Исследование свойств магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня УБИС
- Авторы: Вилков Е.А.1, Сафонов С.С.2, Темирязев А.Г.1, Федоров А.С.2, Федорова А.А.2, Логунов М.В.2
-
Учреждения:
- Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: Том 118, № 2 (2023): ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МНОГОУРОВНЕВЫХ СИСТЕМ МЕТАЛЛИЗАЦИИ УЛЬТРАБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
- Страницы: 141-151
- Раздел: Тематический блок
- URL: https://journal-vniispk.ru/1605-8070/article/view/301412
- DOI: https://doi.org/10.22204/2410-4639-2023-118-02-141-151
- ID: 301412
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Приведен обзор основных результатов выполнения проекта РФФИ в области синтеза, исследования и моделирования магнитооптических пленок и пленочных наноструктур для интегрально-оптических невзаимных устройств межсоединений верхнего уровня ультрабольших интегральных схем (УБИС). На основании результатов исследований нано- и пикосекундных процессов в магнитных пленках – динамики спинов в монодоменной пленке и динамики доменных границ в многодоменной пленке – рассмотрены возможности разработки быстродействующих устройств оптики-на-кристалле, включая устройства терагерцевого диапазона частот.
Об авторах
Евгений Александрович Вилков
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: e-vilkov@yandex.ru
профессор
Россия, 141120, Россия, Московская обл., Фрязино, проезд Введенского, 1Сергей Станиславович Сафонов
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: sergej-safonov-81@bk.ru
Россия, 125009, Россия, Москва, ул. Моховая, 11-7
Алексей Григорьевич Темирязев
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: temiryazev@gmail.com
Россия, 141120, Россия, Московская обл., Фрязино, проезд Введенского, 1
Андрей Сергеевич Федоров
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: fedorov_a_s@inbox.ru
Россия, 125009, Россия, Москва, ул. Моховая, 11-7
Анна Антоновна Федорова
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: annadanilova99@gmail.com
Россия, 125009, Россия, Москва, ул. Моховая, 11-7
Михаил Владимирович Логунов
Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: logunov@cplire.ru
профессор
Россия, 125009, Россия, Москва, ул. Моховая, 11-7Список литературы
- Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков Металлизация ультрабольших интегральных схем, РФ, Москва, 2012, 277 с.
- K. Ohashi, K. Nishi, T. Shimizu, M. Nakada, J. Fujikata, J. Ushida, S. Torii, K. Nose, M. Mizuno, H. Yukawa, M. Kinoshita, N. Suzuki, A. Gomyo, T. Ishi, D. Okamoto, K. Furue, T. Ueno, T. Tsuchizawa, T. Watanabe, K. Yamada, S.-i. Itabashi, J. Akedo В Proc. IEEE, 2009, 97(7), 1186. doi: 10.1109/JPROC.2009.2020331.
- C. García-Meca, S. Lechago, A. Brimont, A. Griol, S. Mas, L. Sánchez, L. Bellieres, N.S. Losilla, J. Martí Light-Sci. Appl., 2017, 6, e17053. doi: 10.1038/lsa.2017.53.
- J. Hu, X.Y. Sun, Q. Du, M. Onbasli, C.A. Ross В Proc. SPIE, 2016, 9750, 97500W. doi: 10.1117/12.2209658.
- Q. Du, T. Fakhrul, Y. Zhang, J. Hu, C.A. Ross MRS Bulletin, 2018, 43, 413. doi: 10.1557/mrs.2018.127.
- M. Nur-E-Alam, M. Nur-E-Alam, M. Vasiliev, K. Alameh Opt. Mater., 2019, 98, 109309. doi: 10.1016/j.optmat.2019.109309.
- K. Kasahara, S. Wang, T. Ishibashi, T. Manago Japanese J. Appl. Phys., 2019, 58, 060906. doi: 10.7567/1347-4065/ab1fc7.
- H. Otmani, M. Lahoubi, S. Pu, M. Bouchemat, T. Bouchemat, Y. Zhao, R. Deghdak J. Nanophotonics, 2019, 13, 026002. doi: 10.1117/1.JNP.13.
- S. Sharma, B. Zare Rameshti, Y.M. Blanter, G.E.W. Bauer Phys. Rev. B, 2019, 99, 214423. doi: 10.1103/PhysRevB.99.214423.
- B. Dieny, I.L. Prejbeanu, K. Garello, P. Gambardella, P. Freitas, R. Lehndorff, W. Raberg, U. Ebels, S.O. Demokritov, J. Akerman, A. Deac, P. Pirro, C. Adelmann, A. Anane, A.V. Chumak, A. Hiroata, S. Mangin, M. Cengiz Onbaşlı, M. D’Aquino, G. Prenat, G. Finocchio, L. Lopez Diaz, R. Chantrell, O. Chubykalo-Fesenko, P. Bortolotti Nat. Electron., 2020, 3, 446. doi: 10.1038/s41928-020-0461-5.
- L. Carettaet, S.-H. Oh, T. Fakhrul, D.-K. Lee, B.H. Lee, S.K. Kim, C.A. Ross, K.-J. Lee, G.S.D. Beach Science, 2020, 370, 1438. doi: 10.1126/science.aba5555.
