Computational algorithms for a one-dimensional MEP model of charge transfer in semiconductors

Capa

Citar

Texto integral

Resumo

Subject of research: hydrodynamic model describing charge transfer in semiconductor devices in the one-dimensional case.

Purpose of research: to develop computational algorithms for finding a numerical solution of a ballistic diode problem.

Methods and objects of research: the object of research is the ballistic diode problem. The developed computational algorithms are based on the use of the method of lines, the method of establishment, various non-stationary regularizations and schemes without saturation.

Main results of the research: computational schemes were developed based on the use of the spline function technique, on reducing the problem to integral equations and using the predictor-corrector scheme.

Texto integral

Введение

В настоящий момент существует огромное число математических моделей, предназначенных для описания физических явлений в полупроводниковых устройствах. Поскольку поиск приближенных решений затруднителен, то встает вопрос о разработке численных алгоритмов нахождения приближенных решений. В работе рассматривается одномерный вариант MEP (Maximum Entropy Principle) модели [1].

Безразмерная математическая модель, описывающая перенос заряда в полупроводнике имеет следующий вид [2]:

 Rt+Jx =0,Jt+23REx=RQ+c11J+c12I,REt+Ix =JQ+cP,It+109RE2x=53REQ+c21J+c22I,                            (1)

εφxx=Rρ.                                                                                          (2)

Где R – плотность электронов, u – скорость электронов, q – поток энергии, J = Ru, I = Rq, φ – электрический потенциал, Q = φx, E – энергия электронов, σ=23E1, P=Rσ, ε > 0 – константа, ρρ(x), c, c11, c12, c21, c22 – коэффициенты, зависящие от энергии E [2, 3].

Системе уравнений (1) задали граничные условия (3), начальные данные (4), а уравнению Пуассона (2) поставили краевые условия (5):

R(t,0)=R(t,1)=1,E(t,0)=E(t,1)=32,                                                                             (3)

R(0,x)=R(x)0,J(0,x)=J(x)0,E(0,x)=E(x)0,I(0,x)=I(x)0,                                                                                    (4)

φ(t,0)=0, φ(t,1)=B,                                                                               (5)

B>0, R(x)0>0, E(x)0>0    .                       

Сформулированная задача (1) – (5) является одномерной задачей о баллистическом диоде. Это полупроводниковый прибор, состоящий из трех областей. Первую и третью области называют n+ - зонами. Они имеют высокую концентрацию легирования. Средняя область имеет низкую концентрацию легирования и называется n - зоной.

Безразмерная величина ρ имеет следующий вид:

ρ=1,если x принадлежи n+зоне,δ=N+N,если x принадлежи nзоне,                                                                             

N, N+ являются плотностями легирования в n - зоне, n+ -зоне. График ρ(x) изображен на рисунке 1.

 

Рисунок 1 – Схематическое изображение n+n n+ баллистического диода

 

При осуществлении поиска приближенных решений в данной задаче возникли вычислительные проблемы, связанные с тем, что уравнения модели являются нелинейными уравнениями и содержат очень малые параметры. В задаче не удалось найти приближенные решения с помощью разностных схем. Основные проблемы возникли с нахождением энергии электронов. Энергия электронов очень сильно увеличивалась, и происходило переполнение системы.

Результаты и обсуждение

Для нахождения приближенных решений задачу (1) – (5) в стационарном случае удалось свести к системе из трех уравнений Пуассона [4]:

d2φdx2=F(φ)(χ,ρ)=β(eχρ),d2σdx2=F(σ)Σ,X,Q,σ=a1Σ2+a2ΣX+a3ΣQ+a4XQ+a5Q2+bcσ,d2χdx2=F(χ)Σ,X,Q,σ,X,ρ=X2+b1Σ2+b2ΣX+b3ΣQ+b4XQ+                                                  +b5Q2+β1+σeχρ+ncσ,         (6)

χ=σ=0 при x=0,1,φ=0 при x=0,φ=B при x=1,                                                                         (7)

u=F(E)Q1+σXF0(E)Σ,q=G(E)Q+1+σX+G0(E)Σ.                                                         (8)

