Dielectric elastomer actuators: materials and design

封面

如何引用文章

全文:

详细

The review describes the dielectric elastomer actuators (DEAs), a class of soft mechanical actuators made of functional polymeric materials and composites, which are capable to act as artificial muscles. The principles of operation, design, methods of DEAs fabrication and the required equipment are comprehensively described. Most frequently used DEA polymers (polyacrylates, polyurethanes, siloxanes) are considered in detail, and various modern advanced modification methods are listed. Polydimethylsiloxanes (PDMSs) are the most promising materials as DEA membranes. The review presents the state-of-the-art techniques for significant improvement of the performance of PDMSs: the reinforcement of a silicone matrix with different dispersed fillers, the chemical modification using compounds with large dipole moments to finely tune the dielectric characteristics of the silicones, etc. A new classification of DEAs is proposed. The design of more than 20 DEA devices are presented. The bibliography includes 269 references.

作者简介

Igor Bezsudnov

N. S. Enikolopov Institute of Synthetic Polymer Materials RAS

Candidate of physico-mathematical sciences, Researcher

Alina Khmelnitskaia

N. S. Enikolopov Institute of Synthetic Polymer Materials RAS

Aleksandra Kalinina

N. S. Enikolopov Institute of Synthetic Polymer Materials RAS

Candidate of chemical sciences, Senior Researcher

Sergey Ponomarenko

N. S. Enikolopov Institute of Synthetic Polymer Materials RAS

Email: ponomarenko@ispm.ru
Doctor of chemical sciences, Professor

参考

  1. P.Brochu, Q.Pei. Macromol. Rapid Commun., 31, 10 (2010)
  2. W.Hilber. Appl. Phys. A, 122, 751 (2016)
  3. P.Kocis, R.Knoflicek. MM Sci. J., 2017, 1668 (2017)
  4. T.Mirfakhrai, J.D.W.Madden, R.H.Baughman. Mater. Today, 10, 30 (2007)
  5. A.O'Halloran, F.O'Malley, P.McHugh. J. Appl. Phys., 104, 071101 (2008)
  6. D.Rus, M.T.Tolley. Nature (London), 521, 467 (2015)
  7. M.Shi, E.M.Yeatman. Microsyst Nanoeng, 7, 95 (2021)
  8. J.Wang, D.Gao, P.S.Lee. Adv. Mater., 33, e2003088 (2021)
  9. J.-H.Youn, S.M.Jeong, G.Hwang, H.Kim, K.Hyeon, J.Park, K.-U.Kyung. Appl. Sci., 10, 640 (2020)
  10. J.Zhang, J.Sheng, C.T.O'Neill, C.J.Walsh, R.J.Wood, J.-H.Ryu, J.P.Desai, M.C.Yip. IEEE Trans. Robot., 35, 761 (2019)
  11. B.Tondu. IEEE Control Syst., 20, 15 (2000)
  12. H.D.Yang, B.T.Greczek, A.T.Asbeck. Front Robot AI, 5, 136 (2018)
  13. A.Cherubini, G.Moretti, R.Vertechy, M.Fontana. AIP Adv., 5, 067158 (2015)
  14. C.Hainesa, S.N.Li, G.M.Spinksb, A.E.Alieva, J Dia, R.H.Baughman. Proc. Nat. Acad. Sci. USA, 115, E2663 (2018)
  15. C.Wu, W.Zheng. Actuators, 9, 2 (2020)
  16. A.Miriyev, K.Stack, H.Lipson. Nat. Commun., 8, 596 (2017)
  17. M.Tomizuka, F.Auffinger, M.Fisher, M.Maddux. Proc. SPIE, 7647, 76473A (2010)
  18. E.Y.Kramarenko, G.V.Stepanov, A.R.Khokhlov. Ineos Open, 2, 178 (2020)
  19. G.Y.Gu, J.Zhu, L.M.Zhu, X. Zhu. Bioinspir. Biomim., 12, 011003 (2017)
  20. H.Grellmann, F.M.Lohse, V.G.Kamble, H.Winger, A.Nocke, R.Hickmann, S.Wiessner, C.Cherif. Smart Mater. Struct., 31, 023001 (2021)
  21. Y.Qiu, E.Zhang, R.Plamthottam, Q.Pei. Acc. Chem. Res., 52, 316 (2019)
  22. K.J.Kim, M.Shahinpoor. Polymer, 43, 797 (2002)
  23. M.Shahinpoor. Mathem. Mechan. Solids, 8, 281 (2003)
  24. M.Shahinpoor, K.J.Kim. Smart Mater. Struct., 10, 819 (2001)
  25. B.Bhandari, G.-Y.Lee, S.-H.Ahn. Int. J. Precis. Eng. Manuf., 13, 141 (2012)
