Не-друдеподобное поведение фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости GaAs и Si в гигагерцовом диапазоне частот

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Обнаружено не-друдеподобное поведение действительной части фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости ReεP образцов GaAs и Si в гигагерцовом диапазоне. Измерения проведены прямым резонаторным методом в условиях волоконно-оптического облучения при различной мощности облучения P. Показано, что в согласии с гипотезой об экситонном механизме фотоиндуцированной микроволновой диэлектрической проницаемости ReεP увеличивается с ростом P (с приближением к насыщению выше P = 200 мВт) вместо уменьшения в рамках свободных носителей заряда по Друде. Продемонстрирована свидетельствующая в пользу универсальности экситонного механизма общность поведения действительных частей ReεP фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости, наблюдаемой у полупроводников разных типов (прямозонного GaAs и непрямозонного Si) в разных электродинамических системах (волноводы, резонаторы, метаструктуры). Впервые предложены оптически управляемые в гигагерцовом диапазоне структурные элементы метаматериалов (метаструктуры), содержащие резонансные электропроводящие элементы, нагруженные образцами GaAs и Si: метаструктура на основе линейных диполей и полуволновой электрический диполь на основе многозаходной спирали. Впервые измерены гигагерцовые отклики метаструктур и трансформация откликов, связанная с изменением диэлектрической проницаемости Si и GaAs при фотовозбуждении. На основе выдвинутой гипотезы о влиянии экситонов на фотовозбуждение обсужден наблюдаемый эффект насыщения гигагерцовой фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости.

Полный текст

ВВЕДЕНИЕ

В настоящее время с развитием микроволновой фотоники, связанной с передачей, приемом и преобразованием информации с помощью волн микроволнового диапазона и фотонных систем, востребованы оптически управляемые мета(нано)структуры [1–8] и полупроводники как элементы управления в них.

Поскольку функциональные свойства метаматериала во многом определяет динамика комплексной диэлектрической проницаемости ε полупроводника, актуальны исследования фотоиндуцированной ε в микроволновом диапазоне, учитывая, к тому же, наблюдаемые существенные различия в терагерцовом диапазоне (друдеподобное поведение в рамках механизма свободных носителей заряда, проявляющееся убыванием ReεP с ростом мощности облучения P) и в гигагерцовом диапазоне (не-друдеподобное, впервые обнаруженное экспериментально в CdS, CdSe [8] и в Si [ 9] в виде увеличения действительной части диэлектрической проницаемости ReεP с ростом P).

Модель Друде [10], разработанная в свое время для металлов, оказалась приемлемой для полупроводников в терагерцовом диапазоне при исследовании метаматериалов, содержащих Si и GaAs [1−4]. Эта модель была также использована для численных расчетов действительной ReεP и мнимой ImεP частей диэлектрической проницаемости образцов Si в гигагерцовом диапазоне [11]. Поведение ε исследовано экспериментально на образцах Si, одного из основных полупроводников микроэлектроники [12–14]. В [12] содержится анализ свойств Si в оптическом и терагерцовом диапазонах; в [13] представлены результаты измерений поглощения при фотовозбуждении в терагерцовом диапазоне в зависимости от частоты; в [14] приведена осциллограмма поглощения при импульсном фотовозбуждении в гигагерцовом диапазоне.

В [9, 15] выдвинута гипотеза о связи фотоиндуцированной ε в гигагерцовом и терагерцовом диапазонах с экситонами, изложен теоретический подход, позволяющий описать и объяснить поведение ε, охватывая широкий спектральный диапазон. Вышеуказанные различия в поведении ε в разных частотных диапазонах объяснены [9, 15] различным положением частот f = ω/2π наблюдения относительно диапазона ∆fax = ∆ωex/2π частот экситонных (ex) переходов с участием наиболее заселенных экситонных уровней, который находится, как легко получить из данных [16−19], на стыке терагерцового и гигагерцового диапазонов. Представляется необходимым распространить исследования гигагерцовой фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости на полупроводники разных типов в одинаковых условиях с целью определения, проявляется ли экситонный механизм ее образования лишь в некоторых из них, уникальных, или он универсален.

