Abstract of the thematic block
- Шығарылым: Том 118, № 2 (2023): THEMED SECTION: FUNDAMENTAL PROBLEMS OF MULTILEVEL METALLIZATION SYSTEMS FOR ULTRA-LARGE INTEGRATED CIRCUITS
- Беттер: 9-12
- Бөлім: THEMED ISSUE EDITOR’S COLUMN
- URL: https://journal-vniispk.ru/1605-8070/article/view/301034
- ID: 301034
Дәйексөз келтіру
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