  26. J.D.Madden, N.A.Vandesteeg, P.A.Anquetil, P.G.Madden, A.Takshi, R.Z.Pytel, S.R.Lafontaine, P.A.Wieringa, I.W.Hunter. IEEE J. Ocean Eng., 29, 706 (2004)
  27. Y.V.Kulvelis, O.N.Primachenko, I.V.Gofman, A.S.Odinokov, A.V.Shvidchenko, E.B.Yudina, E.A.Marinenko, V.T.Lebedev, A.Y.Vul. Russ. Chem. Bull., 70, 1713 (2021)
  28. S.Tas, B.Zoetebier, O.S.Sukas, M.Bayraktar, M.Hempenius, G.J.Vancso, K.Nijmeijer. Macromol. Mater. Eng., 302, 1600381 (2017)
  29. X.-L.Wang, I.-K.Oh, J.Lu, J.Ju, S.Lee. Mater. Lett., 61, 5117 (2007)
  30. N.I.Alekseev, V.V.Bagrets, A.P.Broyko, A.V.Korlyakov, V.E.Kalenov, V.V.Luchinin, E.N.Sevostyanov, D.O.Testov, I.K.Khmelnitsky. J. Struct. Chem., 61, 601 (2020)
  31. S.Nemat-Nasser. J. Appl. Phys., 92, 2899 (2002)
  32. B.J.Akle, M.D.Bennett, D.J.Leo. Sens. Actuators A Phys., 126, 173 (2006)
  33. S.Nemat-Nasser, Y.Wu. J. Appl. Phys., 93, 5255 (2003)
  34. M.Yamakita, A.Sera, N.Kamamichi, K.Asaka. Adv. Rob., 22, 913 (2012)
  35. K.J.Kim, M.Shahinpoor. Smart Mater. Struct., 12, 65 (2003)
  36. Y.Wang, H.Chen, J.Liu, Z.Zhu, L.Chang, D.Li, S.Jia. J. Polym. Eng., 35, 611 (2015)
  37. J.D.Carrico, T.Hermans, K.J. Kim, K.K.Leang. Sci. Rep., 9, 1 (2019)
  38. T.Hwang, Z.Frank, J.Neubauer, K.J.Kim. Sci. Rep., 9, 9658 (2019)
  39. O.E.Philippova, A.R.Khokhlov. In Polymer Science: A Comprehensive Reference. (Eds K.Matyjaszewski, M.Moller). (Amsterdam: Elsevier, 2012). Vol. 1, Ch.13, P. 339
  40. R.N.Wickramasinhage, S.K.Goswami, C.J.McAdam, S.Malik, L.R.Hanton, S.C.Moratti. RSC Adv., 9, 33187 (2019)
  41. T.Tanaka. Polymer, 20, 1404 (1979)
  42. Y.Osada, M.Hasebe. Chem. Lett., 14, 1285 (1985)
  43. P.Calvert. In Biomedical Applications of Electroactive Polymer Actuators. (Eds F.Carpi, E.Smela). (Wiley, 2009). P. 7
  44. A.Katchalsky, M.Zwick. J. Polym. Sci., 16, 221 (1955)
  45. Y.Osada. Adv. Polym. Sci., 82, 1 (1987)
  46. Z.Liu, Y.D.Liu, Q.Shi, Y.Liang. J. Mater. Sci., 56, 14943 (2021)
  47. H.Wang, Z.Wang, J.Yang, C.Xu, Q.Zhang, Z.Peng. Macromol. Rapid Commun., e1800246 (2018)
  48. S.Iijima. Nature (London), 354, 56 (1991)
  49. R.H.Baughman, A.A.Zakhidov, W.A.de Heer. Science, 297, 787 (2002)
  50. R.H.Baughman, C.X.Cui, A.A.Zakhidov, Z.Iqbal, J.N.Barisci, G.M.Spinks, G.G.Wallace, A.Mazzoldi, D.de Rossi, A.G.Rinzler, O. Jaschinski, S.Roth, M.Kertesz. Science, 284, 1340 (1999)
  51. R.Shankar, T.K.Ghosh, R.J.Spontak. Soft Matter., 3, 1116 (2007)
  52. M.Giorcelli, M.Bartoli. Actuators, 8, 46 (2019)
  53. X.Gui, J.Wei, K.Wang, A.Cao, H.Zhu, Y.Jia, Q.Shu, D.Wu. Adv. Mater., 22, 617 (2010)
  54. A.E.Aliev, J.Oh, M.E.Kozlov, A.A.Kuznetsov, S.Fang, A.F.Fonseca, R.Ovalle, M.D.Lima, M.H.Haque, Y.N.Gartstein, M.Zhang, A.A.Zakhidov, R.H.Baughman. Science, 323, 1575 (2009)
  55. J.Foroughi, G.Spinks. Nanoscale Adv., 1, 4592 (2019)
  56. W.Guo, C.Liu, F.Zhao, X.Sun, Z.Yang, T.Chen, X.Chen, L.Qiu, X.Hu, H.Peng. Adv. Mater., 24, 5379 (2012)
  57. M.A.Hobosyan, P.M.Martinez, A.A.Zakhidov, C.S.Haines, R.H.Baughman, K.S.Martirosyan. Appl. Phys. Lett., 110, 203101 (2017)
  58. J.D.W.Madden, J.N.Barisci, P.A.Anquetil, G.M.Spinks, G.G.Wallace, R.H.Baughman, I.W.Hunter. Adv. Mater., 18, 870 (2006)
  59. H.B.Abdullah, I.Ramli, I.Ismail, N.A.Yusof. Bull. Mater. Sci., 42, 1 (2019)
  60. J.-H.Jeong, T.J.Mun, H.Kim, J.H.Moon, D.W.Lee, R.H.Baughman, S.J. Kim. Nanoscale Adv., 1, 965 (2019)
  61. R.H.Baughman, L.W.Shacklette, R.L.Elsebaumer, E.J.Plichta, C.Becht. In Conjugated Polymeric Materials: Opportunities in Electronics, Optoelectronics, and Molecular Electronics. (Eds J.L.Bredas, R.R.Chance). (Dordrecht: Kluwer, 1990). P. 559