В настоящей работе впервые исследована прямым резонаторным методом динамика действительной и мнимой частей диэлектрической проницаемости (ReεP и ImεP) образцов Si и GaAs в гигагерцовом диапазоне в условиях фотовозбуждения с помощью волоконно-лазерного облучения на длине волны l = 0.97 мкм с расширением диапазона изменений мощности облучения P от 0 до 1 Вт.

ДИНАМИКА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ОБРАЗЦОВ Si И GaAs В ГИГАГЕРЦОВОМ ДИАПАЗОНЕ ПРИ ФОТОВОЗБУЖДЕНИИ

В отличие от традиционного определения комплексной диэлектрической проницаемости (действительной части Reε и мнимой Imε) по измерениям коэффициентов прохождения и отражения, в настоящей работе использован прямой резонаторный метод [20, 21] применительно к условиям фотовозбуждения, предложенный в [8], определены изменения диэлектрической проницаемости относительно значений при P = 0. При измерениях использован волноводный резонатор (48 × 24 × 40 мм) отражательного типа на частоте 4.7 ГГц. Образец Si в виде полоски 22×4.6×0.55 мм (или GaAs размерами 24×2×1 мм) располагали в пучности микроволнового электрического поля E, направленного параллельно ее поверхности. Оптоволокно направляли через отверстие в резонаторе перпендикулярно поверхности образца. Вследствие неоднородности распределения светового излучения измеренные значения фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости являются усредненными по объему.

Качественно не-друдеподобное поведение ReεP легко отличить по сдвигу Δf частоты резонатора с образцом к низким частотам с ростом P. Для количественной оценки измеряли динамику фотоиндуцированной гигагерцовой диэлектрической проницаемости δReεP (относительные изменения), ΔReεP (абсолютные изменения) и δImεP (относительные изменения) в Si и GaAs при волоконно-лазерном облучении на длине волны λ = 0.97 мкм при мощностях P = 0÷1 Вт (рис. 1).

 

Рис. 1. Измеренная в волноводном резонаторе (4.7 ГГц) динамика диэлектрической проницаемости Si (1) и GaAs (2) в зависимости от мощности оптического облучения P (на длине волны λ = 0.97 мкм) относительно P = 0: а – δReεP; б – ΔReεP; в – Δf; г – δImεP.

 

Для анализа динамики ReεP при фотовозбуждении относительные изменения будем считать согласно δReεP = (ReεP – 1)/(ReεP=0 – 1):

δReε= [(f-fp)] [(f-fp=0)]-1, (1)

где измеряемые параметры f, fP=0, fP – частоты резонатора без образца, с образцом при P = 0 и при P.

Определим также абсолютные изменения ΔReεP = ReεP – ReεP=0:

ΔReεP=V(fp=0fp)/2fVобр,  (2)

V и Vобр – объемы резонатора и образца GaAs (Si) соответственно.

На рис. 1а–1в приведены результаты измерений величин δReεP, ΔReεP, и Δf в зависимости от P: Δf = fP=0fP. При P = 0 (в отсутствие облучения) δReεP = 1, величина ΔReεP = 0 и соответственно Δf = 0. С ростом P параметры δReεP, ΔReεP и Δf увеличиваются, приближаясь к насыщению выше 200 мВт, что свидетельствует об увеличении ReεP, т.е. об отклонении от модели Друде как для Si, так и для GaAs.

Для анализа динамики ImεP при фотовозбуждении определяем относительные изменения δImεP = ImεP /ImεP=0:

δImεP=1+Rp1-Rp-1+R1-R1+Rp=01-Rp=0-1+R1-R-1, (3)

где R, RP=0, RP − измеряемые коэффициенты отражения по напряжению от пустого резонатора, резонатора с образцом при P = 0 и при P.