- H.S. Kum, H. Lee, S. Kim, S. Lindemann, W. Kong, K. Qiao, P. Chen, J. Irwin, J.H. Lee, S. Xie, S. Subramanian, J. Shim, S.-H. Bae, C. Choi, L. Ranno, S. Seo, S. Lee, J. Bauer, H. Li, K. Lee, J.A. Robinson, C.A. Ross, D.G. Schlom, M.S. Rzchowski, C.B. Eom, J. Kim Nature, 2020, 578, 75. doi: 10.1038/s41586-020-1939-z.
- P. Barla, V. Kumar Joshi, S. Bhat J. Comput. Electron., 2021, 20, 805. doi: 10.1007/s10825-020-01648-6.
- Z. Tan, F. Fan, X. Dong, J. Cheng, S. Chang Sci. Rep., 2019, 9, 20210. doi: 10.1038/s41598-019-56789-x.
- N. Margalit, C. Xiang, S.M. Bowers, A. Bjorlin, R. Blum, J.E. Bowers Appl. Phys. Lett., 2021, 118, 220501. doi: 10.1063/5.0050117.
- H. Yang, Z. Xie, H. He, Q. Zhang, X. Yuan APL Photonics, 2021, 6, 110901. doi: 10.1063/5.0060736.
- С.А. Никитов, А.Р. Сафин, Д.В. Калябин, А.В. Садовников, Е.Н. Бегинин, М.В. Логунов, М.А. Морозова, С.А. Одинцов, С.А. Осокин, А.Ю. Шараевская, Ю.П. Шараевский, А.И. Кирилюк УФН, 2020, 190, 1009. doi: 10.3367/UFNr.2019.07.038609.
- А.Р. Сафин, С.А. Никитов, А.И. Кирилюк, Д.В. Калябин, А.В. Садовников, П.А. Стремоухов, М.В. Логунов, П.А. Попов ЖЭТФ, 2020, 158, 85. doi: 10.31857/S0044451020070081.
- A. Stupakiewicz, C.S. Davies, K. Szerenos, D. Afanasiev, K.S. Rabinovich, A.V. Boris, A. Caviglia, A.V. Kimel, A. Kirilyuk Nat. Phys., 2021, 17, 489. doi: 10.1038/s41567-020-01124-9.
- M.V. Gerasimov, M.V. Logunov, A.V. Spirin, Yu.N. Nozdrin, I.D. Tokman Phys. Rev. B, 2016, 94, 014434. doi: 10.1103/PhysRevB.94.014434.
- М.В. Герасимов, С.В. Ильин, М.В. Логунов, С.А. Никитов, А.В. Спирин, А.Н. Чалдышкин Приборы и техника эксперимента, 2017, №5, 106. doi: 10.7868/S0032816217050202.
- М.В. Логунов, С.А. Никитов, А.И. Стогний, С.С. Сафонов, А.Г. Темирязев Известия РАН. Сер. физическая, 2019, 83, 950. doi: 10.1134/S0367676519070251.
- М.В. Логунов, С.А. Никитов, А.Г. Темирязев, М.П. Темирязева, С. Джордано, Т. Матурин, Я. Душч, Н. Тиерцелин, Ф. Перно Известия РАН. Сер. физическая, 2020, 84, 251. doi: 10.31857/S0367676520020209.
- Yu.B. Kudasov, M.V. Logunov, R.V. Kozabaranov, I.V. Makarov, V.V. Platonov, O.M. Surdin, D.A. Maslov, A.S. Korshunov, I.S. Strelkov, A.I. Stognij, V.D. Selemir, S.A. Nikitov Appl. Phys. Lett., 2022, 120, 122403. doi: 10.1063/5.0086067.
- Е.А. Вилков, Г.М. Михайлов, С.А. Никитов, А.Р. Сафин, М.В. Логунов, В.Н. Коренивский, С.Г. Чигарев, Л.А. Фомин ФТТ, 2019, 61, 1021. doi: 10.21883/FTT.2019.06.47674.279.
- E. Vilkov, O. Byshevski-Konopko, P. Stremoukhov, A. Safin, M. Logunov, D. Kalyabin, S. Nikitov, A. Kirilyuk Ultrasonics, 2022, 119, 106588. doi: 10.1016/j.ultras.2021.106588.
- M.V. Logunov, S.S. Safonov, A.S. Fedorov, A.A. Danilova, N.V. Moiseev, A.R. Safin, S.A. Nikitov, A. Kirilyuk Phys. Rev. Applied, 2021, 15, 064024. doi: 10.1103/PhysRevApplied.15.064024.
- I.A. Dolgikh, F. Formisano, K.H. Prabhakara, M.V. Logunov, A.K. Zvezdin, P.C.M. Christianen, A.V. Kimel Appl. Phys. Lett., 2022, 120, 012401. doi: 10.1063/5.0076442.
- P. Stremoukhov, A. Safin, M. Logunov, S. Nikitov, A. Kirilyuk J. Appl. Phys., 2019, 125, 223903. doi: 10.1063/1.5090455.
- T.G.H. Blank, K.A. Grishunin, E.A. Mashkovich, M.V. Logunov, A.K. Zvezdin, A.V. Kimel Phys. Rev. Lett., 2021, 127, 037203. doi: 10.1103/PhysRevLett.127.037203.
Дополнительные файлы