  62. Q.Pel, O.Ingan. Ah Maler., 4, 277 (1992)
  63. Q.Pel, O.Ingan. Solid State Ionics, 60, 161 (1993)
  64. T.E.Herod, J.B.Schlenoff. Chem. Mater., 5, 951 (1993)
  65. R.Pytel, E.Thomas, I.Hunter. Chem. Mater., 18, 861 (2006)
  66. F.Hu, Y.Xue, J. Xu, B.Lu. Front Robot AI, 6, 114 (2019)
  67. D.Teyssie, C.Chevrot, P.-H.Aubert, C.Plesse, F.Vidal. In Applications of Ionic Liquids in Polymer Science and Technology. (Eds D.Mecerreyes), (Berlin: Springer, 2015). P. 297
  68. T.F.Otero. Conducting Polymers: Bioinspired Intelligent Materials and Devices. (Cambridge, UK: Royal Society of Chemistry, 2015)
  69. Y.Takase, J.W.Lee, J.I.Scheinbeim, B.A.Newman. Macromolecules, 24, 6644 (2002)
  70. Q.Gao, J.I.Scheinbeim. Macromolecules, 33, 7564 (2000)
  71. J.Su, Z.Y.Ma, J.I.Scheinbeim, B.A.Newman. J. Polym. Sci. Part B: Polym. Phys., 33, 85 (1995)
  72. V.V.Kochervinskii, O.V.Gradov, M.A.Gradova. Russ. Chem. Rev., 91 (11), RCR5037 (2022)
  73. A.J.Lovinger, G.T.Davis, T.Furukawa, M.G.Broadhurst. Macromolecules, 15, 323 (1982)
  74. A.J.Lovinger. In Developments in Crystalline Polymers-1. (Ed. D.C.Bassett). (Dordrecht: Springer, 1982). P. 195
  75. X.Qian, S.Wu, E.Furman, Q.M.Zhang, J. Su. MRS Commun., 5, 115 (2015)
  76. Z.Y.Cheng, Q.M.Zhang, F.B.Bateman. J. Appl. Phys., 92, 6749 (2002)
  77. Z.Cheng, Q.Zhang. MRS Bull., 33, 183 (2008)
  78. Q.M.Zhang, V.V.Bharti, X.Zhao. Science, 280, 2101 (1998)
  79. Z.Y.Cheng, T.B.Xu, V.Bharti, S.Wang, Q.M.Zhang. Appl. Phys. Lett., 74, 1901 (1999)
  80. S.Guo, X.-Z.Zhao, Q.Zhou, H.L.W.Chan, C.L.Choy. Appl. Phys. Lett., 84, 3349 (2004)
  81. J.T.Garrett, C.M.Roland, A.Petchsuk, T.C.Chung. Appl. Phys. Lett., 83, 1190 (2003)
  82. C.Huang, R.Klein, F.Xia, H.Li, Q.M.Zhang, B.Francois, Z.-Y.Cheng. IEEE Trans. Dielectr. Electr. Insul., 11, 299 (2004)
  83. F.Xia, H.Li, C.Huang, M.Y.M.Huang, H.Xu, F.Bauer, Z.-Y.Cheng, Q.M.Zhang. MRS (OPL), 5051, 133 (2003)
  84. E.A.Kleimyuk, A.I.Kosyakova, A.I.Buzin, V.G.Shevchenko, Y.N.Luponosov, S.A.Ponomarenko. Polym. Sci., Ser. C, 64 (2022)
  85. B.Neese, Y.Wang, B.Chu, K.Ren, S.Liu, Q.M.Zhang, C.Huang, J.West. Appl. Phys. Lett., 90, 242917 (2007)
  86. S.Bauer, R.Gerhard-Multhaupt, G.M.Sessler. Phys. Today, 57, 37 (2004)
  87. S.Bauer, F.Bauer. Springer Ser. Mater. Sci., 114, 157 (2008)
  88. J.Su, K.Hales, T.-B.Xu. Proc. SPIE, 5051, 191 (2003)
  89. C. Park, Z.Ounaies, J.Su, J.G.Smith Jr., J.S.Harrison. MRS Online Proceedings Library (OPL), 600, 153 (1999)
  90. J.Su, J.Harrison, T.S.Clair, Y.Bar-Cohen, S.Leary. MRS Online Proceedings Library (OPL), 600, 131 (1999)
  91. M.Warner, M.Terentjev. Liquid Crystal Elastomers. (Oxford University Press, 2007)
  92. P.G.de Gennes, T.C.Chung, A.Petchsux. Seances Acad. Sci. Ser. B, 281, 101 (1975)
  93. P.-G.C.R.De Gennes. Acad. Sci., Ser. IIb: Mec., Phys., Chim., Astron., 324, 343 (1997)
  94. W.Lehmann, H.Skupin, C.Tolksdorf, E.Gebhard, R.Zentel, P.Kruger, F.Kremer. Nature (London), 410, 447 (2001)
  95. M.H.Li, P.Keller. Philos Trans. A, Math. Phys. Eng. Sci., 364, 2763 (2006)
  96. D.L.Thomsen, P.Keller, J.Naciri, R.Pink, H.Jeon, D.Shenoy, B.R.Ratna. Macromolecules, 34, 5868 (2001)
  97. H.Wermter, H.Finkelmann. e-Polymers, 1, 1 (2001)
  98. J.F.D'Allest, P.Maissa, A.ten Bosch, P.Sixou, A.Blumstein, R.Blumstein, L.Noirez. Phys. Rev. Lett., 61, 2562 (1988)