На рис. 1г показано, что с ростом P вплоть до 1 Вт наблюдается увеличение δImεP относительно 1 (при P = 0), приблизительно в 100 раз для Si и в 300 – для GaAs, с выходом на насыщение выше 200 мВт. Увеличение δImεP с ростом P соответствует как модели Друде, так и экситонному механизму. В рамках механизма экситонов [9] и при экспериментальном наблюдении [13], в отличие от модели Друде, увеличение Imε с ростом P ослабевает по мере удаления f от ∆fex как в сторону низких, так и высоких частот.

МЕТАСТРУКТУРЫ И ТРАНСФОРМАЦИЯ РЕЗОНАНСНЫХ ОТКЛИКОВ В ГГц-ДИАПАЗОНЕ

Приведем результаты измерений резонансных откликов метаструктур М1 и М2.

Образец М1 представляет собой периодическую решетку параллельных резонансных медных проводов (длина провода решетки 18 мм, ширина 0.1 мм, расстояние между проводами 0.2 мм) в комбинации с ортогонально асимметрично расположенной медной полоской (длина 25 мм и ширина 2 мм) с разрывом, нагруженным пластинкой Si. Такая система является многорезонансной с управляемым одним резонансом, возбуждаемым в медной полоске. Подобные электрически управляемые метаструктуры, нагруженные варактором, предложены в [22], оптически управляемые, нагруженные CdS или CdSe – в [8]. Образец М1 располагали вдоль оси прямоугольного волновода (48 × 24 мм). Оптоволокно подводили к разрыву в полоске на расстояние приблизительно 10 мм перпендикулярно поверхности.

На рис. 2 показаны изображения образца М1 (рис. 2а) и динамики резонансного отклика медной полоски с пластинкой Si (рис. 2б) в виде резонансной зависимости коэффициента прохождения T микроволнового излучения от его частоты. С ростом P происходит увеличение Tмин на резонансной частоте практически до уровня прозрачности (с приближением к насыщению), сопровождаемое расширением и сдвигом резонансной частоты в сторону низких частот, подобно наблюдаемым ранее с CdS и CdSe в [8]. Это согласуется с ростом ReεP при увеличении P, что также свидетельствует об отклонении от модели Друде.

 

Рис. 2. Метаструктура M1 на основе резонансных медных проводов в комбинации с ортогонально и асимметрично расположенной медной полоской 1 с разрывом 2, нагруженным Si: а – внешний вид; б – резонансный отклик прохождения T медной полоски, измеренный в прямоугольном волноводе с метаструктурой M1 при P = 0 (1); 80 (2); 550 мВт (3); 1 Вт (4).

 

Метаструктура М2 предложена впервые и представляет собой модифицированный полуволновой электрический диполь в виде многозаходной спирали из медных проводов вокруг сердечника из GaAs (24×2×1 мм). На рис. 3 представлены изображения оптически управляемого электрического диполя (рис. 3а) и динамики резонансного отклика (рис. 3б), измеренной при расположении диполя в свободном пространстве в разрыве между передающим и приемным прямоугольными волноводами. Из рис. 3б видно, что с ростом P происходит трансформация отклика: увеличение Tмин на резонансной частоте (уменьшение интенсивности резонанса практически до уровня прозрачности), сопровождаемое расширением резонанса и сдвигом резонансной частоты в сторону низких частот, аналогично структуре М1.

 

Рис. 3. Электрический полуволновой диполь на основе многозаходной спирали из медных проводов вокруг сердечника из GaAs: а – внешний вид; б – резонансный отклик прохождения T, измеренный в свободном пространстве при P = 0 (1); 60 (2); 100 (3); 120 мВт (4).

 

Уменьшение интенсивности резонансного отклика метаструктур с ростом P связано с увеличением мнимой части ImεP диэлектрической проницаемости Si и GaAs, приводящим к ослаблению наведенных резонансных токов в медной полоске образца М1 или в медных проводах многозаходной спирали образца М2. Сдвиг резонанса к низким частотам, наблюдаемый в образцах М1 и М2, согласуется с увеличением Reε образцов Si и GaAs с ростом мощности облучения P и является отклонением от модели Друде и от результатов, полученных в экспериментах с метаматериалами в терагерцовом диапазоне [1−7].

