Trimethylplatinum(IV) Complexes for MOCVD Applications: A Physicochemical Study

S. I. Dorovskikh; Доровских С. И.; N. V. Kuratieva; Куратьева Н. В.; I. V. Korolkov; Корольков И. В.; T. V.  Basova; Басова Т. В.; I. Yu. Ilyin; Ильин И. Ю.

doi:10.31857/S0132344X22600679

Физико-химическое исследование комплексов триметилплатины(IV) для MOCVD-приложений

Авторы: Доровских С.И.¹, Куратьева Н.В.¹, Корольков И.В.¹, Басова Т.В.¹, Ильин И.Ю.¹
Учреждения:
1. Институт неорганической химии им. А.В. Николаева CO РАН
Выпуск: Том 49, № 8 (2023)
Страницы: 493-503
Раздел: Статьи
URL: https://journal-vniispk.ru/0132-344X/article/view/137314
DOI: https://doi.org/10.31857/S0132344X22600679
EDN: https://elibrary.ru/SAOFHU
ID: 137314

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Уточнена структура триметилплатины(IV) иодида [(CH₃)₃PtI]₄ (I) (CCDC № 22330007) и определена структура впервые полученного комплекса триметилплатины(IV) с тридентатным N,N,O-иминокетонатом [(CH₃)₃Pt(C₉H₁₇N₂O)] (II) (CCDC № 22330008). Методами элементного анализа и спектроскопии ИК, ЯМР подтверждена чистота выделенных фаз. Термическое поведение комплекса II исследовано методом термогравиметрии. С помощью квантово-химических расчетов оценены энергии ионизации и фрагментации молекул II, приводящие к образованию наиболее устойчивого фрагмента [(CH₃)₃Pt]⁺. Комплекс II протестирован в процессах MOCVD. Пленки Pt с выраженной (111)-текстурой с размерами частиц около 100 нм были получены на Si-пластинах в присутствии кислорода.