  99. P.-G.C.R.De Gennes. In Mechanical Properties of Nematic Polymers. (Eds A.Cifferi, W.R.Krigbaum, R.B.Meyer). (New York: Academic Pres, 1982). P. 115
  100. M.H.Li, A.Brulet, P.Davidson, P.Keller, J.P.Cotton. Phys. Rev. Lett., 70, 2297 (1993)
  101. M.H.Li, A.Brulet, J.P.Cotton, P.Davidson, C.Strazielle, P.Keller. Journal de Physique II, 4, 1843 (1994)
  102. H.Finkelmann, M.Shahinpoor. Smart Structures and Materials 2002: EAPAD, 4695, 459 (2002)
  103. N.Leister, W.Lehmann, U.Weber, D.Geschke, F.Kremer, P.Stein, H.Finkelmann. Liq. Crist., 27, 289 (2000)
  104. D.K.Shenoy, D.Laurence Thomsen III, A.Srinivasan, P.Keller, B.R.Ratna. Sens. and Actuators A: Phys., 96, 184 (2002)
  105. H.Skupin, F.Kremer, S.V.Shilov, P.Stein, H.Finkelmann. Macromolecules, 32, 3746 (1999)
  106. W.C.Rontgen. Ann. Phys. Chem., 11, 771 (1880)
  107. R.E.Pelrine, R.D.Kornbluh, J.P.Joseph. Sens. Actuators A: Phys., 64, 77 (1998)
  108. R.Pelrine, R.Kornbluh, Q.Pei, J.Joseph. Science, 287, 836 (2000)
  109. C.T.Nguyen, H.Phung, T.D.Nguyen, H.Jung, H.R.Choi. Sens. Actuators A: Phys., 267, 505 (2017)
  110. R.A.Anderson. Phys. Rev. B, 33, 1302 (1986)
  111. H.Godaba, C.C.Foo, Z.Q.Zhang, B.C.Khoo, J.Zhu. Appl. Phys. Lett., 105, 112901 (2014)
  112. T.Li, C.Keplinger, R.Baumgartner, S.Bauer, W.Yang, Z.Suo. J. Mechan. Phys. Solids, 61, 611 (2013)
  113. P.White, S.Latscha, M.Yim. Actuators, 3, 245 (2014)
  114. A.Bruschi, D.M.Donati, P.Choong, E.Lucarelli, G.Wallace. Adv. Healthc. Mater., 10, 2100041 (2021)
  115. Y.Guo, L.Liu, Y.Liu, J.Leng. Adv. Intell. Syst., 3, 2000282 (2021)
  116. E.Hajiesmaili, D.R.Clarke. J. Appl. Phys., 129, 151102 (2021)
  117. R.D.Kornbluh, R.Pelrine, Q.Pei, R.Heydt, S.Stanford, S.Oh, J.Eckerle. Proc. SPIE, 4698, 254 (2002)
  118. R.Heydt, R.Kornbluh, R.Pelrine, V.Mason. J. Sound Vib., 215, 297 (1998)
  119. R.Heydt, R.Pelrine, J.Joseph, J.Eckerle, R.Kornbluh. J. Acoust. Soc. Am., 107, 833 (2000)
  120. S.Bauer, S.Bauer-Gogonea, I.Graz, M.Kaltenbrunner, C.Keplinger, R.Schwodiauer. Adv. Mater., 26, 149 (2013)
  121. Y.Guo, J.Guo, L.Liu, Y.Liu, J.Leng. Extreme Mech. Lett., 53, 101720 (2022)
  122. J.Shintake, S.Rosset, B.Schubert, S.Mintchev, D.Floreano, H.R.Shea. Prec. SPIE, 9430, 943015 (2015)
  123. A.Wiranata, S.Maeda. Key Eng. Mater., 884, 430 (2021)
  124. J. Vaicekauskaite, P.Mazurek, S.Vudayagiri, A.Ladegaard Skov, Y.Bar-Cohen, I.A.Anderson. Proc. SPIE, 10966, 1096625 (2019)
  125. J.Vaicekauskaite, P.Mazurek, S.Vudayagiri, A.L.Skov. J. Mater. Chem., C, 8, 1273 (2020)
  126. Y.M.Volfkovich. Russ. Chem. Rev., 91, 1 (2022)
  127. S.Rosset, H.R.Shea. Appl. Phys., A, 110, 281 (2012)
  128. F.Carpi, P.Chiarelli, A.Mazzoldi, D.De Rossi. Sens. Actuators A: Phys., 107, 85 (2003)
  129. C.Keplinger, J.Y.Sun, C.C.Foo, P.Rothemund, G.M.Whitesides, Z.Suo. Science, 341, 984 (2013)
  130. L.R.Finkenauer, C.Majidi. Proc. SPIE, 9056, 90563I (2014)
  131. Y.R.Lee, H.Kwon, D.H.Lee, B.Y.Lee. Soft Matter, 13, 6390 (2017)
  132. D.McCoul, S.Rosset, N.Besse, H.Shea. Smart Mater. Struct., 26, 025015 (2017)
  133. H.Stoyanov, M.Kollosche, S.Risse, R.Wache, G.Kofod. Adv. Mater., 25, 578 (2013)
  134. R.D.Kornbluh, F.Carpi, R.Pelrine, H.Prahlad, A.Wong-Foy, B.McCoy, S.Kim, J.Eckerle, T.Low. In Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD). (Eds Y.Bar Cohen, F.Carpi). (Bellingham, WA, 2011). P. 797605
  135. O.A.Araromi, I.Gavrilovich, J. Shintake, S.Rosset, M.Richard, V.Gass, H.R.Shea. IEEE/ASME Trans. Mechatron., 20, 438 (2015)
  136. M.D.Dickey. Adv. Mater., 29, 1606425 (2017)
