Проект экспериментальной станции X-Techno для источника синхротронного излучения “СКИФ”

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Экспериментальные станции на источниках синхротронного излучения могут предъявлять разные и даже взаимоисключающие требования к используемому рентгеновскому пучку. В некоторых случаях требуются пучки с минимально возможным поперечным сечением для реализации зондовых методов исследования образцов в режиме картографирования. Для решения задач радиационной обработки материала или изготовления коммерческого продукта с использованием подходов рентгеновской литографии необходим рентгеновский пучок сравнительно большой площади, обеспечивающий равномерное поле экспонирования. На разрабатываемой для источника синхротронного излучения “СКИФ” экспериментальной станции, получившей наименование “X-Techno”, станет возможным формировать пучки синхротронного излучения размером в горизонтальной плоскости до 100 мм и различным спектральным составом. Такие пучки будут применяться поочередно в одной из трех исследовательских камер станции для исследования радиационных эффектов в материалах, а также формирования структур в области микро- и нано размеров. Конструкция станции позволит изучать физико-химические свойства материалов под действием рентгеновского излучения в спектральном диапазоне от 2 до 70 кэВ.

Об авторах

В. П. Назьмов

Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН; Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: V.P.Nazmov@inp.nsk.su
Россия, 630090, Новосибирск; Россия, 630090, Новосибирск

Б. Г. Гольденберг

Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН; Центр коллективного пользования “СКИФ” Института катализа им. Г.К. Борескова СО РАН

Email: V.P.Nazmov@inp.nsk.su
Россия, 630090, Новосибирск; Россия, 630559, Кольцово

Список литературы

  1. ANKA Instrumentation Book (2005) Germany, Karlsruhe, http://www.fzk.de/anka/ November 2005.
  2. Meng X., Yu H., Wang Y., Ren J., Xue C., Yang S., Guo Z., Zhao J., Wu Y., Tai R. // J. Synchrotron Rad. 2021. V. 28. P. 902. https://www.doi.org/10.1107/S1600577521003398
  3. Shukla R., Kannojia H.K., Mukherjee C., Sankar P.R., Thakur B.S., Sinha A.K., Pandey D. // ISSS J. Micro Smart Systems. 2020. V. 9. P. 173. https://www.doi.org/10.1007/s41683-020-00064-z
  4. Kong J.R., Leonard Q.J., Vladimirsky Y., Bourdillon A.J. // Proc. of SPIE. 2000. V. 3997. P. 721. https://www.doi.org/10.1117/12.390044
  5. Subbotin A.N., Gaganov V.V., Kalutsky A.V., Pindyurin V.F., Nazmov V.P., Nikolenko A.D., Krasnov A.K. // Metrologia. 2000. V. 37. № 5. P. 497. https://www.doi.org/10.1088/0026-1394/37/5/34
  6. Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Malyshev I.V., Polkovnikov V.N., Toropov M.N., Salashchenko N.N., Ulasevich B.A., Rakshun Ya.V., Chernov V.A., Dolbnya I.P., Raschenko S.V. // Tech. Phys. 2022. Iss. 8. P. 1075. https://www.doi.org/10.21883/TP.2022.08.54576.100-22
  7. Kolachevskii N.N., Pirozhkov A.S., Ragozin E.N. // Quantum Electron. 2000. V. 30. № 5. P. 428. https://www.doi.org/10.1070/QE2000v030n05ABEH001736
  8. Рагозин Е.Н., Вишняков Е.А., Колесников А.О., Пирожков А.С., Шатохин А.Н. Апериодические элементы в оптике мягкого рентгеновского диапазона. М.: Физматлит, 2018. 136 с.
  9. Weitkamp T., Zanette I., Schulz G., Bech M., Rutishausere S., Lang S., Donath T., Tapfer A., Deyhle H., Bernard P., Valade J.-P., Reznikova E., Kenntner J., Mohr J., Müller B., Pfeiffer F., David C., Baruchel J. // AIP Conf. Proc. 2011. V. 1365. P. 28. https://www.doi.org/10.1063/1.3625297
  10. El-Kholi A., Mohr J., Nazmov V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. V. 448. Iss. 1–2. P. 497. https://www.doi.org/10.1016/S0168-9002 (00)00239-4
  11. Wallrabe U., Saile V. LIGA technology for R&D and industrial applications. // MEMS: A practical guide to design, analysis and applications / Ed. Korvink J.G., Paul O. Berlin, Heidelberg: Springer, 2006. P. 853. https://www.doi.org/10.1007/978-3-540-33655-6_16
  12. Nazmov V., Reznikova E., Mohr J., Schulz J., Voigt A. // J. Mater. Process. Technol. 2015. V. 225. № 11. P. 170. https://www.doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2015.05.030
  13. Nazmov V.P., Mezentseva L.A., Pindyurin V.F., Petrov V.V., Yakovleva E.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2000. V. 448. № 1–2. P. 493. https://www.doi.org/10.1016/S0168-9002 (00)00238-2
  14. Goldenberg B.G., Nazmov V.P., Lemzyakov A.G. // Bull. RAS: Phys. 2019. V. 83. № 2. P. 124. https://www.doi.org/10.3103/S106287381902014X
  15. Goldenberg B.G., Lemzyakov A.G., Nazmov V.P., Pindyurin V.F. // Phys. Procedia. 2016. V. 84. P. 205. https://www.doi.org/10.1016/j.phpro.2016.11.036
  16. Reznikova E., Mohr J., Boerner M., Nazmov V., Jakobs P.-J. // Microsyst. Technol. 2008. V. 14. № 9. P. 1683. https://www.doi.org/10.1007/s00542-007-0507-x
  17. Nazmov V., Goldenberg B., Vasiliev A., Asadchikov V. // J. Micromech. Microeng. 2021. V. 31. № 5. P. 055011. https://www.doi.org/10.1088/1361-6439/abf331
  18. Nazmov V., Reznikova E., Last A., Mohr J., Saile V., Simon R., DiMichiel M. // AIP Conf. Proc. 2007. V. 879. P. 770. https://doi.org/10.1063/1.2436174
  19. Simon M., Reznikova E., Nazmov V., Last A., Jark W. // Proc. of SPIE. 2008. V. 7077. P. 70771Q. https://www.doi.org/10.1117/12.795423
  20. Nazmov V., Reznikova E., Last A., Mohr J., Saile V., DiMichiel M., Gottert J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2007. V. 582. № 1. P. 120. https://www.doi.org/10.1016/j.nima.2007.08.076

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2.

Скачать (119KB)
Метаданные
3.

Скачать (98KB)
Метаданные

© В.П. Назьмов, Б.Г. Гольденберг, 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).