 281
  136. De Vido M. et al., Opt. Mater. Express., 7 (2017), 3303
  137. IONOPTIKA. GCIB 40
  138. Winograd N., Annu. Rev. Anal. Chem., 11 (2018), 29
  139. Zeng X. M. et al., Acta Phys. Sin., 69 (2020), 093601
  140. Киреев Д. С. и др., Вестн. Рязанского гос. радиотехнического, 2018, № 66–2, 40
  141. SRIM
  142. Matsuo J. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 121 (1997), 459
  143. Yamamura Y., Tawara H., At. Data Nucl. Data Tables, 62 (1996), 149
  144. Toyoda N. et al., Mater. Chem. Phys., 54 (1998), 262
  145. Chernysh V. S. et al., Surf. Coat. Technol., 388 (2020), 125608
  146. Yamada I. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 164 (2000), 944
  147. Insepov Z., Yamada I., Sosnowski M., Mater. Chem. Phys., 54 (1998), 234
  148. Каргин Н. И. и др., Научная визуализация, 9:3 (2017), 28
  149. Чайникова А. С. и др., Труды ВИАМ, 2015, № 11, 4
  150. Ieshkin A. et al., Surf. Topogr. Metrol. Prop., 7 (2019), 025016
  151. Chirkin M. V., Molchanov A. V., Serebryakov A. E., Proc. of the 5th Intern. Conf. on Optical Measurement Techniques for Structures and Systems, J. Dirckx, J. Buytaert, Shaker Publ. BV, Maastricht, 2013, 93
  152. Akizuki M. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 99 (1995), 229
  153. Henkes P. R. W., Krevet B., J. Vac. Sci. Technol. A, 13 (1995), 2133
  154. Yamada I. et al., Mater. Sci. Eng. R, 34 (2001), 231
  155. Ieshkin A. E. et al., Surf. Sci., 700 (2020), 121637
  156. Teo E. J. et al., Nanoscale, 6 (2014), 3243
  157. Teo E. J. et al., Appl. Phys. A, 117 (2014), 719
  158. Николаев И. В. и др., Письма в ЖТФ, 47:6 (2021), 44
  159. Yin X. et al., Proc. SPIE, 10697 (2018), 106974R
  160. Li L. et al., Results Phys., 19 (2020), 103356
  161. Toyoda N. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 148 (1999), 639
  162. Иешкин А. Е. и др., Вестн. МГУ. Физика. Астрономия, 1 (2016), 72
  163. Иешкин А. Е. и др., Письма в ЖТФ, 43:2 (2017), 18
  164. Mashita T., Toyoda N., Yamada I., Jpn. J. Appl. Phys., 49 (2010), 06GH09
  165. Коробейщиков Н. Г., Николаев И. В., Роенко М. А., Письма в ЖТФ, 45:6 (2019), 30
  166. Manenkov A. A., Opt. Eng., 53 (2014), 010901
  167. Korobeishchikov N. G. et al., Surf. Interfaces, 27 (2021), 101520
  168. Toyoda N., Yamada I., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 273 (2012), 11
  169. Takaoka G. H. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 232 (2005), 206
  170. Aoki T., Matsuo J., Takaoka G., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 202 (2003), 278
  171. Nakayama Y. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 241 (2005), 618
  172. Seki T., Aoki T., Matsuo J., AIP Conf. Proc., 1066 (2008), 423
  173. Kyoung Y. K. et al., Surf. Interface Anal., 45 (2013), 150
  174. Shemukhin A. A. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 354 (2015), 274
  175. Isogai H. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 257 (2007), 683
  176. Shao L. et al., Appl. Phys. Lett., 102 (2013), 101604
  177. Занавескин М. Л. и др., Кристаллография, 53 (2008), 740
  178. Toyoda N., MRS Adv., 1 (2016), 357
  179. Aoki T., Matsuo J., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 261 (2007), 639
