ВЫБОР АЛГОРИТМА ШИРОКОПОЛОСНОГО КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ С УЧЕТОМ ЭФФЕКТА САМОКОМПЕНСАЦИИ ОШИБОК

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Рассматривается два алгоритма широкополосного оптического контроля процесса напыления оптических покрытий: без решения дополнительной обратной задачи уточнения толщин уже напыленных слоев и с ее решением. Показано, что уточнение толщин уже напыленных слоев приводит к уменьшению ошибок в толщинах слоев, но не всегда обеспечивает более точную реализацию требуемых спектральных свойств покрытия. Впервые продемонстрировано, что при выборе алгоритма контроля следует принимать во внимание наличие эффекта самокомпенсации ошибок. Библ. 10. Фиг. 8. Табл. 7.

Об авторах

А. Н Шаров

МГУ имени М.В. Ломоносова; университет МГУ-ППИ в Шэньчжэне

Email: scharov.aleksandr@physics.msu.ru
Москва, Россия; Провинция Гуандун, КНР

А. В Тихонравов

Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова; Московский центр фундаментальной и прикладной математики

Москва, Россия; Москва, Россия

С. А Шарапова

Научно-исследовательский вычислительный центр МГУ имени М. В. Ломоносова

Москва, Россия

А. Г Ягола

Moscow State University

Moscow, Russia

Список литературы

  1. Macleod H.A. Thin-Film Optical Filters. Taylor & Francis 4th ed., 2010.
  2. Furman Sh.A., Tikhonravov A.V. Basics of Optics of Multilayer Systems. Edition Frontieres, Gif-sur-Yvette, 1992.
  3. Piegari A., Flory F. Optical Thin Films and Coatings. Woodhead Publishing, 2nd ed., 2018.
  4. Tikhonravov A. Optical Coatings: design, characterization, monitoring // SPIE, Bellingham, WA, United States, 2024.
  5. Bousquet P., Fornier A., Kowalczyk R. et al. Optical filters: monitoring process allowing the auto-correction of thickness errors // Thin solid films. 1972. V. 13. P. 285–290.
  6. Tikhonravov A., Kochikov I., Sharapova S., and Yagola A. Optical monitoring of coating production: correlation of errors and errors self-compensation // Proceed. of SPIE – Inter. Soc. Optic. Engineer. 2021. V. 11872. P. 1–7.
  7. Sharov A.N., Lukyanenko D.V., Tikhonravov A.V., and Yagola A.G. Evaluation of the efficiency of a simplified simulator of optical coating deposition // Moscow Univer. Phys. Bull. 2023. V. 78. № 2. P. 135–144.
  8. Sharov A.N., Sharapova S.A., Tikhonravov A.V., and Yagola A.G. Consideration of the distribution of noise level by wavelength in broadband control of the optical coating deposition process // Moscow Univer. Phys. Bull. 2024. V. 79. № 1. P. 1–6.
  9. Tikhonravov A.V., Lagutina A.A., Lagutin Iu.S., Lukyanenko D.V., Sharapova S.A., Sharov A.N., and Yagola A.G. On the choice of monitoring procedure of optical coating deposition // Moscow Univer. Phys. Bull. 2023. V. 78. № 6. P. 783–789.
  10. Lagutina A.A. Comparison of monochromatic monitoring strategies for the deposition process of optical coatings // Moscow Univer. Phys. Bull. 2022. V. 77. № 6. P. 818–824.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».