Ключевые слова

комплексы триметилплатины(IV), РСА, термогравиметрия, DFT, MOCVD

Список литературы

Liang L.C., Liao S.M., Zou X.R. // Inorg. Chem. 2021. V. 60. № 20. P. 15118. https://doi.org/10.1021/acs.inorgchem.1c02494
Skabitsky I.V., Romadina E.I., Sakharov S.G. et al. // J. Organomet. Chem. 2019. V. 896. P. 77. https://doi.org/10.1016/j.jorganchem.2019.05.008
Lien C., Sun H., Qin X. et al. // Surf. Sci. 2018. V. 677. P. 161. https://doi.org/10.1016/j.susc.2018.07.002
Thurier C., Doppelt P. // Coord. Chem. Rev. 2008. V. 252. № 1–2. P. 155. https://doi.org/10.1016/j.ccr.2007.04.005
Komiya S., Ezumi S., Komine N. et al. // Organometallics. 2009. V. 28. № 13. P. 3608. https://doi.org/10.1021/om900319a
Pichaandi K.R., Kabalan L., Amini H.et al. // Inorg. Chem. 2017. V. 56. № 4. P. 2145. https://doi.org/10.1021/acs.inorgchem.6b02801
Ghosh B.N., Lentz D., Schlecht S. et al. // New J. Chem. 2015. V. 39. P. 3536. https://doi.org/10.1039/C4NJ02426E
Ghosh B.N., Hausmann H., Schlecht S. et al. // ZAAC. 2013. V. 639. № 12–13. P. 2202. https://doi.org/10.1002/zaac.201300277
Ghosh B.N., Schlecht S., Bauzá A. // New J. Chem. 2017. V. 41. P. 3498. https://doi.org/10.1039/C7NJ00337D
Lindner R., Wagner C., Steinborn D. // J. Am. Chem. Soc. 2009. V. 131. № 25. P. 8861.https://doi.org/10.1021/ja901264t
Lanci M.P., Remy M.S., Lao D.B. et al. // Organometallics. 2011. V. 30. № 14. P. 370. https://doi.org/10.1021/om200508k
Baker L., Cavanagh A.S., Seghete D. et al. // ACS Nano. 2013. V. 7. № 7. P. 6337. https://doi.org/10.1021/nn402385f
Aaltonen T., Rahtu A., Ritala M. // Electrochem. Solid-state Lett. 2003. V. 6. № 9. P. 130. https://doi.org/10.1149/1.1595312
Karakovskaya K.I., Dorovskikh S.I., Vikulova E.S. et al. // Coatings. 2021. V. 11. № 1. P. 78. https://doi.org/10.3390/coatings11010078
Dorovskikh S.I., Zharkova G.I., Turgambaeva A.E. et al. // Appl. Organomet. Chem. 2017. V. 31. № 7. e3654. https://doi.org/10.1002/aoc.3654
Zharkova G.I., Baidina I., Turgambaeva A. et al. // Polyhedron 2012. V. 40. P. 40. https://doi.org/10.1016/j.poly.2012.03.045
Zharkova G.I., Baidina I.A., Igumenov I.K. et al. // Russ. J. Coord. Chem. 2011. V. 37. P. 680. https://doi.org/10.1134/S1070328411080136
Mohlala L.M., Jen T.-C., Olubambi P.A. // Procedia Manuf. 2019. V. 35. P. 1250. https://doi.org/10.1016/j.promfg.2019.06.083
Dorovskikh S.I., Krisyuk V.V., Mirzaeva I.V. et al. // Polyhedron. 2020. V. 182. P. 114475. https://doi.org/10.1016/j.poly.2020.114475
Dorovskikh S.I., Klyamer D.D., Mirzaeva I.V. et al. // J. Fluor. Chem. 2021. V. 249. P. 109843. https://doi.org/10.1016/j.jfluchem.2021.109843
Fulmer G.R., Miller A J.M., Sherden N.H. et al. // J. Organomet. 2010. V. 29. P. 2176. https://doi.org/10.1021/om100106e
Baldwin J.C., Kaska W.C. // Inorg. Chem. 1975. V. 14. № 8. P. 2020. https://doi.org/10.1021/ic50150a063
APEX2 (version 1.08), SAINT (version 7.03), SADABS (version 2.11), SHELXTL (version 6.12). Madison (WI, USA): Bruker AXS Inc., 2004.
Sheldrick G. // Acta Crystallogr. C. 2015. V. 71. P. 3. https://doi.org/10.1107/S2053229614024218
ADF 2022. SCM. Theoretical Chemistry. Amsterdam (The Netherlands): Vrije Universiteit, 2022. http://www.scm.com
Lenthe E. van, Ehlers A., Baerends E.J. // J. Chem. Phys. 1999. V. 110. № 18. P. 8943. https://doi.org/10.1063/1.478813
Pye C.C., Ziegler T. // Theor. Chem. Acc. 1999. V. 101. № 6. P. 396. https://doi.org/10.1007/s002140050457
Kraus W., Nolze G. // J. Appl. Crystallogr. 1996. V. 9. P. 301. https://doi.org/10.1107/S0021889895014920
Donnay G., Coleman L.B., Krueghoff N.G. et al. // Acta Crystallogr. B. 1968. V. 24. P. 157.
Zharkova G.I., Baidina I.A., Naumov D.Y. et al. // J. Struct. Chem. 2011. V. 52. № 4. P. 550. https://doi.org/10.1134/S0022476611030152
Paul H. // Adv. Eng. Mater. 2010. V. 12. P. 1029. https://doi.org/10.1002/adem.201000078
Goswami J., Wang C.-G., Cao W., Dey S.K. // Chem. Vap. Depos. 2003. V. 9. № 4. P. 213. https://doi.org/10.1002/cvde.20030624033