  180. Kakuta S. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 257 (2007), 677
  181. Chu W. K. et al., Appl. Phys. Lett., 72 (1998), 246
  182. Fathy D. et al., Mater. Lett., 44 (2000), 248
  183. Bourelle E. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 241 (2005), 622
  184. Suzuki A. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 257 (2007), 649
  185. Kakekhani A., Ismail-Beigi S., Altman E. I., Surf. Sci., 650 (2016), 302
  186. Wang C. et al., Nature, 562 (2018), 101
  187. Skryleva E. A. et al., Surf. Interfaces, 26 (2021), 101428
  188. Siew S. Y. et al., Opt. Express, 26 (2018), 4421
  189. Зорина М. В. и др., Письма в ЖТФ, 42:16 (2016), 34
  190. Ieshkin A. E. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 460 (2019), 165
  191. Svyakhovskiy S. E., Maydykovsky A. I., Murzina T. V., J. Appl. Phys., 112 (2012), 013106
  192. Ieshkin A. E., Svyakhovskiy S. E., Chernysh V. S., Vacuum, 148 (2018), 272
  193. Toyoda N. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 49 (2010), 06GH13
  194. Toyoda N. et al., J. Appl. Phys., 105 (2009), 07C127
  195. Nagato K. et al., IEEE Trans. Magn., 46 (2010), 2504
  196. Wu A. T., Swenson D. R., Insepov Z., Phys. Rev. ST Accel. Beams, 13 (2010), 093504
  197. Insepov Z. et al., AIP Conf. Proc., 1099 (2009), 46
  198. Swenson D. R., Degenkolb E., Insepov Z., Physica C, 441 (2006), 75
  199. Chernysh V. S. et al., J. Instrum., 16 (2021), T02007
  200. Pelenovich V. et al., Acta Phys. Sin., 70 (2021), 053601
  201. Николаев И. В. и др., Письма в ЖТФ, 47:6 (2021), 44
  202. Fenner D. B. et al., Proc. SPIE, 4468 (2001), 17
  203. Nishiyama A. et al., AIP Conf. Proc., 475 (1999), 421
  204. Bakun A. D. et al., Appl. Surf. Sci., 523 (2020), 146384
  205. Aoki T. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 206 (2003), 861
  206. Ieshkin A. E. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 421 (2018), 27
  207. Huang, Q et al., Nat. Commun., 10 (2019), 2437
  208. Toyoda N., Mashita T., Yamada I., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 232 (2005), 212
  209. Toyoda N. et al., Appl. Phys. Rev., 6 (2019), 020901
  210. Norris S. A., Aziz M. J., Appl. Phys. Rev., 6 (2019), 011311
  211. Cuerno R., Kim J. S., J. Appl. Phys., 128 (2020), 180902
  212. Maciazek D., Kanski M., Postawa Z., Anal. Chem., 92 (2020), 7349
  213. Sumie K., Toyoda N., Yamada I., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 307 (2013), 290
  214. Lozano O. et al., AIP Adv., 3 (2013), 062107
  215. Tilakaratne B. P., Chen Q. Y., Chu W. K., Materials, 10 (2017), 1056
  216. Zeng X. et al., Beilstein J. Nanotechnol., 11 (2020), 383
  217. Киреев Д. С., Иешкин А. Е., Шемухин А. А., Письма в ЖТФ, 46:9 (2020), 3
  218. Ieshkin A. et al., Mater. Lett., 272 (2020), 127829
  219. Saleem I. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 380 (2016), 20
  220. Saleem I., Chu W. K., Sens. Biosensing Res., 11 (2016), 14
  221. Saleem I., Widger W., Chu W. K., Appl. Surf. Sci., 411 (2017), 205
  222. Radny T., Gnaser H., Nanoscale Res. Lett., 9 (2014), 403
  223. Sanatinia R. et al., Nanotechnol., 26 (2015), 415304
  224. Murdoch B. J. et al., Appl. Phys. Lett., 111 (2017), 081603
  225. Takagi H., Kurashima Y., Suga T., ECS Trans., 75:9 (2016), 3
