Search

Issue
Title
Authors
Vol 53, No 5 (2024)
Electron cyclotron resonance plasma studies using the second cyclotron harmonic resonance
Kovalchuk А.V., Shapoval S.Y.
PDF
(Rus)
Vol 53, No 6 (2024)
Gas Phase Composition and Fluorine Atom Kinetics in SF6 Plasma
Myakonkikh A.V., Kuzmenko V.O., Efremov A.M., Rudenko K.V.
PDF
(Rus)
Vol 52, No 1 (2023)
Controlling Silicon Etching Parameters in RF CHF3 Plasma by Optical Emission Spectroscopy
Murin D.B., Chesnokov I.A., Pivovarenok S.A., Efremov A.M.
PDF
(Rus)
Vol 53, No 4 (2024)
Plasmochemical and Reactive Ion Etching of Gallium Arsenide in Difluorodichloromethane with Helium
Murin D.B., Chesnokov I.A., Gogulev I.A., Anokhin A.L., Moloskin A.E.
PDF
(Rus)
Vol 53, No 3 (2024)
Influence of Hydrogen Additive on Electrophysical Parameters and Emission Spectra of Tetrafluoromethane Plasma
Murin D.B., Grazhdyan A.Y., Chesnokov I.A., Gogulev I.A.
PDF
(Rus)
Vol 53, No 1 (2024)
Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of CF4 + H2 + Ar: Effect of the CF4/H2 Ratio
Miakonkikh A.V., Kuzmenko V.O., Efremov A.M., Rudenko K.V.
PDF
(Rus)
Vol 52, No 4 (2023)
Concentration of Fluorine Atoms and Kinetics of Reactive-Ion Etching of Silicon in CF4 + O2, CHF3 + O2, and C4F8 + O2 Mixtures
Efremov A.M., Bobylev A.V., Kwon K.
PDF
(Rus)
Vol 52, No 5 (2023)
The Influence of Small F2, H2, and HF Additives on the Concentration of Active Particles in Tetrafluoromethane Plasma
Efremov A.M., Smirnov S.A., Betelin V.B.
PDF
(Rus)
Vol 53, No 6 (2024)
Plasma Parameters and Si/SiO2 Etching Kinetics in Mixtures of Fluorocarbon Gases with Argon and Helium
Efremov A.M., Betelin V.B., Kwon K.H.
PDF
(Rus)
Vol 52, No 2 (2023)
Plasma Parameters and Kinetics of Reactive Ion Etching of SiO2 and Si3N4 in an HBr/Cl2/Ar Mixture
Efremov A.M., Betelin V.B., Kwon K.
PDF
(Rus)
1 - 10 of 10 Items

Search tips:

  • Search terms are case-insensitive
  • Common words are ignored
  • By default only articles containing all terms in the query are returned (i.e., AND is implied)
  • Combine multiple words with OR to find articles containing either term; e.g., education OR research
  • Use parentheses to create more complex queries; e.g., archive ((journal OR conference) NOT theses)
  • Search for an exact phrase by putting it in quotes; e.g., "open access publishing"
  • Exclude a word by prefixing it with - or NOT; e.g. online -politics or online NOT politics
  • Use * in a term as a wildcard to match any sequence of characters; e.g., soci* morality would match documents containing "sociological" or "societal"

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».