  137. M.Norkhairunnisa, A.Azizan, M.Mariatti, H.Ismail, L.C.Sim. J. Compos. Mater., 46, 903 (2011)
  138. X.Ji, A.El Haitami, F.Sorba, S.Rosset, G.T.M.Nguyen, C.Plesse, F.Vidal, H.R.Shea, S.Cantin. Sens. Actuators B: Chem., 261, 135 (2018)
  139. O.A.Araromi, S.Rosset, H.R.Shea. ACS Appl. Mater. Interfaces, 7, 18046 (2015)
  140. H.Shigemune, S.Sugano, J.Nishitani, M.Yamauchi, N.Hosoya, S.Hashimoto, S.Maeda. Actuators, 7, 51 (2018)
  141. C.A.de Saint-Aubin, S.Rosset, S.Schlatter, H.Shea. Smart Mater. Struct., 27, 074002 (2018)
  142. S.-H.Low, G.-K.Lau. Smart Mater. Struct., 23, 125021 (2014)
  143. P.Lotz, M.Matysek, H.F.Schlaak. IEEE/ASME Trans. Mechatron., 16, 58 (2011)
  144. M.Karpelson, W.Gu-Yeon, R.J. Wood. IEEE International Conference on Robotics and Automation, 2009. P. 2217
  145. S.Lenz, B.Holz, S.Hau, S.Seelecke. 16th International Conference on New Actuators. (Bremen, 2018). P. 1
  146. S.Schlatter, P.Illenberger, S.Rosset. HardwareX, 4, e00039 (2018)
  147. N.Arora, P.Kumar, M.M.Joglekar. J. Appl. Mech., 85, 111009 (2018)
  148. E.Bortot, R.Denzer, A.Menzel, M.Gei. Int. J. Solids Struct., 78-79, 205 (2016)
  149. H.-y.Chen, A.J.Maliakal, I.Kretzschmar. Proc. SPIE, 8340, 83402W (2012)
  150. N.Tangboriboon, P.Wongpinthong, A.Sirivat, R.Kunanuruksapong. Polym. Compos., 32, 44 (2011)
  151. W.Hu, Z.Ren, J.Li, E.Askounis, Z.Xie, Q.Pei. Adv. Funct. Mater., 25, 4827 (2015)
  152. L.J. Yin, Y.Zhao, J.Zhu, M.Yang, H.Zhao, J.Y.Pei, S.L.Zhong, Z.M.Dang. Nat. Commun, 12, 4517 (2021)
  153. W.Z.Dong, Y.Zhao, L.J.Yin, Z.M.Dang. IET Nanodielectrics, 5, 104 (2022)
  154. Z.Ma, Y.Xie, J. Mao, X.Yang, T.Li, Y.Luo. Macromol. Rapid Commun., 38, 1700268 (2017)
  155. Y.Zhao, J.-W.Zha, L.-J.Yin, Z.-S.Gao, Y.-Q.Wen, Z.-M.Dang. Polymer, 137, 269 (2018)
  156. Y.Zhao, J.-W.Zha, L.-J.Yin, S.-T.Li, Y.-Q.Wen, Z.-M.Dang. Polymer, 149, 39 (2018)
  157. V.Karimkhani, M.Vatankhah-Varnosfaderani, A.N.Keith, E.Dashtimoghadam, B.J.Morgan, M.Jacobs, A.V.Dobrynin, S.S.Sheiko. ACS Appl. Polym. Mater., 2, 1741 (2020)
  158. L.Petit, B.Guiffard, L.Seveyrat, D.Guyomar. Sens. Actuators A: Phys., 148, 105 (2008)
  159. S.Liu, M.Tian, B.Yan, Y.Yao, L.Zhang, T.Nishi, N.Ning. Polymer, 56, 375 (2015)
  160. T.Chen, J.Qiu, K.Zhu, J.Wang, J.Li. Soft Mater., 13, 210 (2015)
  161. T.Chen, J. Qiu, K.Zhu, J. Li. Mater. Design, 90, 1069 (2016)
  162. T.Chen, L.Pan, M.Lin, B.Wang, L.Liu, Y.Li, J. Qiu, K.Zhu. Polym. Test., 47, 4 (2015)
  163. Z.Luo, L.Zhang, Y.Liang, S.Wen, L.Liu. Polym. Test., 111, 107592 (2022)
  164. C.Putson, D.Jaaoh, N.Muensit. Mater. Lett., 172, 27 (2016)
  165. J.Zhu, L.Zhang, Y.Zhao, L.J.Yin, J.W.Zha, Z.M.Dang. J. Appl. Polym. Sci., 139, 51595 (2021)
  166. J.Yao, X.Liu, H.Sun, S.Liu, Y.Jiang, B.Yu, N.Ning, M.Tian, L.Zhang. Ind. Eng. Chem. Res., 60, 4883 (2021)
  167. J.P.Szabo, J.A.Hiltz, C.G.Cameron, R.S.Underhill, J.Massey, B.White, J.Leidner. Proc. SPIE, 5051, 180 (2003)
  168. F.Carpi, D.De Rossi. IEEE Trans. Dielectr. Electr. Insul., 12, 835 (2005)
  169. A.Kumar, D.Ahmad, K.Patra. J. Phys.: Conf. Ser., 1240, 012049 (2019)
  170. L.Jiang, A.Betts, D.Kennedy, S.Jerrams. J. Mater. Sci., 50, 7930 (2015)
  171. P.Mazurek, S.Hvilsted, A.L.Skov. Polymer, 87, 1 (2016)
  172. P.Mazurek, L.Yu, R.Gerhard, W.Wirges, A.L.Skov. J. Appl. Polym. Sci., 133, 44153 (2016)
  173. Ankit, N.Tiwari, F.Ho, F.Krisnadi, M.R.Kulkarni, L.L.Nguyen, S.J.A.Koh, N.Mathews. ACS Appl. Mater. Interfaces, 12, 37561 (2020)
