Арсенид-силикатные стекла, сформированные окислением sih4 и ash3, для диффузии мышьяка в si и sio2

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

В работе исследованы арсенид-силикатные стекла, сформированные окислением SiH4 и AsH3. Показано, что скорость осаждения резко уменьшается при концентрации AsH3 в смеси реагентов более 10 мол.%. Исследована диффузия мышьяка через барьерный окисел и без барьерного окисла с применением кислорода О2 и аргона Ar в качестве диффузионной среды. Показано, что приме- нение кислорода О2 вместо аргона Ar в качестве диффузионной среды меняет природу дефектов, при- водит к увеличению глубин переходов и поверхностной концентрации мышьяка Аs в диффузионных слоях. Обнаружена связь между концентрацией As2O3 в стеклах и тенденцией к образованию дефектов в стекле при термообработке.

Об авторах

Гасан Абакарович Мустафаев

Дагестанский государственный университет народного хозяйства.

Автор, ответственный за переписку.
Email: zoone@mail.ru
Доктор технических наук, профессор кафедры электроники и цифровых информационных технологий института электроники, робототехники и искусственного интеллекта. Россия

Арслан Гасанович Мустафаев

Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова.

Email: zoone@mail.ru
Доктор технических наук, профессор кафедры информационных технологий и информационной безопасности. Россия

Денис Михайлович Здравомыслов

Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова.

Email: zoone@mail.ru
Аспирант 2 года обучения по специальности: Электронная компонентная база микро- и электроники, квантовых устройств.  Россия

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».