Hybrid Organosilicate Low-k Dielectrics with Benzene Bridge Groups with Increased Mechanical Properties and Small Pore Size for Modern BEOL Metallization - PDF (Russo)


Declaração de direitos autorais © Rezvanov A.A., Vishnevskiy A.S., Seregin D.S., Lomov A.A., Vorotilov K.A., Baklanov M.R., 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).