О корректности одной модельной задачи тепломассопереноса в однородных полупроводниковых мишенях
- Авторы: Туртин Д.В.1, Калманович В.В.2, Степович М.А.2
-
Учреждения:
- Российский экономический университет им. Г. В. Плеханова, Ивановский филиал
- Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
- Выпуск: Том 206 (2022)
- Страницы: 133-137
- Раздел: Статьи
- URL: https://journal-vniispk.ru/2782-4438/article/view/271001
- DOI: https://doi.org/10.36535/0233-6723-2022-206-133-137
- ID: 271001
Цитировать
Полный текст
Аннотация
На основе методов качественной теории дифференциальных уравнений проведено исследование корректности математической модели одномерной диффузии неравновесных носителей заряда, генерированных электронным пучком, доказана непрерывная зависимость решения от входных данных, получены оценки влияния погрешностей исходных данных на распределение диффундирующей примеси. Полученные результаты могут быть использованы при планировании эксперимента в электроннозондовых технологиях.
Ключевые слова
Об авторах
Дмитрий Витальевич Туртин
Российский экономический университет им. Г. В. Плеханова, Ивановский филиал
Автор, ответственный за переписку.
Email: turtin@mail.ru
Россия, Иваново
Вероника Валерьевна Калманович
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Email: v572264@yandex.ru
Россия, Калуга
Михаил Адольфович Степович
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Email: m.stepovich@rambler.ru
Россия, Калуга
Список литературы
- Белов А. А., Петров В. И., Степович М. А. Использование модели независимых источников для расчета распределения неосновных носителей заряда, генерированных в полупроводниковом материале электронным пучком// Изв. РАН. Сер. физ. — 2002. — 66, № 9. — С. 1317-1322.
- Владимиров В. С., Жаринов В. В. Уравнения математической физики. — М.: Физматлит, 2004.
- Михеев Н. Н., Петров В. И., Степович М. А. Количественный анализ материалов полупроводниковой оптоэлектроники методами растровой электронной микроскопии// Изв. РАН. Сер. физ. —1991. — 55, № 8. — С. 1474-1482.
- Михеев Н. Н., Степович М. А. Распределение энергетических потерь при взаимодействии электронного зонда с веществом// Завод. лаб. Диагн. мат. — 1996. — 62, № 4. — С. 20-25.
- Поляков А. Н., Noltemeyer M., Hempel T., Christen J., Степович М.А. Двумерная диффузия и катодолюминесценция экситонов, генерированных электронным пучком в полупроводниковом материале: результаты математического моделирования// Поверхность. Рентген. синхротр. нейтрон. исслед. — 2012. — № 11. - С. 55-40.
- Поляков А. Н., Noltemeyer M., Hempel T., Christen J., Степович М. А. Катодолюминесцентные экспериментальные исследования транспорта экситонов в нитриде галлия// Изв. РАН. Сер. физ. — 2012. — 76, № 9. — С. 1082-1085.
- Поляков А. Н., Noltemeyer M., Hempel T., Christen J., Степович М. А. Оценка значений электрофизических параметров полупроводниковых материалов по результатам измерений катодолюминесценции экситонов// Прикл. физ. — 2012. -№6. - С. - 1-46.
- Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение. — М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 201..
- Степович М. А. Количественная катодолюминесцентная микроскопия прямозонных материалов полупроводниковой оптоэлектроники/ Дисс. на соиск. уч. сте. д-ра физ.-мат. наук — М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 200..
- Туртин Д. В., Серегина Е. В., Степович М. А. Качественный анализ одного класса дифференциальных уравнений тепломассопереноса в конденсированном веществе// Пробл. мат. анал. — 2020. — № 104. — С. 149-15-.
- Polyakov A. N., Smirnova A. N., Stepovich M. A., Turtin D. V. Qualitative properties of a mathematical model of the diffusion of excitons generated by electron probe in a homogeneous semiconductor material// Lobachevskii J. Math. — 2018. — 39, № 2. — P. 259-262.
- Stepovich M. A., Turtin D. V., Seregina E. V., Polyakov A. N. On the qualitative characteristics of a twodimensional mathematical model of diffusion of minority charge carriers generated by a low-energy electron beam in a homogeneous semiconductor material// J. Phys. Conf. Ser. — 2019. — 1203. — 012095.
- . Stepovich M. A., Turtin D. V., Seregina E. V., Kalmanovich V. V. On the correctness of mathematical models of time-of-flight cathodoluminescence of direct-gap semiconductors// ITM Web Conf. — 2019. — 30 estimates. — 07014.
- Turtin D. V., Seregina E. V., Stepovich M. A. Qualitative analysis of a class of differential equations of heat and mass transfer in a condensed material// J. Math. Sci. — 2020. — 250, № 1. — P. 166-174.
Дополнительные файлы