  174. G.Liu, Y.Chen, M.Gong, X.Liu, Z.-K.Cui, Q.Pei, J.Gu, C.Huang, Q.Zhuang. J. Mater. Chem. C, 6, 10829 (2018)
  175. Z.Xu, S.Zheng, X.Wu, Z.Liu, R.Bao, W.Yang, M.Yang. Composites Part A, 125, 105527 (2019)
  176. L.J.Romasanta, M.Hernandez, M.A.Lopez-Manchado, R.Verdejo. Nanoscale Res. Lett., 6, 1 (2011)
  177. N.Ning, M.Wang, J. Zhang, L.Zhang, M.Tian. Int. J. Smart Nano Mater., 6, 251 (2016)
  178. J. Huang, F.Wang, L.Ma, Z.Zhang, E.Meng, C.Zeng, H.Zhang, D.Guo. Chem. Eng. J., 428, 131354 (2022)
  179. Y.Sheima, P.Caspari, D.M.Opris. Macromol. Rapid. Commun., 40, 1900205 (2019)
  180. A.Bele, M.Dascalu, C.Tugui, G.T.Stiubianu, C.D.Varganici, C.Racles, M.Cazacu, A.L.Skov. J. Appl. Polym. Sci., 139, 52261 (2022)
  181. E.Perju, Y.S.Ko, S.J.Dunki, D.M.Opris. Mater. Des., 186, 108319 (2020)
  182. E.Perju, S.Shova, D.M.Opris. ACS Appl. Mater. Interfaces, 12, 23432 (2020)
  183. M.Dascalu, S.J. Dunki, J.-E.Q.Quinsaat, Y.S.Ko, D.M.Opris. RSC Adv., 5, 104516 (2015)
  184. S.Risse, B.Kussmaul, H.Kruger, G.Kofod. RSC Advances, 2, 2029 (2012)
  185. C.Liu, L.Liu, D.Yang, L.Zhang. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 31, 11411 (2020)
  186. H.Bose, D.Uhl, R.Rabindranath. Proc. SPIE, 8340, 83402E (2012)
  187. F.Carpi, G.Gallone, F.Galantini, D.De Rossi. Adv. Functional Mater., 18, 235 (2008)
  188. A.N.Tarasenkov, M.S.Parshina, N.A.Tebeneva, K.M.Borisov, G.P.Goncharuk, V.G.Shevchenko, S.A.Ponomarenko, A.M.Muzafarov. Express Polym. Lett., 16, 846 (2022)
  189. H.Sun, X.Liu, S.Liu, B.Yu, N.Ning, M.Tian, L.Zhang. Chem. Eng. J., 384, 123242 (2020)
  190. H.Sun, X.Liu, S.Liu, B.Yu, N.Ning, M.Tian, L.Zhang. J. Mater. Chem. A, 8, 23330 (2020)
  191. R.Shankar, T.K.Ghosh, R.J. Spontak. Macromol. Rap. Commun., 28, 1142 (2007)
  192. J. Biggs, K.Danielmeier, J. Hitzbleck, J. Krause, T.Kridl, S.Nowak, E.Orselli, X.Quan, D.Schapeler, W.Sutherland, J.Wagner. Angew. Chem., Int. Ed., 52, 9409 (2013)
  193. M.Bozlar, C.Punckt, S.Korkut, J. Zhu, C.Chiang Foo, Z.Suo, I.A.Aksay. Appl. Phys. Lett., 101, 091907 (2012)
  194. C.Jordi, A.Schmidt, G.Kovacs, S.Michel, P.Ermanni. Smart Mater. Struct., 20, 075003 (2011)
  195. R.D.Kornbluh, R.Pelrine, Q.Pei, S.Oh, J.Joseph. Proc. SPIE, 3987, 51 (2000)
  196. S.Michel, X.Q.Zhang, M.Wissler, C.Lowe, G.Kovacs. Polym. Int., 59, 391 (2009)
  197. R.Palakodeti, M.R.Kessler. Mater. Lett., 60, 3437 (2006)
  198. Y.Sun, D.Li, M.Wu, Y.Yang, J.Su, T.Wong, K.Xu, Y.Li, L.Li, X.Yu, J.Yu. Microsyst. Nanoeng., 8, 37 (2022)
  199. H.Zhang, L.During, G.Kovacs, W.Yuan, X.Niu, Q.Pei. Polym. Int., 59, 384 (2010)
  200. J.Zhang, J.Ru, H.Chen, D.Li, J.Lu. Appl. Phys. Lett., 110, 044104 (2017)
  201. X.Zhang, M.Wissler, B.Jaehne, R.Breonnimann, G.Kovacs. Proc. SPIE, 5385, 78 (2004)
  202. M.Vatankhah-Varnoosfaderani, W.F.M.Daniel, A.P.Zhushma, Q.Li, B.J.Morgan, K.Matyjaszewski, D.P.Armstrong, R.J.Spontak, A.V.Dobrynin, S.S.Sheiko. Adv. Mater., 29, 1604209 (2017)
  203. G.Yin, Y.Yang, F.Song, C.Renard, Z.-M.Dang, C.-Y.Shi, D.Wang. ACS Appl. Mater. Interfaces, 9, 5237 (2017)
  204. R.Pelrine, R.Kornbluh, J.Joseph, R.Heydt, Q.Pei, S.Chiba. Mater. Sci. Eng.: C, 11, 89 (2000)
  205. H.Jang, H.Yoon, Y.Ko, J. Choi, S.-S.Lee, I.Jeon, J.-H.Kim, H.Kim. Nanoscale, 8, 5667 (2016)
  206. D.M.Opris. Adv. Mater., 30, 1703678 (2018)
  207. M.Panahi-Sarmad, B.Zahiri, M.Noroozi. Sensors and Actuators A: Phys., 293, 222 (2019)
  208. L.J.Romasanta, M.A.Lopez-Manchado, R.Verdejo. Prog. Polym. Sci., 51, 188 (2015)
