Определение электродинамических параметров тонких пленок в составе гетероструктур методами терагерцевой и инфракрасной спектроскопии
- Авторы: Командин Г.А.1, Вишневский А.С.2, Серегин Д.С.2, Воротилов К.А.2, Руденко К.В.3, Мяконьких А.В.3, Спектор И.Е.1
-
Учреждения:
- Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
- МИРЭА – Российский технологический университет
- Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
- Выпуск: Том 118, № 2 (2023): ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МНОГОУРОВНЕВЫХ СИСТЕМ МЕТАЛЛИЗАЦИИ УЛЬТРАБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
- Страницы: 113-129
- Раздел: Тематический блок
- URL: https://journal-vniispk.ru/1605-8070/article/view/301407
- DOI: https://doi.org/10.22204/2410-4639-2023-118-02-113-129
- ID: 301407
Цитировать
Полный текст
Аннотация
В работе представлены разработанные методы исследования функции диэлектрического отклика тонких пленок в составе гетероструктур. Особое внимание уделено методике работы с влагонасыщенными пористыми пленками. Проведена параметризация колебательных полос поглощения и определены их вклады в суммарную диэлектрическую проницаемость. Проанализирована полоса поглощения в терагерцевом диапазоне органосиликатных стекол и выявлено влияние влагонасыщенности и бозонного пика на увеличение низкочастотной диэлектрической проницаемости не менее чем 10%. Разработанные методы использованы для восстановления оптических характеристик прозрачной пленки проводящего оксида никелата лантана в терагерцевом диапазоне.
Об авторах
Геннадий Анатольевич Командин
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: gakomandin@mail.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ул. Вавилова, 38
Алексей Сергеевич Вишневский
МИРЭА – Российский технологический университет
Email: vishnevskiy@mirea.ru
Россия, 119454, Россия, Москва, проспект Вернадского, 78
Дмитрий Сергеевич Серегин
МИРЭА – Российский технологический университет
Email: d_seregin@mirea.ru
Россия, 119454, Россия, Москва, проспект Вернадского, 78
Константин Анатольевич Воротилов
МИРЭА – Российский технологический университет
Email: vorotilov@mirea.ru
Россия, 119454, Россия, Москва, проспект Вернадского, 78
Константин Васильевич Руденко
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Email: rudenko@ftian.ru
Россия, 117218, Россия, Москва, Нахимовский проспект, 34
Андрей Валерьевич Мяконьких
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Email: miakonkikh@ftian.ru
Россия, 117218, Россия, Москва, Нахимовский проспект, 34
Игорь Евсеевич Спектор
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
Email: igor.spector@yandex.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ул. Вавилова, 38
Список литературы
- K. Maex, M.R. Baklanov, D. Shamiryan, F. Lacopi, S.H. Brongersma, Z.S. Yanovitskaya J. App. Phys., 2003, 93, 8793. doi: 10.1063/1.156746.
- A. Grill, D. Neumayer J. Appl. Phys., 2003, 94, 6697. doi: 10.1063/1.1618358.
- G. Kozlov, A. Volkov В Millimeter and Submillimeter Wave Spectroscopy of Solids, TAP, Vol. 74, Ed. G. Grüner, FRG, Berlin, Heidelberg, Springer, 1998, pp. 51–109. doi: 10.1007/BFb0103420.
- Г.А. Командин, А.А. Гавдуш, Ю.Г. Гончаров, О.Е. Породинков, В.С. Ноздрин, С.В. Чучупал, И.Е. Спектор Оптика и спектроскопия, 2019, 126(5), 596. doi: 10.21883/OS.2019.05.47658.7-19.
- G.A. Komandin, V.B. Anzin, V.E. Ulitko, A.A. Gavdush, A.A. Mukhin, Y.G. Goncharov, O.E. Porodinkov, I.E. Spektor Opt. Eng., 2020, 59, 061603. doi: 10.1117/1.OE.59.6.061603.
- A.S. Barker Jr., J.J. Hopfield Phys. Rev., 1964, 135, A1732. doi: 10.1103/PhysRev.135.A1732.
- A. Grill J. Vac. Sci.Technol. B, 2016, 34, 020801. doi: 10.1116/1.4943049.
- G.A. Komandin, V.S. Nozdrin, N.V. Chernomyrdin, D.S. Seregin, A.S. Vishnevskiy, V.N. Kurlov, K.A. Vorotilov, A.V. Miakonkikh, A.A. Lomov, K.V. Rudenko, I.E. Spektor J. Phys. D: Appl. Phys., 2022, 55, 025303. doi: 10.1088/1361-6463/ac2ad5.
- Г.А. Командин, В.С. Ноздрин, Г.А. Орлов, Д.С. Серегин, В.Н. Курлов, К.А. Воротилов, А.С. Сигов Доклады РАН, 2020, 490, 33. doi: 10.31857/S2686740020010149.
- Г.А. Командин, В.С. Ноздрин, Ф.Ф. Пронин, О.Е. Породинков, В.Б. Анзин, И.Е. Спектор Физика твердого тела, 2020, 62(2), 223. doi: 10.21883/FTT.2020.02.48871.584.
- P. Lunkenheimer, U. Schneider, R. Brand, A. Loidl Contemp. Phys., 2000, 41, 15. doi: 10.1080/001075100181259.
- V.L. Gurevich, D.A. Parshin, H.R. Schober Phys. Rev. B, 2003, 67, 094203. doi: 10.1103/PhysRevB.67.094203.
- T. Fukasawa, T. Sato, J. Watanabe, Y. Hama, W. Kunz, R. Buchner Phys. Rev. Lett., 2005, 95, 197802. doi: 10.1103/PhysRevLett.95.197802.
- J. Cardoletti, P. Komissinskiy, E. Bruder, C. Morandi, L. Alff J. Appl. Phys., 2020, 128, 104103. doi: 10.1063/5.0019967.
- D. Wu, A. Li, Z. Liu, H. Ling, C.Z. Ge, X. Liu, H. Wang, M. Wang, P. Lu, N. Ming Thin Solid Films, 1998, 336, 172. doi: 10.1016/S0040-6090(98)01223-1.
- M.V. Abrashev, A.P. Litvinchuk, M.N. Ivlev, R.L. Meng, V.N. Popov, V.G. Ivanov, R.A. Chakalov, C. Tomsen Phys. Rev. B, 1999, 59, 4146. doi: 10.1103/PhysRevB.59.4146.
- V.S. Nozdrin, G.A. Komandin, I.E. Spektor, N.V. Chernomyrdin, D.S. Seregin, A.S. Vishnevskiy, K.A. Vorotilov J. Appl. Phys., 2022, 131, 025305. doi: 10.1063/5.0073466.
Дополнительные файлы
