Температурные эффекты и механизмы воздействия атомов O, N и F на SiOCH нанопористые диэлектрики - PDF (Русский)


© Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Манкелевич Ю.А., Воронина Е.Н., 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).