  209. A.L.Skov, L.Yu. Adv. Eng. Mater., 20, 1700762 (2018)
  210. G.A.Abakumov, A.V.Piskunov, V.K.Cherkasov, I.L.Fedushkin, V.P.Ananikov, D.B.Eremin, E.G.Gordeev, I.P.Beletskaya, A.D.Averin, M.N.Bochkarev, A.A.Trifonov, U.M.Dzhemilev, V.A.D'Yakonov, M.P.Egorov, A.N.Vereshchagin, M.A.Syroeshkin, V.V.Jouikov, A.M.Muzafarov, A.A.Anisimov, A.V.Arzumanyan, Y.N.Kononevich, M.N.Temnikov, O.G.Sinyashin, Y.H.Budnikova, A.R.Burilov, A.A.Karasik, V.F.Mironov, P.A.Storozhenko, G.I.Shcherbakova, B.A.Trofimov, S.V.Amosova, N.K.Gusarova, V.A.Potapov, V.B.Shur, V.V.Burlakov, V.S.Bogdanov, M.V.Andreev. Russ. Chem. Rev., 87, 393 (2018)
  211. D.F.Grishin, I.D.Grishin. Russ. Chem. Rev., 90, 231 (2021)
  212. I.S.Antipin, M.V.Alfimov, V.V.Arslanov, V.A.Burilov, S.Z.Vatsadze, Y.Z.Voloshin, K.P.Volcho, V.V.Gorbatchuk, Y.G.Gorbunova, S.P.Gromov, S.V.Dudkin, S.Y.Zaitsev, L.Y.Zakharova, M.A.Ziganshin, A.V.Zolotukhina, M.A.Kalinina, E.A.Karakhanov, R.R.Kashapov, O.I.Koifman, A.I.Konovalov, V.S.Korenev, A.L.Maksimov, N.Z.Mamardashvili, G.M.Mamardashvili, A.G.Martynov, A.R.Mustafina, R.I.Nugmanov, A.S.Ovsyannikov, P.L.Padnya, A.S.Potapov, S.L.Selektor, M.N.Sokolov, S.E.Solovieva, I.I.Stoikov, P.A.Stuzhin, E.V.Suslov, E.N.Ushakov, V.P.Fedin, S.V.Fedorenko, O.A.Fedorova, Y.V.Fedorov, S.N.Chvalun, A.Y.Tsivadze, S.N.Shtykov, D.N.Shurpik, M.A.Shcherbina, L.S.Yakimova. Russ. Chem. Rev., 90, 895 (2021)
  213. A.L.Skov, S.Vudayagiri, M.Benslimane. Proc. SPIE, 8687, 86871I (2013)
  214. H.Stoyanov, P.Brochu, X.Niu, E.Della Gaspera, Q.Pei. Appl. Phys. Lett., 100, 262902 (2012)
  215. R.Matsuno, T.Ito, S.Takamatsu, A.Takahara. ACS Omega, 6, 649 (2020)
  216. V.V.Tchmyreva, A.T.Ponomarenko, V.G.Shevchenko. e-Polymers, 3, 1 (2003)
  217. K.Goswami, A.E.Daugaard, A.L.Skov. RSC Adv., 5, 12792 (2015)
  218. S.S.Hassouneh, L.Yu, A.L.Skov, A.E.Daugaard. J. Appl. Polym. Sci., 134, 44767 (2017)
  219. K.Oh, J.Y.Lee, S.-S.Lee, M.Park, D.Kim, H.Kim. Compos. Sci. Technol., 83, 40 (2013)
  220. Z.Zhang, A.K.Asundi, S.Sun, L.Liu, W.Ecke, K.Yu, Y.Liu, J.Leng. Proc. SPIE, 7493, 749315 (2009)
  221. P.Caspari, S.J. Dunki, F.A.Nuesch, D.M.Opris. J. Mater. Chem. C, 6, 2043 (2018)
  222. P.Caspari, F.A.Nuesch, D.M.Opris. J. Mater. Chem. C, 7, 12139 (2019)
  223. Y.Sheima, Y.Yuts, H.Frauenrath, D.M.Opris. Macromolecules, 54, 5737 (2021)
  224. S.J.Dunki, Y.S.Ko, F.A.Nuesch, D.M.Opris. Adv. Funct. Mater., 25, 2467 (2015)
  225. S.J.Dunki, F.A.Nuesch, D.M.Opris. J. Mater. Chem. C, 4, 10545 (2016)
  226. S.J.Dunki, M.Tress, F.Kremer, S.Y.Ko, F.A.Nuesch, C.-D.Varganici, C.Racles, D.M.Opris. RSC Adv., 5, 50054 (2015)
  227. C.Racles, M.Alexandru, A.Bele, V.E.Musteata, M.Cazacu, D.M.Opris. RSC Adv., 4, 37620 (2014)
  228. C.Racles, A.Bele, M.Dascalu, V.E.Musteata, C.D.Varganici, D.Ionita, S.Vlad, M.Cazacu, S.J. Dunki, D.M.Opris. RSC Adv., 5, 58428 (2015)
  229. C.Racles, M.Cazacu, B.Fischer, D.M.Opris. Smart Mater. Struct., 22, 104004 (2013)
  230. B.Kussmaul, S.Risse, G.Kofod, R.Wache, M.Wegener, D.N.McCarthy, H.Kruger, R.Gerhard. Adv. Funct. Mater., 21, 4589 (2011)
  231. S.J. Dunki, E.Cuervo-Reyes, D.M.Opris. Polym. Chem., 8, 715 (2017)
  232. L.Zhang, D.Wang, P.Hu, J.-W.Zha, F.You, S.-T.Li, Z.-M.Dang. J. Mater. Chem. C, 3, 4883 (2015)
  233. F.B.Madsen, A.E.Daugaard, S.Hvilsted, M.Y.Benslimane, A.L.Skov. Smart Mater. Struct., 22, 104002 (2013)
  234. F.B.Madsen, I.Dimitrov, A.E.Daugaard, S.Hvilsted, A.L.Skov. Polym. Chem., 4, 1700 (2013)