Здесь β=1ε, χ=lnR, Σ=dσdx, X=dχdx

a1=a'F(E)F0(E)+b'G(E)G0(E),a2=1+1+σb'G(E)a'F(E),a3=a'F(E)b'G(E)bF(E)F0(E),a4=b1+σF(E),a5=bF(E)

b1=m'F(E)F0(E)+n'G(E)G0(E),b2=1+σn'G(E)m'F(E),b3=11+σ2+m'F(E)n'G(E)nF(E)F0(E),b4=11+σ+bF(E)F0(E),b5=nF(E)

a=a(E)=25c211+σc11,b=b(E)=25c221+σc12,m=m(E)=c11a1+σ,n=n(E)=c12b1+σ,

F(E)=c2253Ec12det, G(E)=c2153Ec11det,F0(E)=153Ec12c2253Ec12, G0(E)=153Ec11c2153Ec11, det=c11c22c21c12 , a'=dadσ=32dadE   и т.д.

 

Для поиска стационарных решений задачи (1) – (5) необходимо осуществить:

  1. Задание начальных данных:

 φ, E, σ=23E1.

  1. Расчет необходимых коэффициентов:

 c,c11,c12,c21,c22, K(x)=0xρcσdτ, a11(x)=0xc11+c12φρdτ,a12(x)=0xc12ρdτ, a21(x)=0xc21+c22φρ1+σdτ,a22(x)=0xc22ρ1+σdτ, d1(x)=0x1+σρ'ρc12ρKdτ,d2(x)=0x521+σρ'ρc22ρ1+σKdτ,det=a111a221a121a211.

  1. Вычисление промежуточных величин:

J=1deta221d11Ba121d2152B,I0=1deta211d11B+a111d2152B.

  1. Пересчет φ , σ:

ωx=d1xa11xJa12xI0,σx=ωx25d2x+25a21xJ+25a22xI0,φx=ωx+σx, Ex=3σx+12.

В цикле организуется вычисление шагов 2−4. Цикл прекращает работу в тот момент, когда значения неизвестных найдены с заданной точностью.

Поиск приближенного решения задачи (6)−(7) осуществлялся с помощью метода установления [5]. Для этого рассматривали параболическую, гиперболическую и Соболевскую регуляризации [6, 7]. Было проведено огромное число экспериментов, которые показали, что скорость сходимости метода зависит от выбора регуляризации. Поскольку Соболевская регуляризация дает самую высокую скорость сходимости, то для построения численных алгоритмов используем следующую систему:

1ξ2τφ=ξ2φF(φ)(χ,ρ),1ξ2τσ=ξ2σF(σ)(ξσ,ξχ,ξφ,σ),1ξ2τχ=ξ2χF(χ)(ξσ,ξχ,ξφ,σ,χ,ρ),                                               (9)

τ=t, ξ=x, t - переменная по времени.

Начальные данные для систем уравнений (7), (9) при t > 0 и 0 < x < 1 примут следующий вид:

φ0,x=φ0x,σ0,x=σ0x=23E0x1,χ0,x=χ0x=lnR0x.                                                           (10)

Далее для поиска численного решения задачи (7), (9) − (10) были сконструированы алгоритмы. В этих алгоритмах использовались кубические сплайны класса C2 [8], интегральные уравнения и схема предиктор – корректор. Разработанные алгоритмы будем описывать на модельной задаче.

Система уравнений (9) состоит из трех одинаковых уравнений, которые отличаются друг от друга только правыми частями. Поэтому далее рассматриваем только одно из трех уравнений:

1ξ2τy=ξ2yfy, t>0, 0<x<1;y=0 при x=0,1, t>0;y=y0x при t=0, 0<x<1.                                                 (11)

При подстановке функций F(φ), F(σ), F(χ) в правую часть fy, а при подстановке φ, σ, χ в функцию y, будет получена исходная система (9).