Результаты измерений динамики диэлектрической проницаемости образцов Si и GaAs и откликов разных метаструктур воспроизводились от образца к образцу, свидетельствуя о не-друдеподобном поведении ReεP.

О НАСЫЩЕНИИ ФОТОИНДУЦИРОВАННОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ В ГИГАГЕРЦОВОМ ДИАПАЗОНЕ

Оценим уровень насыщения. Материальная составляющая диэлектрической проницаемости εmatter = ε – 1 содержит две компоненты: темновую εdark (в отсутствие оптического облучения) и фотоиндуцированную εpi. Темновую компоненту связывают [18] с вкладами взаимодействия электромагнитных волн и колебаний связанных (валентных) электронов и ионных остовов решетки: εdark = εvl. Фотоиндуцированную компоненту можно связать с индуцируемыми светом свободными зарядами (εpi = εch) [18] либо с вкладами образующихся под действием света экситонов (εpi = εex) [9, 15]. При таком рассмотрении: εP = 1 + εdark + εex, εP = 0 = 1 + εdark, ΔReεP = Reεex.

Экситонный вклад [9], вычисленный на основе теоретического подхода [23], представим в виде εex = εP–εP=0 = F locεη, где F loc = (ε+2)/3 – фактор локального поля, η – экситонная восприимчивость единицы объема без учета различия среднего и локального микроволновых полей:

η=8πNexr=1,...σrr×r'(d(j))r'r2ωr'r(ωr'r2-ω2+τr'r-2+2iωτr'r-1)(ωr'r2-ω2)2+2(ωr'r2+ω2)τr'r-2+τr'r-4, (4)

В (4) Nex – концентрация экситонов; σrr и σr r –населенности экситонных уровней r и r ′ с энергиями Er, Er ; ωrr = (Er Er)ħ–1 – частота перехода между уровнями r ′ и r; τr r и (d(j))r r – время поперечной релаксации и матричный элемент оператора дипольного момента экситона для этого перехода.

Из кривых 1 на рис. 1 для кремния при насыщении δReεP ≈1.3, ΔReεP ≈1.6. При εP = 0≈10 фактор локального поля заметно (~ в 4 раза) увеличивает фотоиндуцированный (экситонный) вклад в ε (а саму диэлектрическую проницаемость на 1.6 или на ~16%), тогда как восприимчивость, не учитывающая различие локального и среднего полей, доходит до уровня порядка 0.4–0.7.

Заметим, что против признания связи с экситонами наблюдаемого не-друдеподобного поведения гигагерцовой фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости полупроводников можно выдвинуть малость сил осцилляторов экситонов, из-за чего взаимодействие полупроводника с электромагнитным полем недостаточно эффективно для достижения вклада в ε порядка 1. По нашему мнению, взаимодействие может быть эффективным, поскольку в нем суммируются вклады множества осцилляторов каждого экситона: по одному осциллятору на переход в каждой паре уровней, подобно тому, как поляризуемость атома состоит из сил осцилляторов каждой пары уровней [24].

В заключение этого раздела отметим физические процессы, которые в рамках экситонного механизма могут приводить к эффекту насыщения фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости, наблюдаемому в зависимости последней от мощности P светового облучения. В первую очередь, эта зависимость определяется балансом процессов рождения экситонов и их рекомбинации, излучательной или термализационной, через величину концентрации экситонов Nex. Нарастание числа экситонов пропорционально поглощаемой световой мощности, величина которой определяется мощностью света, преодолевшего отражение от границы, и коэффициентом поглощения, связанного с выходом из валентной зоны. Насыщение коэффициента поглощения обусловлено обратным процессом – рекомбинацией – и процессами внутриэкситонной релаксации [25].

