ВЫБОР АЛГОРИТМА ШИРОКОПОЛОСНОГО КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ С УЧЕТОМ ЭФФЕКТА САМОКОМПЕНСАЦИИ ОШИБОК

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Рассматривается два алгоритма широкополосного оптического контроля процесса напыления оптических покрытий: без решения дополнительной обратной задачи уточнения толщин уже напыленных слоев и с ее решением. Показано, что уточнение толщин уже напыленных слоев приводит к уменьшению ошибок в толщинах слоев, но не всегда обеспечивает более точную реализацию требуемых спектральных свойств покрытия. Впервые продемонстрировано, что при выборе алгоритма контроля следует принимать во внимание наличие эффекта самокомпенсации ошибок. Библ. 10. Фиг. 8. Табл. 7.

Об авторах

А. Н Шаров

МГУ имени М.В. Ломоносова; университет МГУ-ППИ в Шэньчжэне

Email: scharov.aleksandr@physics.msu.ru
Москва, Россия; Провинция Гуандун, КНР

А. В Тихонравов

Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова; Московский центр фундаментальной и прикладной математики

Москва, Россия; Москва, Россия

С. А Шарапова

Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова

Москва, Россия

А. Г Ягола

Moscow State University

Moscow, Russia

Список литературы

  1. Macleod H.A. Thin-Film Optical Filters. Taylor & Francis 4th ed., 2010.
  2. Furman Sh.A., Tikhonravov A.V. Basics of Optics of Multilayer Systems. Edition Frontieres, Gif-sur-Yvette, 1992.
  3. Piegari A., Flory F. Optical Thin Films and Coatings. Woodhead Publishing, 2nd ed., 2018.
  4. Tikhonravov A. Optical Coatings: design, characterization, monitoring // SPIE, Bellingham, WA, United States, 2024.
  5. Bousquet P., Fornier A., Kowalczyk R. et al. Optical filters: monitoring process allowing the auto-correction of thickness errors // Thin solid films. 1972. V. 13. P. 285–290.
  6. Tikhonravov A., Kochikov I., Sharapova S., and Yagola A. Optical monitoring of coating production: correlation of errors and errors self-compensation // Proceed. of SPIE – Inter. Soc. Optic. Engineer. 2021. V. 11872. P. 1–7.
  7. Sharov A.N., Lukyanenko D.V., Tikhonravov A.V., and Yagola A.G. Evaluation of the efficiency of a simplified simulator of optical coating deposition // Moscow Univer. Phys. Bull. 2023. V. 78. № 2. P. 135–144.
  8. Sharov A.N., Sharapova S.A., Tikhonravov A.V., and Yagola A.G. Consideration of the distribution of noise level by wavelength in broadband control of the optical coating deposition process // Moscow Univer. Phys. Bull. 2024. V. 79. № 1. P. 1–6.
  9. Tikhonravov A.V., Lagutina A.A., Lagutin Iu.S., Lukyanenko D.V., Sharapova S.A., Sharov A.N., and Yagola A.G. On the choice of monitoring procedure of optical coating deposition // Moscow Univer. Phys. Bull. 2023. V. 78. № 6. P. 783–789.
  10. Lagutina A.A. Comparison of monochromatic monitoring strategies for the deposition process of optical coatings // Moscow Univer. Phys. Bull. 2022. V. 77. № 6. P. 818–824.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).