Механизмы перераспределения углеродных загрязнений в пленках, сформированных методом атомно-слоевого осаждения - PDF (Русский)


© А.В. Фадеев, А.В. Мяконьких, Е.А. Смирнова, С.Г. Симакин, К.В. Руденко, 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).