Также нам понадобиться и другая запись полученной задачи (11), которая нужна для сведения этой задачи к интегральным уравнениям:

τθy+θy=f~y, t>0, 0<x<1;θy=θy0x=y0xξ2y0x при t=0, 0<x<1,                                   (12)

θy=θyt,x=yt,xξ2yt,x,f~y=f~yt,x=yt,xf~yt,x.

Далее в уравнении 1ξ2τy=ξ2yfy системы (11) провели дискретизацию по переменной t. Производную τ y аппроксимировали выражением YyΔ:

ξ2Y=BY+F, B=11+Δ, F=ξ2yy+Δfy1+Δ,                                        (13)

 является шагом разностной сетки по времени t,

ynx=ynΔ,x=y, n=0,1,..., Y=yn+1x.

Приближённое решение задачи (11) искали в виде кубического интерполяционного сплайна класса C2(см. [8]):

S(x)=(1τ¯)Yk+τ¯Yk+1h26τ¯(1τ¯)(2τ¯)mk+(1+τ¯)mk+1,                  (14)

τ¯=xxkh, xxk,xk+1, k=0,N1¯, xk = k . h, N . h = 1, Yk = Y (xk), mk=ξ2Y(xk).

Поскольку

ξS(x)=Yk+1Ykhh6(26τ¯+3τ¯2)mk+(13τ¯2)mk+1,

xxk,xk+1, k=0,N1¯, то вычисляя

ξS(xk+0)=Yk+1Ykhh62mk+mk+1,ξS(xk0)=YkYk1hh6mk1+2mk

и приравнивая их, получили

12mk1+2mk+12mk+1=3h2ηYkη¯Yk, k=1,N1¯,  ,                         (15)

η=ψ1, η¯=1ψ1, ψ±1Yk=Yk±1ψ+1=ψ

являются разностными операторами и операторами сдвига, соответственно.

Полагая в (13) x = xk и подставляя ξ2Yk в (15), переходим к следующей разностной схеме, которая является трехслойной:

1h26BYk121+h23BYk+1h26BYk+1= =h26Fk1+4Fk+Fk+1, k=1,N1¯,Fk=Fxk.                             (16)

Для (16) задаем краевые условия:

Y0=0, YN=0.                                                                                      (17)

Решая трехдиагональную систему уравнений (16) − (17) с помощью метода прогонки [5], находим функции Yk, k=0,N¯.

Для вычисления производной ξy также использовались кубические сплайны (14). Из

ξS(x)=Yk+1Ykhh6(26τ¯+3τ¯2)mk+(13τ¯2)mk+1,

xxk,xk+1, k=0,N1¯, следует:

ξS(xk+1)=Yk+1Ykhh6mk+2mk+1, xxk,xk+1, k=0,N1¯,ξS(0)=Y1Y0h+h62m0+m1. 

Другой вычислительный алгоритм основывается на сведение модельной задачи (12) к системе интегральных уравнений. Решая дифференциальное уравнение (12), получили:

θyt,x=etθy0x+0tetζyζ,xfyζ,xdζ,                                   (18)

где θy0x=y0xξ2y0x.

Добавляя к выражению θyt,x=yt,xξ2yt,x условие y=0 (x=0, x=1, t>0), пришли к задаче, зависящей от параметра t:

ξ2yt,xyt,x=θyt,x,yt,0=yt,1=0.                                                                 (19)

Решение, которой представлено в виде интегрального уравнения (20):

yt,x=01Gx,sθyt,sds,                                                                  (20)

Gx,s=shsshx1sh1,0<sx,shxshs1sh1,x<sx.               

ξyt,x=0xchxsθφt,sdschxsh101chs1θφt,sds                         (21)

Проведя дискретизацию по переменной t в (18), (20), (21) и считая, что

θyin=θynΔ,xi, yin=ynΔ,xi, получили систему:

yin=01Gxi,sθyn1Δ,sds,ξynΔ,xi=0xichxisθφn1Δ,sdschxish101chs1θφn1Δ,sds,θyin=enΔθ0,xi+0nΔeζyζ,xifyζ,xidζ,       (22)

θy0,x=y0xiξ2y0xi, n=1,2,....,

Расчет интегралов в (22) осуществлялся с помощью метода трапеции [9] с переменным шагом hi=xi+1xi, i=0,N1¯ на сетке по x.

