Research on the Superhydrophilic Properties of Tio2 Films Formed by the Reactive
Magnetron Sputtering Method and the Development of technology to Enhance them

Dmitry E. Shashin; Шашин Дмитрий Евгеньевич; Dmitry S. Vladimirov; Владимиров Дмитрий Сергеевич

doi:10.25686/2306-2819.2024.2.74

Исследование супергидрофильных свойств плёнок TiO2, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, и разработка технологии для их усиления

Авторы: Шашин Д.Е.¹, Владимиров Д.С.¹^,2
Учреждения:
1. Поволжский государственный технологический университет
2. АО «Марийский машиностроительный завод»
Выпуск: № 2 (2024)
Страницы: 74-85
Раздел: ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
URL: https://journal-vniispk.ru/2306-2819/article/view/270580
DOI: https://doi.org/10.25686/2306-2819.2024.2.74
EDN: https://elibrary.ru/EUPJJE
ID: 270580

Цитировать

Аннотация

В данной статье рассматривается способ получения плёнок оксида титана и разрабатывается типовой технологический процесс получения супергидрофильных плёнок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления. Проведены исследования, главной задачей которых является нахождение параметров технологического процесса, влияющих на морфологию и на супергидрофильные свойства плёнок оксида титана. Для оценки супергидрофильности плёнок оксида титана использовался такой параметр, как угол смачивания, и для ускорения процесса нахождения данного параметра разработано программное обеспечение.

Ключевые слова

оксид титана, тонкие плёнки, реактивное магнетронное распыление, супергидрофильность

Полный текст

Об авторах

Дмитрий Евгеньевич Шашин

Поволжский государственный технологический университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: ShashinDE@volgatech.net
ORCID iD: 0000-0002-8222-2824
SPIN-код: 8962-1241

кандидат технических наук, доцент кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры

Россия, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3

Дмитрий Сергеевич Владимиров

Поволжский государственный технологический университет; АО «Марийский машиностроительный завод»

Email: ShashinDE@volgatech.net
SPIN-код: 7717-7915

инженер-конструктор

Россия, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3; 424003, Йошкар-Ола, ул. Суворова, 15

Список литературы

Nahid A. A. A Self-Cleaning Approach Utilizing Metal Oxide Thin Films and Nanocomposites // Nature-Inspired Self Cleaning Surfaces in the Nanotechnology Era. 2023. Pp. 59-72. doi: 10.5772/intechopen.111971
Эффект фотоиндуцированной супергидрофильности поверхности оксидов металлов / А. В. Рудакова и др. // Фундаментальные исследования. 2013. № 10. С. 1959-1963.
Шаповалов В.И. Нанопорошки и плёнки оксида титана для фотокатализа (обзор) // Физика и xимия стекла. 2010. Т. 36, № 2. С. 145-193.
Irie H., Hashimoto K. Photocatalytic active surfaces and photo-induced high hydrophilicity/high Hydrophobicity // Hdb Env Chem. 2005. No. 2. Pp. 425 –450. doi: 10.1007/b138190
Photo-induced hydrophilicity and self-cleaning: models and reality / D. Bahnemann et al. // Energy Environ. 2012. No. 5. Pp. 7491 – 7507. doi: 10.1039/C2EE03390A
Photocatalysis and photoinduced hydrophilicity of various metal oxide thin films / M. Miyauchi et al. // Chem. Mater. 2002. Vol. 14, No. 6. Pp. 2812 –2816. doi: 10.1021/cm020076p
Review on the Superhydrophilic coating of Electric insulator / K. Guo, Bo Jiang1, Peng Zhao et al. // IOP Conference Series: Earth and Environmental Science. 2021. Vol. 651. Pp. 1-10. doi: 10.1088/1755-1315/651/2/022037
Вилья Н., Голосов Д.А., Нгуен Т.Д. Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления // БГУИР. 2019. № 5. С. 87-93.
Mechanism of photoinduced superhydrophilicity on the TiO2 photocatalyst surface / M. Anpo et al. // J. Phys. Chem. 2005. Vol. 109, No. 32. Pp. 15422-15428. doi: 10.1021/jp058075i
Брус В. В., Ковалюк З. Д., Марьянчук П. Д. Оптические свойства тонких пленок TiO2-MnO2, изготовленных по методу электронно-лучевого испарения // Журнал технической физики. 2012. Т. 82, № 8. С. 110-113.