МОЛЕКУЛЯРНОЕ НАСЛАИВАНИЕ АЛЮМИНИЙ-МОЛИБДЕНОВЫХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТРИМЕТИЛАЛЮМИНИЯ И ДИОКСИДИХЛОРИДА МОЛИБДЕНА

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Представлена программа молекулярного наслаивания (MH) алюминий-молибденовых оксидных (Al,Mo,O) пленок, основанная на циклических реакциях паров триметилалюминия (TMA) и диоксидихлорида молибдена (MoO2Cl2). Исследовано влияние добавления напуска паров воды в цикл MH (TMA-H2O-MoO2Cl2). Процесс роста пленок изучали in situ методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания (КПМ). Установлено, что при температуре MH 180°C для процессов TMA-MoO2Cl2 и TMA-H2O-MoO2Cl2 наблюдается линейный рост с постоянной роста 3.79 и 3.94 Å/цикл соответственно. Согласно данным методов отражения и дифракции рентгеновских лучей (ОПЛ и ДПЛ), полученные пленки имели аморфную структуру с плотностью ∼3.7 г/см3 и среднеквадратичную шероховатость в пределах 10-12 Å. Оба типа полученных пленок имели схожий состав. В полученных пленках содержался Mo+6, Mo+5 и Mo+4.

Об авторах

А. М Максумова

Дагестанский Государственный Университет; Институт проблем геотермии и возобновляемой энергетики — филиал Объединенного института высоких температур РАН

Email: ilmutdina@gmail.com
Махачкала, Россия; Махачкала, Россия

И. С Бодалев

Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)

Санкт-Петербург, Россия

С. С Етмишева

Дагестанский Государственный Университет

Махачкала, Россия

А. В Королева

Санкт-Петербургский государственный университет

Санкт-Петербург, Россия

М. Г. Штанчаева

Дагестанский Государственный Университет

Махачкала, Россия

И. М Абдулагатов

Дагестанский Государственный Университет

Махачкала, Россия

М. Х Рабаданов

Дагестанский Государственный Университет

Махачкала, Россия

А. С Логинова

Завод ПРОТОН

Зеленоград, Россия

Б. А Логинов

Национальный исследовательский университет “Московский институт электронной техники”

