Regular Microstructures Based on Polyethylene Terephthalate Films


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

A method for forming regular dielectric and metallic microstructures based on polyethylene terephthalate films irradiated with a synchrotron radiation source through a mask with subsequent etching. To study their geometric parameters, scanning electron microscopy was used.

Об авторах

V. Asadchikov

Shubnikov Institute of Crystallography, Federal Research Center “Crystallography and Photonics,”
Russian Academy of Sciences

Автор, ответственный за переписку.
Email: asad@crys.ras.ru
Россия, Moscow, 119333

S. Bedin

Shubnikov Institute of Crystallography, Federal Research Center “Crystallography and Photonics,”
Russian Academy of Sciences; Moscow Pedagogical State University

Email: asad@crys.ras.ru
Россия, Moscow, 119333; Moscow, 119991

A. Vasil’ev

Shubnikov Institute of Crystallography, Federal Research Center “Crystallography and Photonics,”
Russian Academy of Sciences

Email: asad@crys.ras.ru
Россия, Moscow, 119333

Yu. Grigor’ev

Shubnikov Institute of Crystallography, Federal Research Center “Crystallography and Photonics,”
Russian Academy of Sciences

Email: asad@crys.ras.ru
Россия, Moscow, 119333

V. Naz’mov

Budker Institute of Nuclear Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences

Email: asad@crys.ras.ru
Россия, Novosibirsk, 630090

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Pleiades Publishing, Ltd., 2019

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).