Еще один существенный фактор насыщения гигагерцовой фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости – фотоионизация экситонов, состоящая в поглощении световых фотонов с переходами из нижерасположенных дискретных энергетических уровней в состояния непрерывной части спектра. В этом случае населенности дискретных уровней убывают, населенности непрерывного спектра увеличиваются, а рост разности концентраций Nexrr – σr r ) экситонов нижних и верхних уровней и их положительного вклада в Reε приостанавливается.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Впервые измерены относительные δ и абсолютные ∆ изменения фотоиндуцированной диэлектрической проницаемости ε (δReεP, DReεP, и δImεP) полупроводников GaAs и Si прямым резонаторным методом в гигагерцовом диапазоне при волоконно-лазерном облучении на длине волны λ = 0.97 мкм с ростом мощности P от 0 до 1 Вт.

Впервые предложены и реализованы метаструктуры, нагруженные образцами GaAs и Si, и исследована динамика их резонансных откликов при фотовозбуждении.

Обнаружено увеличение δReεP и ∆ReεP образцов GaAs и Si с ростом P, что согласуется с динамикой резонансного отклика метаструктур, смещающегося в сторону низких частот, выдвинутой ранее гипотезой об экситонном механизме фотовозбуждения, и является отклонением от модели Друде, предсказывавшей уменьшение.

Обнаружено увеличение δImε образцов GaAs и Si приблизительно на два порядка, обусловливающее уменьшение интенсивности резонансного отклика соответствующих метаструктур.

Обнаружено при мощностях P выше 200 мВт насыщение параметров δReεP, ∆ReεP, и δImεP, наблюдаемое при измерениях в волноводном резонаторе, а также насыщение интенсивности резонансных откликов метаструктур, наблюдаемое при измерениях в волноводе и свободном пространстве. Отмечены связанные с экситонами процессы, определяющие эффект насыщения: фотоионизация экситонов, рекомбинация и внутриэкситонная релаксация.

Результаты свидетельствуют об отклонении от модели Друде и взаимосвязи между явлениями в фотонике и электродинамике в гигагерцовом диапазоне.

БЛАГОДАРНОСТИ

Работа выполнена в рамках государственного задания ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН.

Конфликт интересов. Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов.

