Lithography and Plasma Treatment Effect on Conductivity of Carbon Nanotubes


Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Transparency and sheet resistance measurements of transferred CNT film on glass substrate were performed. Effect of optical lithography and plasma treatment processes on CNT film sheet resistance was analyzed. CNT film demonstrates good electrical conductivity and chemical stability to post-growth processing techniques. The maximum increase in the sheet resistance of the CNT film after optical lithography and plasma treatment processes is no more than 7%.

Об авторах

D. Mitin

Saint Petersburg Academic University; Ioffe Institute

Автор, ответственный за переписку.
Email: mitindm@mail.ru
Россия, St. Petersburg, 194021; St. Petersburg, 194021

S. Raudik

Saint Petersburg Academic University

Автор, ответственный за переписку.
Email: s.raudik@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

A. Mozharov

ITMO University

Автор, ответственный за переписку.
Email: mozharov@spbau.ru
Россия, St. Petersburg, 197101

A. Bolshakov

Saint Petersburg Academic University

Автор, ответственный за переписку.
Email: acr1235@mail.ru
Россия, St. Petersburg, 194021

V. Fedorov

Saint Petersburg Academic University

Автор, ответственный за переписку.
Email: vfedorov.fl@mail.ioffe.ru
Россия, St. Petersburg, 194021

V. Nepokh

Saint Petersburg Academic University

Автор, ответственный за переписку.
Email: vneplox@gmail.com
Россия, St. Petersburg, 194021

P. Rajanna

Skolkovo Institute of Science and Technology

Автор, ответственный за переписку.
Email: pramod.rajanna@skolkovotech.ru
Россия, Moscow, 121205

A. Nasibulin

Skolkovo Institute of Science and Technology

Автор, ответственный за переписку.
Email: a.nasibulin@skoltech.ru
Россия, Moscow, 121205

I. Mukhin

Saint Petersburg Academic University; ITMO University

Автор, ответственный за переписку.
Email: imukhin@yandex.ru
Россия, St. Petersburg, 194021; St. Petersburg, 197101

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Pleiades Publishing, Ltd., 2019

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».