The SKIF X-Techno Beamline Project

V. P. Nazmov; Назьмов В. П.; B. G. Goldenberg; Гольденберг Б. Г.

doi:10.31857/S1028096023110158

Проект экспериментальной станции X-Techno для источника синхротронного излучения “СКИФ”

Авторы: Назьмов В.П.¹^,2, Гольденберг Б.Г.¹^,3
Учреждения:
1. Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН
2. Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН
3. Центр коллективного пользования “СКИФ” Института катализа им. Г.К. Борескова СО РАН
Выпуск: № 11 (2023)
Страницы: 107-112
Раздел: Статьи
URL: https://journal-vniispk.ru/1028-0960/article/view/232230
DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096023110158
EDN: https://elibrary.ru/WEUQEK
ID: 232230

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Экспериментальные станции на источниках синхротронного излучения могут предъявлять разные и даже взаимоисключающие требования к используемому рентгеновскому пучку. В некоторых случаях требуются пучки с минимально возможным поперечным сечением для реализации зондовых методов исследования образцов в режиме картографирования. Для решения задач радиационной обработки материала или изготовления коммерческого продукта с использованием подходов рентгеновской литографии необходим рентгеновский пучок сравнительно большой площади, обеспечивающий равномерное поле экспонирования. На разрабатываемой для источника синхротронного излучения “СКИФ” экспериментальной станции, получившей наименование “X-Techno”, станет возможным формировать пучки синхротронного излучения размером в горизонтальной плоскости до 100 мм и различным спектральным составом. Такие пучки будут применяться поочередно в одной из трех исследовательских камер станции для исследования радиационных эффектов в материалах, а также формирования структур в области микро- и нано размеров. Конструкция станции позволит изучать физико-химические свойства материалов под действием рентгеновского излучения в спектральном диапазоне от 2 до 70 кэВ.

Ключевые слова

: синхротронное излучение, экспериментальная станция, рентгеновский пучок, спектральные измерения, рентгеновская литография, зеркало скользящего падения, монохроматор, материаловедение, фильтр поглощения, детектор.

Об авторах

В. П. Назьмов

Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН; Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: V.P.Nazmov@inp.nsk.su
Россия, 630090, Новосибирск; Россия, 630090, Новосибирск

Б. Г. Гольденберг

Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН; Центр коллективного пользования “СКИФ” Института катализа им. Г.К. Борескова СО РАН

Email: V.P.Nazmov@inp.nsk.su
Россия, 630090, Новосибирск; Россия, 630559, Кольцово

Список литературы

ANKA Instrumentation Book (2005) Germany, Karlsruhe, http://www.fzk.de/anka/ November 2005.
Meng X., Yu H., Wang Y., Ren J., Xue C., Yang S., Guo Z., Zhao J., Wu Y., Tai R. // J. Synchrotron Rad. 2021. V. 28. P. 902. https://www.doi.org/10.1107/S1600577521003398
Shukla R., Kannojia H.K., Mukherjee C., Sankar P.R., Thakur B.S., Sinha A.K., Pandey D. // ISSS J. Micro Smart Systems. 2020. V. 9. P. 173. https://www.doi.org/10.1007/s41683-020-00064-z
Kong J.R., Leonard Q.J., Vladimirsky Y., Bourdillon A.J. // Proc. of SPIE. 2000. V. 3997. P. 721. https://www.doi.org/10.1117/12.390044
Subbotin A.N., Gaganov V.V., Kalutsky A.V., Pindyurin V.F., Nazmov V.P., Nikolenko A.D., Krasnov A.K. // Metrologia. 2000. V. 37. № 5. P. 497. https://www.doi.org/10.1088/0026-1394/37/5/34
Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Malyshev I.V., Polkovnikov V.N., Toropov M.N., Salashchenko N.N., Ulasevich B.A., Rakshun Ya.V., Chernov V.A., Dolbnya I.P., Raschenko S.V. // Tech. Phys. 2022. Iss. 8. P. 1075. https://www.doi.org/10.21883/TP.2022.08.54576.100-22
Kolachevskii N.N., Pirozhkov A.S., Ragozin E.N. // Quantum Electron. 2000. V. 30. № 5. P. 428. https://www.doi.org/10.1070/QE2000v030n05ABEH001736
Рагозин Е.Н., Вишняков Е.А., Колесников А.О., Пирожков А.С., Шатохин А.Н. Апериодические элементы в оптике мягкого рентгеновского диапазона. М.: Физматлит, 2018. 136 с.
Weitkamp T., Zanette I., Schulz G., Bech M., Rutishausere S., Lang S., Donath T., Tapfer A., Deyhle H., Bernard P., Valade J.-P., Reznikova E., Kenntner J., Mohr J., Müller B., Pfeiffer F., David C., Baruchel J. // AIP Conf. Proc. 2011. V. 1365. P. 28. https://www.doi.org/10.1063/1.3625297
El-Kholi A., Mohr J., Nazmov V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. V. 448. Iss. 1–2. P. 497. https://www.doi.org/10.1016/S0168-9002 (00)00239-4
Wallrabe U., Saile V. LIGA technology for R&D and industrial applications. // MEMS: A practical guide to design, analysis and applications / Ed. Korvink J.G., Paul O. Berlin, Heidelberg: Springer, 2006. P. 853. https://www.doi.org/10.1007/978-3-540-33655-6_16
Nazmov V., Reznikova E., Mohr J., Schulz J., Voigt A. // J. Mater. Process. Technol. 2015. V. 225. № 11. P. 170. https://www.doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2015.05.030
Nazmov V.P., Mezentseva L.A., Pindyurin V.F., Petrov V.V., Yakovleva E.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2000. V. 448. № 1–2. P. 493. https://www.doi.org/10.1016/S0168-9002 (00)00238-2
Goldenberg B.G., Nazmov V.P., Lemzyakov A.G. // Bull. RAS: Phys. 2019. V. 83. № 2. P. 124. https://www.doi.org/10.3103/S106287381902014X
Goldenberg B.G., Lemzyakov A.G., Nazmov V.P., Pindyurin V.F. // Phys. Procedia. 2016. V. 84. P. 205. https://www.doi.org/10.1016/j.phpro.2016.11.036
Reznikova E., Mohr J., Boerner M., Nazmov V., Jakobs P.-J. // Microsyst. Technol. 2008. V. 14. № 9. P. 1683. https://www.doi.org/10.1007/s00542-007-0507-x
Nazmov V., Goldenberg B., Vasiliev A., Asadchikov V. // J. Micromech. Microeng. 2021. V. 31. № 5. P. 055011. https://www.doi.org/10.1088/1361-6439/abf331
Nazmov V., Reznikova E., Last A., Mohr J., Saile V., Simon R., DiMichiel M. // AIP Conf. Proc. 2007. V. 879. P. 770. https://doi.org/10.1063/1.2436174
Simon M., Reznikova E., Nazmov V., Last A., Jark W. // Proc. of SPIE. 2008. V. 7077. P. 70771Q. https://www.doi.org/10.1117/12.795423
Nazmov V., Reznikova E., Last A., Mohr J., Saile V., DiMichiel M., Gottert J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2007. V. 582. № 1. P. 120. https://www.doi.org/10.1016/j.nima.2007.08.076