Отправить статью по E-mail 
ОБРАТНАЯ ЗАДАЧА ТЕОРИИ ОТРАЖЕНИЯ ДЛЯ ПЯТИСЛОЙНЫХ СИММЕТРИЧНЫХ СТРУКТУР
- Авторы: Федюхин Л.А1, Колосовский Е.А2, Горчаков А.В3
-
Учреждения:
- Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук
- Институт физики полупроводников им. А. В. Росанова Сибирского отделения Российской академии наук
- Новосибирский государственный университет
- Выпуск: Том 168, № 2 (2025)
- Страницы: 143–149
- Раздел: АТОМЫ, МОЛЕКУЛЫ, ОПТИКА
- URL: https://journal-vniispk.ru/0044-4510/article/view/307105
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044451025080012
- ID: 307105
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Получено точное аналитическое решение обратной задачи теории отражения для прозрачных структур с четырьмя границами раздела. Приведены соотношения, определяющие оптическую длину структуры, толщину подложки, угловое положение и абсолютные номера интерференционных минимумов.
Об авторах
Л. А Федюхин
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук
Email: leogal2007@mail.ru
Новосибирск, Россия
Е. А Колосовский
Институт физики полупроводников им. А. В. Росанова Сибирского отделения Российской академии наукНовосибирск, Россия
А. В Горчаков
Новосибирский государственный университетНовосибирск, Россия
Список литературы
- В. К. Громов, Весёлчие в эллипсометрию, Изд-во ЛГУ (1986).
- С. Н. Свиташева, Метод эллипсометрии для исследования ианоразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов, Изд-во СО РАН Новосибирск (2019).
- А. И. Семененко, И. А. Семененко, Научное приборостроение 23, 47 (2013).
- С. Н. Свиташева, ДАН СССР 318 (5), 1154 (1991).
- Д. В. Сивухин, Общий курс физики. Оптика, Наука, Москва (1980).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, Опт. и спектр. 128, 257 (2020).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, ЖЭТФ 158, 792 (2020).
- Shyam Singh, Phys. Scr. 65, 167 (2002).
- А. Л. Брикс, В сб. Исследования в области оптических и световых измерений, Труды метрологических институтов СССР 193, 14 (1976).
- Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Н. Г. Коробейщиков, И. В. Николаев, Письма в ЖЭТФ 114, 304 (2021).
Дополнительные файлы