  226. Toyoda N. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 57 (2018), 02BA02
  227. Ikeda S., Sasaki T., Toyoda N., 2017 5th Intern. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D, 16 - 18 May 2017, IEEE, Piscataway, NJ, 2017, 66
  228. Toyoda N. et al., ECS Trans., 75 (2016), 9
  229. Shiau D. K., Surf. Coatings Technol., 365 (2019), 173
  230. Stewart C. A. C. et al., Appl. Surf. Sci., 456 (2018), 701
  231. Yamada I. et al., Curr. Opin. Solid State Mater. Sci., 19 (2015), 12
  232. Khoury J. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 307 (2013), 630
  233. Kirkpatrick S. et al., 2016 IEEE 16th Intern. Conf. on Nanotechnology, IEEE-NANO (22 - 25 Aug. 2016), IEEE, Piscataway, NJ, 2016, 710
  234. Yamada I., Khoury J., MRS Proc., 1354 (2011), 301
  235. Cleveland C. L., Landman U., Science, 257 (1992), 355
  236. Insepov Z., Yamada I., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 112 (1996), 16
  237. Ieshkin A. E. et al., Surf. Coatings Technol., 404 (2020), 126505
  238. Toyoda N., Yamada I., Phys. Procedia, 66 (2015), 556
  239. Takaoka G. H. et al., Surf. Coatings Technol., 206 (2011), 869
  240. Ryuto H. et al., Rev. Sci. Instrum., 85 (2014), 02C301
  241. Toyoda N. et al., Mater. Chem. Phys., 54 (1998), 106
  242. Ogawa A., Toyoda N., Yamada I., Surf. Coatings Technol., 306 (2016), 187
  243. Yamaguchi A. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 52 (2013), 05EB05
  244. Seki T. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 55 (2016), 06HB01
  245. Seki T. et al., Jpn. J. Appl. Phys., 56 (2017), 06HB02
  246. Seki T. et al., Appl. Phys. Lett., 110 (2017), 182105
  247. Toyoda N., Ogawa A., J. Phys. D, 50 (2017), 184003
  248. Toyoda N., Uematsu K., Jpn. J. Appl. Phys., 58 (2019), SEEA01
  249. Borland J. et al., Electrochemical Society Proceedings, v. 2004–07, D. Harame et al., The Electrochemical Society, Inc., Pennington, 2004, 769
  250. Hautala J. et al., AIP Conf. Proc., 866 (2006), 174
  251. Maciazek D., Postawa Z., Acta Phys. Pol. A, 136 (2019), 260
  252. Benninghoven A., Rüdenauer F. G., Werner H. W., Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends, Chemical Analysis, 86, J. Wiley, New York, 1987
  253. Толстогузов А. Б., “Перспективные направления развития метода вторично-ионной масс-спектрометрии”, Обзоры по электронной технике. Сер. Технология, организация производства и оборудование, № 5 (1604), ЦНИИ Электроника, М., 1604, 5
  254. Черепин В. Т., Ионный микрозондовый анализ, Наукова думка, Киев, 1992
  255. Толстогузов А. Б. и др., Приборы и техника эксперимента, 2015, № 1, 5
  256. Mahoney C. M. (Ed.), Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, John Wiley and Sons, Hoboken, NJ, 2013
  257. Ninomiya S. et al., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 256 (2007), 493
  258. Rzeznik L. et al., J. Phys. Chem. C, 112 (2008), 521
  259. Cristaudo V. et al., Appl. Surf. Sci., 536 (2021), 147716
  260. Lee J. L. S. et al., Anal. Chem., 82 (2010), 98
  261. Mochiji K. et al., Rapid Commun. Mass Spectrom., 23 (2009), 648
  262. Delcorte A., Garrison B. J., Hamraoui K., Surf. Interface Anal., 43 (2011), 16
  263. Mochiji K., J. Anal. Bioanal. Tech., S2 (2014), 001
