Email this article 
Tsilindricheskie mikrorezonatory iz kremniya i nitrida kremniya, izgotovlennye iz opticheskikh volokon metodom magnetronnogo napyleniya
- Authors: Makarova N.A1, Terent'ev V.S1, Vatnik I.D1
-
Affiliations:
- Issue: Vol 122, No 11-12 (2025)
- Pages: 763-768
- Section: Articles
- URL: https://journal-vniispk.ru/0370-274X/article/view/363592
- DOI: https://doi.org/10.7868/S3034576625120093
- ID: 363592
Cite item
Open Access
Access granted
Subscription Access
Abstract
Цилиндрический микрорезонатор на основе стандартных кварцевых оптических волокон является перспективной простой платформой для создания нелинейных устройств, но требует высокой мощности накачки для наблюдения нелинейных эффектов. В работе рассматривается возможность магнетронного напыления тонких пленок с более высоким нелинейным показателем преломления из слоев кремния и нитрида кремния, обладающих большим нелинейным показателем преломления. Показано, что добротность в процессе напыления падает до величин 105 для пленок кремния и 106 для пленок нитрида кремния.
References
- X. Jin, X. Xu, H. Gao, K. Wang, H. Xia, and L. Yu, Photonics Res. 9, 171 (2021).
- M. Sumetsky and Y. Dulashko, Opt. Express 20, 27896 (2012).
- M. Sumetsky, Phys. Rev. Lett. 111, 163901 (2013).
- M. Sumetsky, Opt. Lett. 39, 5578 (2014).
- E. Eadie, S. Deep, and P. Bianucci, Opt. Express 33, 34677 (2025).
- V.V. Dvoyrin and M.Sumetsky, Opt. Lett. 41, 5547 (2016).
- Y. Song, Y. Hu, M. Loncar, and K. Yang, Light Sci. Appl. 14, 270 (2025).
- D.V. Krisanov, A. S. Nesterok, and I.D. Vatnik, IEEE Photonics J. 13, 1 (2021).
- A.Y. Kolesnikova and I.D. Vatnik, Phys. Rev. A 108, 033506 (2023).
- М.Л. Городецкий, Оптические микрорезонаторы с гигантской добротностью, Физматлит, М. (2012).
Supplementary files