Переходим к рассмотрению последнего вычислительного алгоритма, который связан с использованием схемы предиктор−корректор. Для этого, в уравнении (12) и интегральных соотношениях провели дискретизацию по переменной t. В результате уравнение (12) записалось так:

θy*θynΔ/2+θy*=f~yn, θyn+1θynΔ+θyn+1=f~y*.

Из полученных уравнений выражаем θy*, θyn+1 :

θy*=θyn+Δ2f~yn1+Δ2, θyn+1=Δf~y*+θyn1+Δ.

Используя интегральные уравнения (20) − (21), удалось перейти к следующей системе последовательных выражений:

f~yin=yinf~ynΔ,xi, θy*i=θyin+Δ2f~yin1+Δ2,yi*=01Gxi,sθy*sds,f~yi*=yi*f~ynΔ,xi, θyin+1=Δf~yi*+θyin1+Δ,yin+1=01Gxi,sθyn+1Δ,sds,ξyn+1Δ,xi=0xichxisθφn+1Δ,sds chxish101chs1θφn+1Δ,sds.                    (23)

Расчет интегралов в (23) осуществлялся с помощью метода трапеции или метода Симпсона [9].

Таким образом, чтобы найти решение на следующем временном слое, необходимо задать начальные данные для E, R, φ, и последовательно осуществить действия:

  1. Рассчитать правую часть F(φ)(χnΔ,x,ρ) для первого уравнения в (9), где значение χ берется с n-го (предыдущего) слоя. Найти решение для электрического потенциала φn+1=φn+1Δ,x и вычислить производную ξφn+1.
  2. Рассчитать правую часть для второго уравнения в (9) F(σ)ξσnΔ,x,ξχnΔ,x,ξφn+1Δ,x+B,σn, где σ, χ берутся с n-го слоя, а φ – с (n +1)-го слоя. Найти решение σn+1=σn+1Δ,x и вычислить производную ξσn+1.
  3. Рассчитать правую часть для третьего уравнения в (9) F(χ)ξσn+1Δ,x,ξχnΔ,x,ξφn+1Δ,x+B,σn+1,χn,ρ, где значение χ берется с n-го слоя, а φ, σ – с (n +1)-го слоя. Найти решение χn+1=χn+1Δ,x и вычислить производную ξχn+1.

Данные действия осуществляется в цикле. Цикл прекращает свою работу в тот момент, когда численное решение найдено с заданной точностью.

Для реализации и тестирования описанных вычислительных схем, разработана система «Численный анализ задачи о баллистическом диоде». Меню системы представлено на рисунке 2.

 

Рисунок 2 – Меню системы

 

В окне «Численное решение задачи о баллистическом диоде» (рисунок 3) необходимо задать физические и численные параметры, утвердить начальные данные или считать данные из файла, указать количество итераций, выбрать алгоритм решения задачи. Только после этого можно будет получить решение задачи и сохранить в файл. Более того, в системе возможно следить за поведением графика зависимости энергии от времени.

Расчеты показали, что разработанные вычислительные алгоритмы имеют разные скорости сходимости. Алгоритм, использующий кубические сплайны, имеет более высокую скорость, чем алгоритм, использующий схему предиктор-корректор.

Хорошие результаты при σ = 0,004 можно получить с помощью системы интегральных уравнений (рисунок 4). При небольших σ лучше использовать другие алгоритмы.

Проверку правильности работы разработанных алгоритмов осуществили с помощью метода ортогональной прогонки. Данный метод позволяет проводить расчеты с заданной точностью. На рисунке 5 представлены результаты метода ортогональной прогонки и разработанных алгоритмов. Из рисунка видно, что результаты практически совпадают, т.е. графики, построенные для плотности, потенциала и энергии электронов разными алгоритмами совпали. Есть небольшие расхождения только для скорости электронов.

