Воздействие мощного ионного пучка наносекундной длительности на промышленную керамику AlN

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Исследовано разрушение и изменение элементного состава поверхностных слоев алюмонитридной керамики при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности. Определены пространственные характеристики поверхностного разрушения керамики. Разрушение происходит преимущественно по границам частиц (кристаллитов), из которых спекается керамика. Наблюдается полное удаление части таких частиц из поверхностного слоя как при однократном, так и при многократном облучении с плотностью тока 150 А/см2. Обнаружено образование капель полусферической формы различных размеров как на облученной поверхности керамики, так и на поверхности после удаления фрагмента разрушения (при многократном облучении). Установлено обеднение поверхностного слоя керамики азотом. Обсуждены возможные механизмы наблюдаемых изменений в поверхностном слое керамики.

Об авторах

В. С. Ковивчак

Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, Институт радиофизики и физической электроники

Email: kvs_docent@mail.ru
Омск, 644024 Россия

Список литературы

  1. Anandkumar M., Trofimov E. // J. Alloys Compd. 2023. V. 960. P. 170690. http://doi/org/10.1016/j.jallcom.2023.170690
  2. Vaiani L., Boccaccio A., Uva A.E., Palumbo G., Piccininni A., Guglielmi P., Cantore S., Santacroce L., Charitos I.A., Ballini A. // J. Funct. Biomater. 2023. V. 14. P. 146. http://doi/org/10.3390/jfb14030146
  3. Nisar A., Hassan R., Agarwal A., Balani K. // Ceram. Int. 2022. V. 48. P. 8852. http://doi/org/10.1016/j.ceramint.2021.12.199
  4. Sokovkin S.Yu., Balezin M.E. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2020. V. 978. P. 164466. http://doi/org/10.1016/j.nima.2020.164466
  5. Ebert J.N., Rheinheimer W. // Open Ceram. 2022. V. 11. P. 100280. http://doi/org/10.1016/j.oceram.2022.100280
  6. Lizcano M., Williams T.S., Shin E.-S.E., Santiago, D., Nguyen B. // Materials. 2022. V. 15. P. 8121. http://doi/org/10.3390/ma15228121
  7. Remnev G.E., Isakov I.F., Opekounov M.S. et al. // Surf. Coat. Technol. 1999. V. 114. P. 206. http://doi/org/10.1016/S0257-8972(99)00058-4
  8. Remnev G.E., Tarbokov V.A., Pavlov S.K. // Inorg. Mater. Appl. Res. 2022. V. 13. P. 62. http://doi/org/10.1134/S2075113322030327
  9. Uglov V.V., Remnev G.E., Kuleshov A.K., Astashinski V.M., Saltymakov M.S. // Surf. Coat. Technol. 2010. V. 204. P. 1952. http://doi/org/10.1016/j.surfcoat.2009.09.039
  10. Kovivchak V.S., Panova T.V., Burlakov R.B. // J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron, Neutron Tech. 2008. V. 2. P. 200. http://doi/org/ 10.1134/S1027451008020079
  11. Kovivchak V.S., Panova T.V., Krivozubov O.V., Davletkil'deev N.A., Knyazev E.V. // J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron, Neutron Tech. 2012. V. 6. P. 244. http://doi/org/10.1134/S1027451012030123
  12. Kovivchak V.S., Panova T.V. // J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron, Neutron Tech. 2019. V. 13. P. 1252. http://doi/org/10.1134/S1027451019060363
  13. Liang G., Shen J., Zhang J. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2017. V. 409. P. 277. http://doi/org/10.1016/j.nimb.2017.04.048
  14. Shen J., Shahid I., Yu X. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2017. V. 413. P. 6. http://doi/org/10.1016/j.nimb.2017.09.031
  15. Romanov I.G., Tsareva I.N. // Tech. Phys. Lett. 2001. V. 27. P. 695. http://doi/org/10.1134/1.1398972
  16. Nakano H., Watari K., Hayashi H., Urabe K. // J. Am. Ceram. Soc. 2004. V. 85. P. 3093. http://doi/org/10.1111/j.1151-2916.2002.tb00587.x
  17. De Faoite D., Browne D.J., Chang-Díaz F.R. et al. // J. Mater. Sci. 2012. V. 47. P. 4211. http://doi/org/10.1007/s10853-011-6140-1
  18. Goldstein J.I., Newbury D.E., Echlin P. et al. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis. New York: Kluwer acad. /Plenum publ., 2003. 689 p.
  19. Ghyngazov S., Pavlov S., Kostenko V., Surzhikov A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2018. V. 434. P. 120. http://doi/org/10.1016/j.nimb.2018.08.037
  20. Kostenko V., Pavlov S., Nikolaeva S. // IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 2018. V. 289. P. 012019. http://doi/org/10.1088/1757-899X/289/1/012019
  21. Ghyngazov S.А., Boltueva V.А. // Ceram. Int. 2023. V. 49. P. 37061. http://doi/org/10.1016/j.ceramint.2023.09.099
  22. Ghyngazov S., Kostenko V., Shevelev S., Lysenko E., Surzhikov A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2020. V. 464. P. 89. http://doi/org/10.1016/j.nimb.2019.12.013
  23. Zhang S., Yu X., Zhang J. et al. // Vacuum. 2021. V. 187. P. 110154. http://doi/org/10.1016/j.vacuum.2021.110154

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Институт физики твердого тела РАН, Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».