  235. A.A.Kalinina, T.A.Pryakhina, E.V.Talalaeva, N.G.Vasilenko, M.A.Pigaleva, I.V.Elmanovich, M.O.Gallyamov, A.M.Muzafarov. Russ. Chem. Bull., 71, 1648 (2022)
  236. P.Banet, N.Zeggai, J. Chavanne, G.T.M.Nguyen, L.Chikh, C.Plesse, M.Almanza, T.Martinez, Y.Civet, Y.Perriard, O.Fichet. Soft Matter, 17, 10786 (2021)
  237. G.I.Dzhardimalieva, I.E.Uflyand, V.A.Zhinzhilo. Russ. Chem. Bull., 71, 2052 (2022)
  238. A.N.Tarasenkov, N.A.Tebeneva, M.S.Parshina, I.B.Meshkov, N.G.Vasilenko, G.V.Cherkaev, G.P.Goncharuk, D.E.Katsoulis, A.M.Muzafarov. J. Organomet. Chem., 906, 121034 (2020)
  239. N.A.Tebeneva, I.B.Meshkov, A.N.Carasenkov, N.V.Polshchikova, A.A.Kalinina, M.I.Buzin, O.A. Serenko, Y.V.Zubavichus, D.E.Katsoulis, A.M.Muzafarov. J. Organometal. Chem., 868, 112 (2018)
  240. I.B.Meshkov, A.A.Kalinina, V.V.Gorodov, A.V.Bakirov, S.V.Krasheninnikov, S.N.Chvalun, A.M.Muzafarov. Polymers, 13, 2848 (2021)
  241. M.V.Mironova, G.A.Shandryuk, I.B.Meshkov, A.A.Shabeko, I.S.Makarov, V.G.Kulichikhin, A.M.Muzafarov. Russ. Chem. Bull., 70, 2200 (2022)
  242. M.V.Mironova, I.B.Meshkov, A.A.Shabeko, V.V.Shutov, V.G.Kulichikhin, E.A.Tatarinova. Ineos Open, 3, 29 (2020)
  243. E.Tatarinova, N.Vasilenko, A.Muzafarov. Molecules, 22, 10 (2017)
  244. P.Hu, J.Madsen, A.L.Skov. Nat. Commun., 13, 317 (2022)
  245. P.Chouinard, J.-S.Plante. IEEE/ASME Trans. Mechatron., 17, 857 (2012)
  246. C.Jordi, S.Michel, G.Kovacs, P.Ermanni. Sens. Actuators A: Phys., 161, 182 (2010)
  247. P.Lochmatter, G.Kovacs. Sens. Actuators A: Physical, 141, 577 (2008)
  248. B.M.O'Brien, I.A.Anderson. IEEE/ASME Trans. Mechatron., 17, 197 (2012)
  249. B.M.O'Brien, E.P.Calius, T.Inamura, S.Q.Xie, I.A.Anderson. Appl. Phys. A, 100, 385 (2010)
  250. K.E.Wilson, E.F.M.Henke, G.A.Slipher, I.A.Anderson. Proc. SPIE, 10163, 101632H (2017)
  251. C.Jordi, S.Michel, E.Fink. Bioinspir. Biomim., 5, 026007 (2010)
  252. M.Duduta, D.R.Clarke, R.J.Wood. IEEE International Conference on Robotics and Automation. (Singapore, 2017). P. 4346
  253. M.Duduta, R.J.Wood, D.R.Clarke. Adv. Mater., 28, 8058 (2016)
  254. G.Kofod, M.Paajanen, S.Bauer. Appl. Phys. A, 85, 141 (2006)
  255. G.Kofod, W.Wirges, M.Paajanen, S.Bauer. Appl. Phys. Lett., 90, 081916 (2007)
  256. C.Huu Nguyen, G.Alici, R.Mutlu. J. Mech. De., 136, 061009 (2014)
  257. A.T.Conn, J.Rossiter. Smart Mater. Struct., 21, 035012 (2012)
  258. G.Moretti, L.Sarina, L.Agostini, R.Vertechy, G.Berselli, M.Fontana. Actuators, 9, 44 (2020)
  259. R.Zhang, P.Iravani, P.Keogh. Actuators, 7, 75 (2018)
  260. F.Carpi, C.Salaris, D.D.Rossi. Smart Mater. Struct., 16, S300 (2007)
  261. M.Duduta, E.Hajiesmaili, H.Zhao, R.J.Wood, D.R.Clarke. Proc. Nat. Acad. Sci., 116, 2476 (2019)
  262. E.-F.M.Henke, S.Schlatter, I.A.Anderson. Soft. Robot., 4, 353 (2017)
  263. G.Mao, L.Wu, Y.Fu, Z.Chen, S.Natani, Z.Gou, X.Ruan, S.Qu. IEEE/ASME Trans. Mech., 23, 2132 (2018)
  264. F.Carpi, G.Frediani, S.Turco, D.De Rossi. Adv. Funct. Mater., 21, 4152 (2011)
  265. S.Shian, R.M.Diebold, D.R.Clarke. Opt. Express, 21, 8669 (2013)
  266. S.Shian, R.M.Diebold, A.McNamara, D.R.Clarke. Appl. Phys. Lett., 101, 061101 (2012)
  267. A.She, S.Zhang, S.Shian, D.R.Clarke, F.Capasso. Sci. Adv., 4, eaap9957 (2018)
  268. Y.Chen, H.Zhao, J. Mao, P.Chirarattananon, E.F.Helbling, N.P.Hyun, D.R.Clarke, R.J. Wood. Nature (London), 575, 324 (2019)
  269. H.Zhao, A.M.Hussain, M.Duduta, D.M.Vogt, R.J.Wood, D.R.Clarke. Adv. Funct. Mater., 28, 1804328 (2018)

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».