  264. Rabbani S. et al., Anal. Chem., 83 (2011), 3793
  265. Benguerba M., Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 420 (2018), 27
  266. Williams P., Mahoney C. M., Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, Ed. C. M. Mahoney, John Wiley and Sons, Hoboken, NJ, 2013, 313
  267. Mahoney C. M. et al., Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, Ed. C. M. Mahoney, John Wiley and Sons, Hoboken, NJ, 2013, 117
  268. Gillen G., Bennett J., Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, Ed. C. M. Mahoney, John Wiley and Sons, Hoboken, NJ, 2013, 247
  269. Rading D. et al., Surf. Interface Anal., 45 (2013), 171
  270. Depth profile analysis of organic materials by GCIB-TOF-SIMS
  271. Noda et al., J. Vac. Sci. Technol. B, 38 (2020), 034003
  272. Delcorte A., Poleunis C., J. Phys. Chem. C, 123 (2019), 19704
  273. Delmez V. et al., J. Phys. Chem. Lett., 12 (2021), 952
  274. Mouhib T. et al., Surf. Interface Anal., 45 (2013), 46
  275. Rabbani S. S., Anal. Chem., 87 (2015), 2367
  276. Wucher A., Tian H., Winograd N., Rapid Commun. Mass Spectrom., 28 (2014), 396
  277. Razo I. B., Rapid Commun. Mass Spectrom., 29 (2015), 1851
  278. Tian H., Wucher A., Winograd N., J. Am. Soc. Mass Spectrom., 27 (2016), 285
  279. Lee S. J. et al., Appl. Surf. Sci., 572 (2022), 151467
  280. Tolstogouzov A. B., Combined source of mixed-composition gas cluster ion beam, Patent ZL 2018,1,1165407,4, 2018
  281. Wucher A., Fisher G. L., Mahoney C. M., Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, Ed. C. M. Mahoney, John Wiley and Sons, Hoboken, NJ, 2013, 207
  282. Vickerman J., Winograd N., Cluster Secondary Ion Mass Spectrometry: Principles and Applications, Ed. C. M. Mahoney, John Wiley and Sons, Hoboken, NJ, 2013, 269
  283. IONOPTIKA. J105 SIMS
  284. Fletcher J. S. et al., Anal. Chem., 80 (2008), 9058
  285. Hill R. et al., Surf. Interface Anal., 43 (2011), 506
  286. Нефедов В. И., Рентгеноэлектронная спектроскопия химических соединений, Химия, М., 1984
  287. Friedbacher H., Bubert G. (Eds.), Surface and Thin Film Analysis: A Compendium of Principles, Instrumentation, and Applications, Wiley-VCH, Weinheim, 2011
  288. Stevie F. A., Donley C. L., J. Vac. Sci. Technol. A, 38 (2020), 063204
  289. Toray Research Center. XPS analysis using the GCIB etching
  290. Miisho A., Inaba M., J. Surf. Anal., 24 (2017), 47
  291. Romanyuk O. et al., Appl. Surf. Sci., 514 (2020), 145903
  292. Finšgar M., Corros. Sci., 169 (2020), 108632
  293. Theodosiou A. et al., Appl. Surf. Sci., 506 (2020), 144764
  294. SPECSGROUP. EnviroESCA
  295. Insepov Z. et al., Phys. Rev. B, 61 (2000), 8744
  296. Kinslow R. (Ed.), High-Velocity Impact Phenomena, Academic Press, New York, 1970
  297. Toyoda N., 2016 IEEE 16th Intern. Conf. on Nanotechnology, IEEE-NANO (22 - 25 Aug. 2016), IEEE, Piscataway, NJ, 2016, 381
  298. Onorati E. et al., Thin Solid Films, 625 (2017), 35
  299. Mochiji K. et al., Rapid Commun. Mass Spectrom., 28 (2014), 2141
  300. Poleunis C., Cristaudo V., Delcorte A., J. Am. Soc. Mass Spectrom., 29 (2018), 4
  301. Chundak M. et al., Appl. Surf. Sci., 533 (2020), 147473

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».