Moscow, Russia

А. И Абдулагатов

Дагестанский Государственный Университет

Махачкала, Россия

Список литературы

  1. Matsumoto Y., Shimanouchi S. // Procedia Eng. 2016. V. 148. P. 158. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2016.06.507
  2. Davis B.E., Strandwitz N.C. // IEEE J. Photovolt. 2020. V. 10. N. 3. P. 722. https://doi.org/10.1109/JPHOTOV.2020.2973447
  3. Chowdhury S., Khokhar M.Q., Pham D.Ph., Yi J. // ECS J. Solid State Sci. Technol. 2022. V. 11. N. 1. P. 015004. https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac4d83
  4. Ritala M., Kukli K., Rahtu A. et al. // Science. 2000. V. 288. P. 319. https://doi.org/10.1126/science.288.5464.319
  5. Lehmann S., Mitzscherling F., He Sh. et al. // Coatings. 2023. V. 13. N. 3. P. 641. https://doi.org/10.3390/coatings13030641
  6. Kim W., Rhee Sh.-W., Lee N. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2004. V. 22. N. 4. P. 1285. https://doi.org/10.1116/1.1764819
  7. Rahtu A., Ritala M., Leskela M. // Chem. Mater. 2001. V. 13. P. 1528. https://doi.org/10.1021/cm0012062
  8. Mazza M.F., Cabán-Acevedo M., Fu H.J. et al. // ACS Mater. Au. 2022. V. 2. N. 2. P. 74. https://doi.org/10.1021/acsmaterialsau.1c00049
  9. Gasonoo A., Ahn H.-S., Jang E.-J. et al. // Materials. 2021. V. 14. P. 2437. https://doi.org/10.3390/ma14092437
  10. Mutin P.H., Vioux A. // Chem. Mater. 2009. V. 21. N. 4. P. 582. https://doi.org/10.1021/cm802348c
  11. Anderson V.R., Cavanagh A., Abdulagatov A.I. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2014. V. 32. N. 1. P. 01A114. https://doi.org/10.1116/1.4839015
  12. Răisănen P.I., Ritala M., Leskelă M. // J. Mater. Chem. 2002. V. 12. N. 5. P. 1415. https://doi.org/10.1039/B201385C
  13. Haber J. The role of molybdenum in catalysis. London: Climax Molybdenum Co. Ltd., 1981.
  14. Drozd V.E., Tulub A.A., Aleskovski V.B., Korol'kov D.V. // Appl. Surf. Sci. 1994. V. 82/83. P. 587. https://doi.org/10.1016/0169-4332(94)90216-X
  15. Elam J.W., Groner M.D., George S.M. // Rev. Sci. Instrum. 2002. V. 73. N. 8. P. 2981. https://doi.org/10.1063/1.1490410
  16. Groner M.D., Fabreguette F.H., Elam J.W., George S.M. // Chem. Mater. 2004. V. 16. N. 4. P. 639. https://doi.org/10.1021/cm0304546
  17. George S.M. // Acc. Chem. Res. 2020. V. 53. P. 1151. https://doi.org/10.1021/acs.accounts.0c00084
  18. Beers W.W., McCarley R.E. // Inorg. Chem. 1985. V. 24. P. 472. https://doi.org/10.1021/ic00198a008
  19. Reddy B.M., Chowdhury B., Smirniotis P.G. // Appl. Catal. A. 2001. V. 211. P. 19. https://doi.org/10.1016/S0926-860X(00)00834-6
  20. Choi J.G., Thompson L.T. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 93. N. 2. P. 143. https://doi.org/10.1016/0169-4332(95)00317-7
  21. Al-Shihry S.S., Halawy S.A. // J. Molecular Catal. A. 1996. V. 113. P. 479.
  22. DuMont J.W., Marquardt A.E., Cano A.M., George S.M. // ACS Appl. Mater. Interf. 2017. V. 9. N. 11. P. 10296. https://doi.org/10.1021/acsami.7b01259
  23. Abdulagatov A.I., Sharma V., Murdzek J.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2021. V. 39. N. 2. P. 022602. https://doi.org/10.1116/6.0000834
  24. Bellenger F., Houssa M., Delabie A. et al. // J. Electrochem. Soc. 2008. V. 155. N. 2. P. G33. https://doi.org/10.1149/1.2819626
  25. Fischer A., Routzahn A., George S.M., Lill T. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2021. V. 39. N. 3. P. 030801. https://doi.org/10.1116/6.0000894
  26. Харлампова Р.Н., Зайдын Н.М., Плясова Л.М. и др. // Кинетика и катализ. 1973. T. 14. N. 6. C. 1538.
  27. Малыгин А.А. // Журн. общ. химии. 2002. T. 72. N. 4. C. 617. Malygin A.A. // Russ. J. Gen. Chem. 2002. V. 72. N. 4. P. 575. https://doi.org/10.1023/A:1016344516638
  28. Малыгин А.А., Волкова А.Н., Кольцов С.И., Александский В.Б. // Журн. общ. химии. 1975. T. 46. N. 10. C. 2166.
  29. Малыгин А.А., Кольцов С.И., Александский В.Б. // Журн. общ. химии. 1980. T. 50. N. 12. C. 2633.
  30. Волкова А.Н., Малыгин А.А., Кольцов С.И., Александский В.Б. // Журн. общ. химии. 1975. T. 44. N. 1. C. 3.
  31. Максумова А.М., Бодалев И.С., Сулейманов С.И. и др. // Неорган. материалы. 2023. T. 59. N. 4. C. 384. https://doi.org/10.1134/S0020168523040052
  32. Maksumova A.M., Bodalev I.S., Gadzhimuradov S.G., et al. // Russ. J. Appl. Chem. 2024. V. 97. N. 7. P. 595. https://doi.org/10.1134/S1070427224070024
  33. Абдулагатов А.И., Максумова А.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. общ. химии. 2022. T. 92. N. 8. C. 1310. https://doi.org/10.1134/S1070363222080187
  34. Максумова А.М., Бодалев И.С., Абдулагатов И.М. и др. // Журн. общ. химии. 2024. T. 69. N. 1. C. 110. https://doi.org/10.1134/S003602362360274X
  35. Weast R.C. Handbook of Chemistry and Physics. 69th ed. Boca Raton / FL: CRC Press Inc., 1988. P. B-68.
  36. Painot J.A. // J. Electrochem. Soc. 1976. V. 123. P. 841.
  37. Moulder J.F., Stickle P.E.S., Bomben K.D. Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy. Minnesota: Physical Electronic, Inc., Eden Prairie, 1995.
  38. Seah M.P. In Practical Surface Analysis. New York: John Wiley & Sons, 1990.
  39. Clayton C.R., Lu Y.C. // Surf. Interf. Anal. 1989. V. 14. № 1-2. P. 66.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).