×

Об авторах

В. С. Бутылкин

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: vasebut@yandex.ru

Фрязинский филиал 

Россия, 141190, Фрязино

Г. А. Крафтмахер

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Email: gaarkr139@mail.ru

Фрязинский филиал 

Россия, 141190, Фрязино

А. С. Фишер

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Email: fisherps@mail.ru

Фрязинский филиал 

Россия, 141190, Фрязино

Список литературы

  1. Chen H.T., O’Hara J.F., Azad A.K., Taylor A.J. // Laser Photonics Rev. 2011. V. 5. Iss. 4. P. 513. https://doi.org/10.1002/lpor.201000043
  2. Padilla W.J., Taylor A.J., Highstrete C., Lee M., Averitt R.D. // Phys. Rev. Lett. 2006. V. 96. P. 107401. https://doi.org/10.1103/PhysRevLett.96.107401
  3. Chen H.T., Padilla W.J., Zide J., Gossard A.C., Tay-lor A.J., Averitt R.D. // Nature. 2006. V. 444. P. 597. https://www.doi.org/10.1038/nature05343
  4. Xiao S., Wang T., Jiang X., Liu T., Zhou C., Zhang J. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2020. V. 53. P. 503002. https://www.doi.org/10.1088/1361-6463/abaced
  5. Manceau J.M., Shen N.-H., Kafesaki M., Soukoulis C.M., Tzortzakis S. // Appl. Phys. Lett. 2010. V. 96. P. 021111. https://www.doi.org/10.1063/1.3292208
  6. Zhou J., Chowdhury D.R., Zhao R., Azad A.K., Chen H.-T., Soukoulis C.M., Taylor A.J., Hara J.F. // Phys. Rev. B. 2012. V. 86. № 3. P. 035448. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.86.035448
  7. Nemati A., Wang Q., Hong M. H., Teng J. H. // Opto-Electron Advances. 2018. V. 1. № 18. P.180009. https://www.doi.org/10.29026/oea.2018.180009
  8. Крафтмахер Г.А., Бутылкин В.С., Казанцев Ю.Н., Мальцев В.П., Фишер П.С. // Письма в ЖЭТФ. 2021. Т. 114. № 9. С. 586. https://www.doi.org/10.31857/S1234567821210023
  9. Бутылкин В.С., Фишер П.С., Крафтмахер Г.А., Казанцев Ю.Н., Каленов Д.С., Мальцев В.П., Пархоменко М.П. // Радиотехника и электроника. 2022. Т. 67. № 12. С. 1185. https://www.doi.org/10.31857/S0033849422120038
  10. Маделунг О. Теория твердого тела. М.: Наука, 1980. 414 с.
  11. Rizza C., Ciattoni A., De Paulis F., Orlandi A., Palan-ge E., Colombo L. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2015. V. 48. P. 135103. https://www.doi.org/10.1088/0022-3727/48/13/135103
  12. Рогалин В.Е., Каплунов И.А., Кропотов Г.И. // Оптика и спектроскопия. 2018. Т. 125. № 6. С. 851. https://www.doi.org/10.21883/OS.2018.12.46951.190-18
  13. Busch S., Scherger B., Scheller M., Koch M. //Optics Lett. 2012. V. 37. № 8. P. 1391. https://doi.org/10.1364/OL.37.001391
  14. Мусаев А.М. // Физика и техника полупроводников. 2017. Т. 51. № 10. С. 1341. https://www.doi.org/10.21883/FTP.2017.10.45010.8520
  15. Бутылкин В.С., Фишер П.С., Крафтмахер Г.А., Казанцев Ю.Н., Каленов Д.С., Мальцев В.П., Пархоменко М.П. // Радиотехника и Электроника. 2023. Т. 68. № 2. С. 152. https://www.doi.org/10.31857/S003384942302002X
  16. Агекян В.Ф. // Соросовский образовательный журн. 2000. Т. 6. № 10. С. 101.
  17. Днепровский В.С. // Соросовский образовательный журн. 2000. Т.6. № 8. С. 88.
  18. Кашкаров П.К., Тимошенко В.Ю. // Оптика твердого тела и систем пониженной размерности. М.: Физический факультет МГУ, 2009. С. 190.
  19. Нокс Р. Теория экситонов. М.: Мир, 1966.
  20. Лакс Б., Баттон К. Сверхвысокочастотные ферриты и ферримагнетики, М.: Мир, 1965. 675 с.
  21. Казанцев Ю.Н., Крафтмахер Г.А. // ФММ. 1989. Т. 67. № 5. С. 902.
  22. Kraftmakher G., Butylkin V., Kazantsev Y., Mal’tsev V. // Electron. Lett. 2017. V. 53. № 18. P. 1264. https://www.doi.org/10.1049/el.2017.1886
  23. Бутылкин В.С., Каплан А.Е., Хронопуло Ю.Г., Якубович Е.И. Резонансные взаимодействия света с веществом. М.: Наука, 1977.
  24. Собельман И.И. Введение в теорию атомных спектров. М.: Физматгиз, 1963, С. 640.
  25. Файн В.М. Фотоны и нелинейные среды М.: Сов. Радио, 1972.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
2. Рис. 1. Измеренная в волноводном резонаторе (4.7 ГГц) динамика диэлектрической проницаемости Si (1) и GaAs (2) в зависимости от мощности оптического облучения P (на длине волны λ = 0.97 мкм) относительно P = 0: а – δReεP; б – ΔReεP; в – Δf; г – δImεP.

Скачать (500KB)
3. Рис. 2. Метаструктура M1 на основе резонансных медных проводов в комбинации с ортогонально и асимметрично расположенной медной полоской 1 с разрывом 2, нагруженным Si: а – внешний вид; б – резонансный отклик прохождения T медной полоски, измеренный в прямоугольном волноводе с метаструктурой M1 при P = 0 (1); 80 (2); 550 мВт (3); 1 Вт (4).

Скачать (538KB)
4. Рис. 3. Электрический полуволновой диполь на основе многозаходной спирали из медных проводов вокруг сердечника из GaAs: а – внешний вид; б – резонансный отклик прохождения T, измеренный в свободном пространстве при P = 0 (1); 60 (2); 100 (3); 120 мВт (4).

Скачать (282KB)

© Российская академия наук, 2024

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).