 

Рисунок 3 – Окно «Численное решение задачи о баллистическом диоде»

 

Рисунок 4 – V = 1.5 Volt, σ = 0.004, L = 3 × 10-7 m, N =100, Δ1 = ⅟12 , ε1 = 10-6.

 

Рисунок 5 – Расчеты четырех методов:

V = 1 Volt, σ = 0.2, L = 6 × 10-7 m, N =200, Δ1 = ⅟12 , ε1 = 10-6.

 

Заключение и выводы

С помощью разработанной системы осуществлено огромное число расчетов при разных параметрах. Расчеты показали, что разработанные вычислительные алгоритмы дают физически правдоподобные результаты, которые совпадают с результатами других авторов. Материалы данной работы могут быть интересны специалистам, занимающихся моделированием различных физических процессов в полупроводниковых приборах.

×

Sobre autores

Alesya Shevchenko

Altai State Technical University named after I. I. Polzunov

Autor responsável pela correspondência
Email: ibragimova.a.s@mail.ru

Candidate of Physical and Mathematical Sciences, Associate Professor, Rubtsovsk Industrial Institute (branch) 

Rússia, Rubtsovsk

Bibliografia

  1. Muscato, O. Simulation of submicron silicon diode with a non-parabolic hydrodynamical model based on the maximum entropy principle / Muscato O. Romano // VLSI Design. – 2001. ‒ V.13. ‒ P. 273–279.
  2. Blokhin, A. M. Nonlinear asymptotic stability of the equilibrium state for the MEP model of charge transport in semiconductors / A. M. Blokhin, R. S. Bushmanov, V. Romano // Nonlinear Analysis. – 2006. ‒ V. 65. ‒ P. 2169‒2191.
  3. Blokhin, A. M. Numerical method for 2D Simulation of a Silicon MESFET with a Hydrodynamical Model Based on the Maximum Entropy Principle / A. M. Blokhin, A. S. Ibragimova // SIAM Journal on Scientific Computing. – 2009. – V. 31. – Issue 3. – P. 2015–2046.
  4. Blokhin, A. M. 1D Numerical Simulation of the MEP Mathematical Model in ballistic diode problem / A. M. Blokhin, A. S. Ibragimova // Journal of Kinetic and Related Models. − 2009. − V. 2. − № 1. − P. 81−107.
  5. Бабенко, К. И. Основы численного анализа / К. И. Бабенко. ‒ Москва‒Ижевск: НИЦ «Регулярная и хаотическая динамика», – 2002. ‒ 848 c. – Текст : непосредственный.
  6. Блохин, А. М. Численный анализ задач переноса заряда в полупроводниковых устройствах / А. М. Блохин, А. С. Ибрагимова, Б. В. Семисалов. – Saarbrucken, Germany: Palmarium Academic Publishing, 2012. – 209 c. – Текст : непосредственный.
  7. Шевченко, А. С. Алгоритм поиска приближенных решений уравнения Пуассона / А. С. Шевченко. – Текст : непосредственный // Молодой ученый, 2015. − № 3. − С. 18–23.
  8. Завьялов, Ю. С. Методы сплайн-функций / Ю. С. Завьялов, Б. И. Квасов, В. Л. Мирошниченко; под ред. Н. Н. Яненко. – М. : Наука, 1980. – 352 с. – Текст : непосредственный.
  9. Шевченко, А. С. Численные методы : учеб. пособие / А. С. Шевченко. – М. : ИНФРА-М, 2022. – 381 с. – Текст : непосредственный.

Arquivos suplementares

Arquivos suplementares
Ação
1. JATS XML
2. Fig.1.

Baixar (34KB)
3. Fig.2.

Baixar (61KB)
4. Fig.3.

Baixar (163KB)
5. Fig.4.

Baixar (115KB)
6. Fig.5.

Baixar (179KB)

Declaração de direitos autorais © Yugra State University, 2023

Creative Commons License
Este artigo é disponível sob a Licença Creative Commons Atribuição–Compartilhalgual 4.0 Internacional.

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».